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公开(公告)号:CN109342767A
公开(公告)日:2019-02-15
申请号:CN201811249410.4
申请日:2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P21/00
CPC classification number: G01P21/00
Abstract: 本申请涉及一种加速度计标度因素的测试方法、装置以及系统。所述方法包括:采集以预设角度设置在随转台上的加速度计,在稳速台上以各转速转动时、分别对应的输出电压;预设角度为加速度计的输入轴与随转台的半径之间的夹角;对各转速和各输出电压进行拟合处理,建立输出电压模型,并根据输出电压模型和预设角度,得到加速度计的安装误差均值;基于输出电压模型、安装误差均值和预设角度,得到加速度计的标度因,从而通过本申请加速度计标度因素的测试方法能够消除安装误差对测试加速度计的标度因素时带来的不利影响,提高了获取加速度计的标度因素的精度。
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公开(公告)号:CN109000680A
公开(公告)日:2018-12-14
申请号:CN201810549366.2
申请日:2018-05-31
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005
Abstract: 本发明涉及一种陀螺仪加速度敏感误差系数获取方法,包括如下步骤:获取陀螺仪在设定角速度先后正向或反向旋转的速率转台上第一位置处的第一输出量和第二输出量;获取陀螺仪在设定角速度先后正向或反向旋转的速率转台上第二位置处的第三输出量和第四输出量;根据陀螺仪的标度因数、设定角速度、第一位置对应的第一加速度、第二位置对应的第二加速度、第一输出量、第二输出量、第三输出量和第四输出量,通过设定算法获得所述陀螺仪零偏的加速度敏感误差系数和标度因数的加速度敏感误差系数。通过速率转台,以及获取不同加速度输入下,陀螺仪的各相应输出量,利用设定算法可以精确地测量得到陀螺仪零偏和标度因数的g敏感误差系数。
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公开(公告)号:CN117434212A
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202311218727.2
申请日:2023-09-20
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01N33/00
Abstract: 本申请涉及一种圆片级真空封装器件内部材料的放气特性确定方法和装置。所述方法包括:获取目标气压;其中,目标气压为试验样品内部的气压,试验样品为圆片级真空封装的微机电系统MEMS器件;在试验样品放置于试验设备,且将试验设备中的气压为目标气压的情况下,通过对试验设备中的温度进行调节,获取试验样品在各试验温度下的目标特征参数;根据试验样品在各试验温度下的目标特征参数,确定试验样品的内部材料的放气特性。采用本方法能够精准确定圆片级真空封装器件内部材料的放气特性。
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公开(公告)号:CN117421864A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311244110.8
申请日:2023-09-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G06F30/20 , G06F30/17 , G06F119/14 , G06F119/06 , G06F119/08 , G06F111/04
Abstract: 本申请涉及一种工艺确定方法、装置、计算机设备及存储介质,涉及人工智能技术领域。所述方法包括:确定待分析器件在初始状态下的初始谐振频率和初始品质因子;根据至少一种候选工艺对待分析器件进行封装处理,得到至少一个候选封装状态下的待分析器件,并确定待分析器件在各候选封装状态下的候选谐振频率和候选品质因子;根据待分析器件在初始状态下的初始谐振频率和初始品质因子,以及待分析器件在各候选封装状态下的候选谐振频率和候选品质因子,从各候选工艺中确定待分析器件对应的目标工艺。本申请能够准确的从候选工艺中确定目标工艺,保证了在根据目标工艺对待分析器件进行封装处理后,对待分析器件的品质因子影响最小。
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公开(公告)号:CN114324548B
公开(公告)日:2023-12-12
申请号:CN202111657715.0
申请日:2021-12-30
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明公开一种内部气氛含量测试装置及测试方法,内部气氛含量测试装置包括真空腔室、质谱仪以及电离源,真空腔室作为气体电离的腔体,气体进样装置向真空腔室的测试腔内输入待检测气体,设于测试腔内的电离源将待检测气体电离形成离子束,离子束在电离源的驱动下进入质谱仪以检测分析气体成分和含量。测试方法是用于该内部气氛含量测试装置的测试方法。使用该内部气氛含量测试装置对小腔体气密封器件的进行部气氛测试,可以在测试腔内营造高真空环境对微量气体进行气体成分及含量的测试,气体在测试腔内直接扩散而不存在流导差异,即不存在传统内部气氛检测仪的毛细管质量歧视效应,提高了对小腔体气密封器件进行内部气氛测试时的测试准确度。
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公开(公告)号:CN114348954A
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN202111500405.8
申请日:2021-12-09
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明涉及一种MEMS圆片键合机构及MEMS圆片键合的原位解封方法。所述MEMS圆片键合机构包括:盖帽件、MEMS功能零件、支撑件与第一加热组件,所述盖帽件键合在所述支撑件上,且所述盖帽件与所述支撑件配合形成键合部,所述MEMS功能零件键合在所述键合部上,所述第一加热组件装设在所述支撑件上,且所述第一加热组件用于对所述盖帽件与所述支撑件的键合处进行加热处理。相较于传统的原位解封方式,上述MEMS圆片键合机构能够更加有针对性的实现盖帽件与支撑件的原位解封。
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公开(公告)号:CN113030687A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202110197136.6
申请日:2021-02-22
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01R31/265
Abstract: 本发明涉及微纳器件测试技术领域,公开了一种性能测试方法,包括在不同的温度环境下对待测样品进行测试,获取待测样品的谐振频率温度系数;将待测样品固定于红外成像设备上,将红外成像设备加热至预设温度;向待测样品施加预设输入功率,使用红外成像设备对待测样品进行成像测试,获取待测样品在预设输入功率条件下的表面温度场信息;保持待测样品上施加的预设输入功率不变的情况下,测试获取待测样品的特征频率;根据谐振频率温度系数和特征频率,计算获取待测样品在预设输入功率条件下的等效温升。通过获取在预设功率负载下待测样品的表面温度场信息以及等效温升值,为相关产品的设计、可靠性评价及分析、失效机理建模等工作提供可靠的支撑。
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公开(公告)号:CN108710002B
公开(公告)日:2021-02-23
申请号:CN201810433118.1
申请日:2018-05-08
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种加速度计可靠性测试方法、装置以及测试用加速度计,所述加速度计可靠性测试方法包括采集加速度计在上电正常工作时的第一电压信号;加速度计为包括敏感结构单元的加速度计;敏感结构单元包括设置在敏感结构单元的质量块两侧的第一加力极板和第二加力极板;在第一加力极板加载第一电压、且第二加力极板加载第二电压时,采集加速度计的第二电压信号;处理第一电压信号和第二电压信号,得到加速度计的第一加速度值;根据第一加速度值,确认加速度计的当前工作情况,从而利用本发明各实施例中加速度计可靠性测试方法能够测试出输入加速度对加速度计的可靠性的影响。
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公开(公告)号:CN109373914B
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201811250577.2
申请日:2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01B11/06
Abstract: 本申请涉及一种非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器的可动电极,在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离;角度偏移量为可动电极在偏置电压下转动的角度;极间距离为可动电极的第一端面与静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离;可动电极的第一端面远离固定电极设置;固定电极的第一端面靠近可动电极设置;获取固定电极的第一端与用于固定可动电极的固定端面之间的第一距离,以及固定电极的第二端与固定端面之间的第二距离;根据各偏置电压、各角度偏移量、各极间距离、第一距离和第二距离,得到可动电极的厚度,因此,本申请提高了测量非平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度。
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公开(公告)号:CN109297397B
公开(公告)日:2020-07-31
申请号:CN201811250439.4
申请日:2018-10-25
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01B7/06
Abstract: 本申请涉及一种静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括:获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流;形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻;对根据各电极间距和各电极间电流得到的线性关系进行拟合,得到拟合关系,并获取拟合关系的误差函数;根据误差函数的最小值,获得静电换能器的可动电极的厚度,通过本申请方法将静电换能器在加载偏置电压后,可动电极在发生形变过程中的电极间距与电极间电流建立对应的线性关系,并分析线性关系的误差,在线性关系的误差最小时,即可获取可动电极的厚度,避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差,提高了获取可动电极的厚度的精度。
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