-
公开(公告)号：CN102541103B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201110435861.9
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
IPC: G05D11/13
Abstract: 本发明提供一种材料气体控制系统，即使在调整阀全开或全关时的材料气体的浓度值或流量值与设定值大致一致的情况下，也可诊断出浓度或流量的控制状态是否异常。材料气体控制系统包括：收容室；导入管，导入运载气体；导出管，导出包含材料气体及运载气体的混合气体；第一调整阀；测定计，测定材料气体的浓度或流量；第一阀控制部，以使测定计所测定出的测定浓度值或测定流量值达到预定的设定值的方式，将开放程度控制信号输出至第一调整阀；压力计，测定收容室内的压力；以及诊断部，当开放程度控制信号的值的时间变化量及压力计所测定出的测定压力值的时间变化量满足规定条件时，诊断出所述材料气体的浓度或流量的控制状态异常。
-
公开(公告)号：CN101760727A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910208804.X
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: G05D11/139 , C23C16/4482 , C30B25/14 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509
Abstract: 一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；及导出管，从所述贮槽中导出材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体；所述材料气体浓度控制装置包括基体，具有连接于所述导出管，以使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的混合气体中的材料气体的浓度进行测量；及第1阀，在所述内部流路中设置在所述浓度测量部的下游，对由所述浓度测量部测量的测量浓度进行调节；且所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。
-
公开(公告)号：CN116465848A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310071740.3
申请日：2023-01-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01 , G01L9/12
Abstract: 本发明提供一种气体分析装置，其具备：气室，其被导入气体；温度调节块，其对气室进行温度调节；以及压力传感器，其测定气室内部的压力，压力传感器内置于温度调节块和/或气室。
-
公开(公告)号：CN111690909A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010150050.3
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 用于提供在不增设新的传感器等的情况下，准确地推定汽化罐内的原料的消耗量，且能够进行与原料的剩余量对应的高精度的浓度控制的浓度控制装置，其在汽化器中对原料气体的浓度进行控制，汽化器至少具备：容纳液体或固体的原料的汽化罐、向汽化罐供给载气的载气供给通路、以及供由原料汽化而从汽化罐导出的原料气体流通的原料气体导出通路，浓度控制装置具备：浓度监测器，其设置于原料气体导出通路，输出与原料气体的浓度对应的输出信号；浓度计算部，其基于来自浓度监测器的输出信号，来计算原料气体的浓度；以及原料消耗量计算器，其基于计算浓度和载气的流量，来计算作为原料气体而导出到原料气体导出通路的原料的消耗量。
-
公开(公告)号：CN105651729B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201510857091.5
申请日：2015-11-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
Abstract: 本发明提供分解检测装置、浓度测量装置和浓度控制装置，所述分解检测装置结构简单，并能检测在半导体材料气化后的材料气体中是否发生了分解。该分解检测装置包括：NDIR方式或激光吸收光谱方式的吸光度测量机构(1)，其对包含半导体材料气化后的材料气体的混合气体测量第一吸光度和第二吸光度，该第一吸光度是所述半导体材料吸收的波长的吸光度，该第二吸光度是所述半导体材料分解时产生的物质吸收的波长的吸光度；以及分解检测部(4)，其基于第一浓度和第二浓度之比来检测所述材料气体的分解，该第一浓度是基于所述第一吸光度和所述第二吸光度来计算，该第二浓度是基于所述第二吸光度来计算。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109519706A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811093056.0
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不降低维护性而能缩短配管、提高响应性的浓度控制装置。其向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，材料气体作为与载气的混合气体而从储存罐被导出且由材料气化而成，具备：第一单元，控制向储存罐导入的载气的流量；第二单元，检测从储存罐导出的材料气体的浓度，第一单元具备：第一块部，在内部具有供载气流通的载气流路；第一流量传感器，检测在载气流路中流通的载气的流量；第一流量控制阀，基于第一流量传感器的检测值，控制在载气流路中流通的载气的流量，第二单元具备：第二块部，在内部具有供混合气体流通的混合气体流路，并与第一块部可拆装地连结；浓度检测器，检测在混合气体流路中流通的材料气体的浓度。
-
公开(公告)号：CN102156489B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201010601694.6
申请日：2010-12-16
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: G05D11/02
CPC classification number: G05D11/138 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708 , Y10T137/7736
Abstract: 本发明的材料气体浓度控制系统是用于材料气化系统(100)，此材料气体浓度控制系统具备：第1阀(23)，设于所述导出管(12)上；浓度测定部(CS)，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；浓度控制部(CC)，控制所述第1阀(23)的开度，以使得由所述浓度测定部(CS)所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；调温器(41)，对所述储罐内的温度进行调温，以使其达到设定温度；以及温度设定部(42)，设定所述调温器的设定温度。本发明还提供了材料气体流量控制系统及材料气体浓度控制系统用程序。
-
公开(公告)号：CN101724828B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200910208803.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/52
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
Abstract: 一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度的浓度控制部。
-
公开(公告)号：CN101724828A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910208803.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/52
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
Abstract: 一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度的浓度控制部。
-
公开(公告)号：CN111855596B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202010206450.1
申请日：2020-03-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/31
Abstract: 提供吸光分析装置及记录吸光分析装置用程序的程序记录介质。吸光分析装置具备检测器；总压传感器；吸光度计算部，基于检测器的输出值和预先设定的零基准值计算吸光度；分压‑吸光度关系存储部，存储表示调零时存在于检测器测定区域的干涉气体的分压与吸光度计算部算出的吸光度之间关系的分压‑吸光度关系数据；分压计算部，在已知浓度的干涉气体存在于测定区域的已知浓度状态下，基于由总压传感器测定的总压和浓度计算作为干涉气体的分压的干涉气体分压；吸光度推断部，基于干涉气体分压和分压‑吸光度关系数据推断作为干涉气体的吸光度的干涉气体吸光度；校正部，基于干涉气体吸光度和在已知浓度状态下的检测器的输出值进行更新零基准值的调零。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
35
records
(took 0.031 seconds)
