一种光学系统波前的子孔径反演与实施方法

    公开(公告)号:CN107796597A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710839440.X

    申请日:2017-09-18

    CPC classification number: G01M11/0271

    Abstract: 本发明提供了一种光学系统波前的子孔径反演与实施方法,采用数值计算方法计算全孔径-子孔径转换矩阵,将转换矩阵扩展到Zernike第36项,由于转换矩阵覆盖了条纹Zernike分解的全部级数,子孔径-全孔径对应关系唯一,因此可采用一个子孔径对全孔径进行反演;本发明还借助定位平面镜进行像素级别的标准平面镜阵列空间定位,克服了传统子孔径反演实施中标准平面镜阵列的中心法线与检测光路主光轴共轴调整时特别在偏视场测试时难以建立空间基准的问题;本发明利用子孔径测试条件解决了全孔径系统波前的测试,节约了测试成本,缩短了测试周期。

    用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法

    公开(公告)号:CN119737885A

    公开(公告)日:2025-04-01

    申请号:CN202411842761.1

    申请日:2024-12-13

    Abstract: 用光学轮廓扫描仪测量离轴凸非球面的误差标定方法,(1)选取圆形离轴凸非球面1作为测量标准件,用干涉仪配合Hindle球测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果1;(2)用光学轮廓扫描仪测量圆形离轴凸非球面1,保存面形测量结果2;(3)将测量结果1和测量结果2进行分析处理得到面形测量误差△;(4)计算标准件离轴凸非球面1和被测件离轴凸非球面2的光学表面特定环带上法线角度的变化趋势、差值,以及轮廓仪测试时传感器角度与法线角度的差值;(5)上一步计算的法线角度差值、传感器角度与法线角度的差值作为误差校准参数,根据误差校准参数,调整面形基准测量误差△,即得到误差标定结果△′;(6)用光学轮廓仪测量被测件离轴凸非球面2的面形,测量结果消除△′,得到凸非球面2的准确面形。

    一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法

    公开(公告)号:CN112985301A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110214153.6

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法,包括如下几个步骤:1)确定待测面的理论轮廓定义;根据轮廓定义构造一组与该离轴非球面对等的三维坐标点集;2)使用步骤(1)中生成的点集,采用非线性最小二乘法拟合计算,找到一个最优化的逼近同轴非球面作为轮廓扫描仪的测量轨迹轮廓;3)将待测离轴镜放置到轮廓扫描仪的测量区域,使用校正量规将元件中心对准设备主轴;向轮廓扫描仪输入步骤2)中获取的测量轮廓以及相关测量设置,启动设备检测;当待测离轴镜面形精度优于60nm时,检测过程中通过力学仿真选择元件底面支撑方式;4)从检测设备测控软件中导出测量结果的轮廓数据,即离轴镜几何中心坐标系下,设备实测的样件轮廓点集;进行空间五维误差去除以及噪声点去除处理,最终获取高精度面形残差结果。

    一种航天光学遥感器反射式拼接分光镜的设计方法

    公开(公告)号:CN103869476B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201410067839.7

    申请日:2014-02-27

    Abstract: 本发明涉及一种航天光学遥感器反射式拼接分光镜的设计方法,属于航天光学遥感器制造技术领域。在遥感器光学系统中加入一个长方体棱镜,棱镜上正方形表面的对角线分割面为分光镜反射面;将遥感器每片CCD在焦平面上的位置作为遥感器光学系统线视场,利用光线追迹法计算每片CCD接收到的光线对应在长方体棱镜前表面和后表面的通光口径;在长方体棱镜上加工透射区,然后沿长方体棱镜的对角线剖开,得到分光镜。本发明先控制分光镜加工成形前的长方体棱镜的通光口径,将长方体的透射区全部切除,再做分光镜反射面的切割成形,避免了在反射面上复杂形状的尺寸计算,而且得到的分光镜通光口径尺寸准确。

    一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法

    公开(公告)号:CN112985301B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202110214153.6

    申请日:2021-02-25

    Abstract: 一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法,包括如下几个步骤:1)确定待测面的理论轮廓定义;根据轮廓定义构造一组与该离轴非球面对等的三维坐标点集;2)使用步骤(1)中生成的点集,采用非线性最小二乘法拟合计算,找到一个最优化的逼近同轴非球面作为轮廓扫描仪的测量轨迹轮廓;3)将待测离轴镜放置到轮廓扫描仪的测量区域,使用校正量规将元件中心对准设备主轴;向轮廓扫描仪输入步骤2)中获取的测量轮廓以及相关测量设置,启动设备检测;当待测离轴镜面形精度优于60nm时,检测过程中通过力学仿真选择元件底面支撑方式;4)从检测设备测控软件中导出测量结果的轮廓数据,即离轴镜几何中心坐标系下,设备实测的样件轮廓点集;进行空间五维误差去除以及噪声点去除处理,最终获取高精度面形残差结果。

    一种大口径凹非球面的定心系统和方法

    公开(公告)号:CN110987371B

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201911122375.4

    申请日:2019-11-15

    Abstract: 本发明涉及一种大口径凹非球面的定心系统和方法,属于空间光学装调测试技术领域在将光轴水平折转为光轴竖直的零位补偿干涉检验光路中,通过位置调整及系统像差测试,实现干涉仪、补偿器、被测非球面三者光轴重合;使用激光跟踪仪测算补偿器的光轴、折镜的法线以及被测非球面的机械基准;通过转换坐标系的办法,将光轴与机械基准的相对位置关系在检验光路中体现;计算非球面光轴与其机械基准轴的角偏心和线偏心。完成大口径凹非球面的高精度定心测量。

    一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    Abstract: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。

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