氟系气体产生装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101248216A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200680030920.1

    申请日:2006-06-28

    CPC classification number: C25B1/245 C25B15/02 C25B15/08

    Abstract: 一种氟系气体产生装置,在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴,通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体,该氟系气体产生装置具有:原料供给配管,在前述电解槽中到达电解浴中,用于供给电解用原料;常闭型阀,设置在前述原料供给配管的中途;和设置有常开型阀的迂回用配管,将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此,电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内,可事先防止在原料供给配管内发生固化。

    氟气发生装置
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1266031C

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:CN200310119692.3

    申请日:2003-11-20

    CPC classification number: C25B1/245

    Abstract: 目的在于即使在氟气发生装置的HF的供给停止或异常时,也不会使电解液腐蚀上游管路,且管路内不会残留HF。是用来电解由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气发生装置,具有:向前述电解液中提供氟化氢气体的氟化氢气体供给管路;配置在前述氟化氢气体供给管路上且在前述氟化氢气体的供给停止时关闭的第1自动阀;在前述氟化氢气体的供给停止时,排出残存在前述氟化氢气体供给管路的比前述第1自动阀更下游侧的管路内的氟化氢气体并置换为惰性气体的惰性气体置换机构。

    氟气发生装置
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1502548A

    公开(公告)日:2004-06-09

    申请号:CN200310119692.3

    申请日:2003-11-20

    CPC classification number: C25B1/245

    Abstract: 目的在于即使在氟气发生装置的HF的供给停止或异常时,也不会使电解液腐蚀上游管路,且管路内不会残留HF。是用来电解由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气发生装置,具有:向前述电解液中提供氟化氢气体的氟化氢气体供给管路;配置在前述氟化氢气体供给管路上且在前述氟化氢气体的供给停止时关闭的第1自动阀;在前述氟化氢气体的供给停止时,排出残存在前述氟化氢气体供给管路的比前述第1自动阀更下游侧的管路内的氟化氢气体并置换为惰性气体的惰性气体置换机构。

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