晶体管电容测量设备、方法、装置、电子设备及存储介质

    公开(公告)号:CN118409180A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202410593868.0

    申请日:2024-05-14

    Abstract: 本公开涉及集成电路测量技术领域,具体涉及晶体管电容测量设备、方法、装置、电子设备及存储介质,所述晶体管电容测量设备包括:可调偏置单元用于提供可调的偏置电压,其第一端与待测晶体管衬底连接,第二端与待测晶体管源极和漏极短接点连接;电容测量单元用于测量待测晶体管的栅与有源区交叠电容Cgc,其连接到待测晶体管栅极和可调偏置单元第二端;控制单元用于控制可调偏置单元的偏置电压在偏置电压范围内以第一预设步长扫描,以及控制电容测量单元的高压端和低压端之间的直流电压差在电压差范围内以第二预设步长扫描,以得到待测晶体管的Cgc曲线。本公开解决了电容测量时测量设备无法连续扫描的问题,显著提升了Cgc曲线测量的效率。

    纵向栅氧结构的LDMOSFET器件及制造方法

    公开(公告)号:CN116525660A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310798838.9

    申请日:2023-07-03

    Abstract: 本发明涉及半导体领域,提供一种纵向栅氧结构的LDMOSFET器件及制造方法。LDMOSFET器件包括:半导体衬底、阱区、体区、漂移区、源区以及漏区,还包括:纵向设置于漂移区与体区之间的纵向栅氧结构,纵向栅氧结构包括纵向栅以及包覆于纵向栅的氧化层,氧化层、漂移区以及体区构成场板结构。氧化层包括第一氧化层、第二氧化层以及第三氧化层,第一氧化层与体区相接,作为纵向栅与体区之间的栅氧化层;第二氧化层与阱区相接,作为纵向栅与阱区之间的场板隔离介质层;第三氧化层与漂移区相接,作为纵向栅与漂移区之间的场板隔离介质层。本发明通过纵向栅氧结构提高器件的击穿电压,同时减少漂移区的横向面积,从而减少芯片面积。

Patent Agency Ranking