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公开(公告)号：CN101760727A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910208804.X
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: G05D11/139 , C23C16/4482 , C30B25/14 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509
Abstract: 一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；及导出管，从所述贮槽中导出材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体；所述材料气体浓度控制装置包括基体，具有连接于所述导出管，以使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的混合气体中的材料气体的浓度进行测量；及第1阀，在所述内部流路中设置在所述浓度测量部的下游，对由所述浓度测量部测量的测量浓度进行调节；且所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。
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公开(公告)号：CN101760727B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN200910208804.X
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , C23C16/52
CPC classification number: G05D11/139 , C23C16/4482 , C30B25/14 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509
Abstract: 一种材料气体浓度控制装置，用于材料气化系统，所述材料气化系统包括贮槽，收纳材料；导入管，将使被收纳的材料气化的载气导入所述贮槽；及导出管，从所述贮槽中导出材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体；所述材料气体浓度控制装置包括基体，具有连接于所述导出管，以使所述混合气体流动的内部流路；浓度测量部，对在所述内部流路中流动的混合气体中的材料气体的浓度进行测量；及第1阀，在所述内部流路中设置在所述浓度测量部的下游，对由所述浓度测量部测量的测量浓度进行调节；且所述浓度测量部及所述第1阀安装在所述基体上。
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公开(公告)号：CN102156489A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201010601694.6
申请日：2010-12-16
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: G05D11/02
CPC classification number: G05D11/138 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708 , Y10T137/7736
Abstract: 本发明的材料气体浓度控制系统是用于材料气化系统(100)，此材料气体浓度控制系统具备：第1阀(23)，设于所述导出管(12)上；浓度测定部(CS)，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；浓度控制部(CC)，控制所述第1阀(23)的开度，以使得由所述浓度测定部(CS)所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；调温器(41)，对所述储罐内的温度进行调温，以使其达到设定温度；以及温度设定部(42)，设定所述调温器的设定温度。本发明还提供了材料气体流量控制系统及材料气体浓度控制系统用程序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102156489B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201010601694.6
申请日：2010-12-16
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: G05D11/02
CPC classification number: G05D11/138 , Y10T137/0396 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708 , Y10T137/7736
Abstract: 本发明的材料气体浓度控制系统是用于材料气化系统(100)，此材料气体浓度控制系统具备：第1阀(23)，设于所述导出管(12)上；浓度测定部(CS)，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；浓度控制部(CC)，控制所述第1阀(23)的开度，以使得由所述浓度测定部(CS)所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；调温器(41)，对所述储罐内的温度进行调温，以使其达到设定温度；以及温度设定部(42)，设定所述调温器的设定温度。本发明还提供了材料气体流量控制系统及材料气体浓度控制系统用程序。
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公开(公告)号：CN101724828B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200910208803.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/52
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
Abstract: 一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度的浓度控制部。
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公开(公告)号：CN101724828A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910208803.5
申请日：2009-10-29
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/52
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/0396 , Y10T137/2499 , Y10T137/2509 , Y10T137/2708
Abstract: 一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度的浓度控制部。
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公开(公告)号：CN106906452A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201611127279.5
申请日：2016-12-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。
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公开(公告)号：CN106906452B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201611127279.5
申请日：2016-12-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。
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