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公开(公告)号：CN113917795A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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公开(公告)号：CN112285177A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011124854.2
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明公开了一种管状吸嘴式电化学传感装置的制造方法，传感装置包括移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管，吸管包括连接器、电极管以及吸嘴，电极管内壁设有多个电极槽，电极槽内分别设置有电极，所述电极通过连接器与恒电位仪相连，制造方法包括以下步骤：通过建模软件设计连接器、电极管以及吸嘴的模型；准备打印材料；使用3D打印机将打印材料按照模型将连接器、电极管以及吸嘴打印出来；使用乙醇以及超纯水对打印出的连接器、电极管以及吸嘴进行超声清洗；在电极槽内设置电极，在连接器表面设置导电胶条；将连接器、电极管以及吸嘴组装成完整的吸管；将移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管组装成完整的传感装置。
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公开(公告)号：CN119742250A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411949281.5
申请日：2024-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供了一种晶圆键合设备，涉及集成电路封装的技术领域，晶圆键合设备包括上晶圆吸附台，所述上晶圆吸附台包括位于底部的吸附盘，所述吸附盘上设有多个能够独立工作的吸附单元和多个能够独立工作的加热单元，所述吸附单元和所述加热单元分别呈环状分布，多个所述吸附单元和所述加热单元由所述上晶圆吸附台中心向外周交替间隔排列。本发明能够改善晶圆在键合过程中出现应力集中，进而出现剥离的现象。
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公开(公告)号：CN115451899B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202211218818.1
申请日：2022-10-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/24
Abstract: 一种航空发动机同轴度装配测量仪校准方法与装置属于精密仪器及机械技术领域；角度测量单元包括竖直调节机构(11)、信号读取器(12)、水平调节机构(15)、多自由度调节机构(9)；位移测量单元包括位移传感器(3)、多自由度调节机构(9)、圆度标准器(4)；角度信号获取单元包括角度传感器(1)、角度传感器支座(2)、信号读取器(12)、调整定位器(18)；调整位姿单元包括多自由度调节机构(9)、立柱(8)、调节臂(5)、调节臂锁紧机构(6)、调节机构(7)；调整位移传感器(3)的触头与圆度标准器(4)相接触，按角度传感器(1)指示的角度位置采集数据，经数据处理获得航空发动机同轴度装配测量仪的回转误差校准结果；本发明可实现航空发动机同轴度装配测量仪精确快速现场校准。
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公开(公告)号：CN113867106B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113777143A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111087018.6
申请日：2021-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明公开了一种多通道集成式阵列光电化学传感电极及其制备方法和应用，所述多通道集成式阵列光电化学传感电极的基底为石英玻璃，基底上设置有阵列式相互间隔排列设置的工作电极、工作电极导电层、绝缘层、对电极和参比电极，结构简单，检测快速，制作低成本，高灵敏度，具有普适性，其作为基础电极能够在进一步常规纳米/生物材料修饰后应用于蛋白、核酸、化学小分子等生物、环境污染物的检测，故而具有广阔的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN109671038A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811615312.8
申请日：2018-12-27
Abstract: 一种基于伪不变特征点分类分层的相对辐射校正方法，本发明属于遥感图像辐射校正领域。现有的辐射校正方法对包含海岸线、海岛等占据优势地物区域的遥感图像进行相对辐射的校正精度不高。本发明步骤为：一、基于遥感图像分类获取地物子图像；二、基于光谱的非线性回归分析，确定地物子图像的初始相对辐射校正模型及初始PIFs；三、基于梯度的精细非线性回归分析，确定地物子图像的精细化非线性相对辐射校正模型及精细化PIFs；四、利用精细化PIFs和精细化非线性相对辐射校正模型对待校正地物子图像进行相对辐射校正；五、将校正后的图像合成一幅完整的图像。本发明应用于遥感图像辐射校正领域。
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公开(公告)号：CN116147557A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211218821.3
申请日：2023-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种融合空间曲率特征的大型高速回转装备偏置参数测量方法属于精密测量与仪器技术领域；该方法首先获取包含有航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的原始点云测量数据，求得任一数据点的空间曲率值后，根据空间曲率值与设定阈值分割航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的点云数据；确定点云数据的质心及主方向的空间特征后，将原始点云数据展开至新坐标系下，分别以空间拟合圆柱及空间拟合平面对应航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的结构特征，利用拟合圆柱的中心轴线到空间拟合平面的平均距离求取偏置参数值；本发明实现了大型高速回转装备偏置参数的高精度测量。
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公开(公告)号：CN113949310B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110516.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917795B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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