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公开(公告)号：CN101150171A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710177709.9
申请日：2007-11-20
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种用于交换偏置型磁电阻传感器元件的多层膜材料，Ta/NiCo/Ta多层膜中插入FeMn层制得Ta/NiCo/FeMn/Ta多层膜材料，磁电阻传感器元件由Ta/NiCo/FeMn/Ta多层膜结构元件和Au电极层构成，NiCo合金的成分为Ni65Co35，FeMn合金成分为Fe50Mn50，为反铁磁性合金。该方法通过NiCo/FeMn界面产生的交换偏置场来减小磁电阻传感器元件的磁滞。该方法结构及工艺简单，成本低，适于较高磁场使用。
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公开(公告)号：CN101046394A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710064729.5
申请日：2007-03-23
Applicant: 北京科技大学
IPC: G01D5/249
Abstract: 一种高精度磁编码器用磁鼓的制备方法，属于磁编码器技术领域。以铝合金为基体，以钴盐、还原剂、络合剂、缓冲剂按比例配成溶液，化学镀法制备Co－P或Co－Ni－P薄膜作为磁鼓的记录介质。薄膜中P含量为5～10％，为晶态，有磁性；膜厚为1～10μm。对用该法制得的磁鼓，可写入1024～2500对N、S磁极。本发明的优点在于：磁性薄膜磁性能优异，制备工艺稳定，实施性强，易于工业化批量生产；制得的磁鼓分辨率高，与各向异性磁电阻薄膜探头结合，可得到高精度的磁旋转编码器。
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公开(公告)号：CN1808734A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510086798.7
申请日：2005-11-04
Applicant: 北京科技大学
IPC: H01L43/12
Abstract: 本发明提供了一种提高电子罗盘精度的磁电阻薄膜的制备方法，属于磁性多层膜的制备技术领域。制备工艺为：在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上沉积(Ni0.81Fe0.19)54Cr36(50～200)/Ni0.81Fe0.19(100～1500)/Ta(50～100)；然后通过一般的半导体加工工艺将薄膜加工成线宽为2～50微米的磁电阻传感元件；再结合半导体加工工艺在元件两侧平行于条形元件沉积厚为3～10微米Ni0.81Fe0.19薄膜。薄膜制备过程是在磁控溅射仪中进行，溅射室本底真空度为1×10－5～6×10－5Pa，溅射时氩气压为0.4～0.7Pa；基片用循环水冷却，平行于基片方向加有150～250Oe的磁场，以诱发一个易磁化方向。优点在于：该发明具有制备方便、成本低、电子罗盘精度明显提高。
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公开(公告)号：CN1648610A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510011202.7
申请日：2005-01-19
Applicant: 北京科技大学
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明提供了一种提高磁编码器磁鼓分辨率的方法。采用涂布工艺，挤压成形制备磁鼓后，用精细抛光砂纸抛光磁性层，使磁性涂层减薄至0.1～0.05mm。再用窄漏磁间隙的磁头对磁鼓写入磁极，采用的窄漏磁间隙为0.1～0.05mm漏磁间隙的磁头对磁鼓进行充磁，写入磁极为512对极。本发明的优点在于，工艺精简，易于操作，可写入512对极，脉冲计数完整，输出波形信号良好，元器件性能优异。
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公开(公告)号：CN1598493A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN200410009427.4
申请日：2004-08-13
Applicant: 北京科技大学
IPC: G01D5/12
Abstract: 本发明提供了一种高分辨率磁编码器磁鼓的制备方法。采用涂布工艺，挤压成形制备磁鼓材料。将磁粉、粘结剂、稀释剂、固化剂、分散剂按比例混合制成磁浆，然后涂布于磁鼓基体上。将涂布后的磁鼓基体旋转固化。在磁浆处于半固化状态时，用高平整度的轴承挤压成形，达到0.15～0.4mm厚度。完全固化后，由高分辨率的光学编码器脉冲分频旋转充磁，可以对磁鼓写入128、256对极，倍频后可得到更高的分辨率。本发明的优点在于：工艺简单，操作性好，成品率高，易于批量生产。磁鼓充磁后，采用金属薄膜磁电阻传感探头检测磁鼓表面分布磁场。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101736334B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201010034187.9
申请日：2010-01-15
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种高性能光盘读取头用合金悬丝镀银的方法，属于金属材料领域，特别涉及一种电子元器件用金属功能材料，用于高性能的光学读取设备。通过表面除油、酸洗除氧化物、敏化、活化等预处理后，配制银盐溶液和还原溶液，通过化学反应在合金悬丝表面镀得银层。按该方法制得的镀银铜丝，可获得良好的导电性、可焊性及耐高温、抗氧化等优良特性，符合高性能光学读取头用悬丝的使用要求。本发明方法中没有毒性物质，而且不存在电镀工艺的环境污染问题，没有电镀工艺中电力线分布均匀与否的影响，镀层厚度均匀，结合力好，沉积效率高，适合于大规模的工业化生产。制备出的镀银铜丝满足高性能光学读取头力矩器用高品质悬丝的应用要求。
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公开(公告)号：CN101046394B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200710064729.5
申请日：2007-03-23
Applicant: 北京科技大学
IPC: G01D5/249
Abstract: 一种高精度磁编码器用磁鼓的制备方法，属于磁编码器技术领域。以铝合金为基体，以钴盐、还原剂、络合剂、缓冲剂按比例配成溶液，化学镀法制备Co-P或Co-Ni-P薄膜作为磁鼓的记录介质。薄膜中P含量为5～10％，为晶态，有磁性；膜厚为1～10μm。对用该法制得的磁鼓，可写入1024～2500对N、S磁极。本发明的优点在于：磁性薄膜磁性能优异，制备工艺稳定，实施性强，易于工业化批量生产；制得的磁鼓分辨率高，与各向异性磁电阻薄膜探头结合，可得到高精度的磁旋转编码器。
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公开(公告)号：CN101736334A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN201010034187.9
申请日：2010-01-15
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种高性能光盘读取头用合金悬丝镀银的方法，属于金属材料领域，特别涉及一种电子元器件用金属功能材料，用于高性能的光学读取设备。通过表面除油、酸洗除氧化物、敏化、活化等预处理后，配制银盐溶液和还原溶液，通过化学反应在合金悬丝表面镀得银层。按该方法制得的镀银铜丝，可获得良好的导电性、可焊性及耐高温、抗氧化等优良特性，符合高性能光学读取头用悬丝的使用要求。本发明方法中没有毒性物质，而且不存在电镀工艺的环境污染问题，没有电镀工艺中电力线分布均匀与否的影响，镀层厚度均匀，结合力好，沉积效率高，适合于大规模的工业化生产。制备出的镀银铜丝满足高性能光学读取头力矩器用高品质悬丝的应用要求。
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公开(公告)号：CN101345117A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810106197.1
申请日：2008-05-09
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种用于磁电子罗盘的磁电阻薄膜材料及其制备方法，属于磁性多层膜的制备技术领域。具体步骤为，在清洗干净的玻璃基片或单晶硅基片上沉积(Ni0.81Fe0.19)0.64Cr0.36(50～200)/Al2O3(10～50)/Ni0.81Fe0.19(100～300)/Al2O3(10～50)/Ta(50～100)；然后在真空退火炉中进行真空磁场热处理，退火炉本底真空度为2×10－5～5×10－5Pa，退火温度200～300℃，退火时间为1～4小时，退火场500～1000Oe；再将薄膜加工成线宽为2～50微米的磁电阻传感元件；在元件两侧平行于条形元件沉积Ni0.81Fe0.19薄膜。本方法提供的磁电阻薄膜材料结构，使磁电子罗盘精度大幅度提高。
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公开(公告)号：CN1305086C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200410009961.5
申请日：2004-12-03
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种利用表面活化剂抑制界面反应的方法，涉及磁性多层膜的制备方法。本方法是在清洗干净的玻璃基片上依次沉积钽Ta(50～120)/氧化镍NiO(60～100)/铋Bi(或Pb、In等)(2～30)/镍铁NiFe(30～100)/钽Ta(50～90)。本发明由于采用表面活化剂Bi(或Pb、In等)插入自旋阀巨磁电阻多层膜或隧道结中的反铁磁NiO/铁磁NiFe薄膜界面，NiO与NiFe间的界面反应被抑制，其交换耦合场Hex比不插表面活化剂Bi(或Pb、In等)的交换耦合场Hex提高最大可达80%，具有制备方便、不需要磁场热处理、成本低、交换耦合场Hex提高明显等优点。
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