公开(公告)号：CN106906452B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201611127279.5

申请日：2016-12-09

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 伊东丈智 ,  井上正规

IPC: C23C16/448

Abstract: 本发明提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。

公开(公告)号：CN106906452A

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201611127279.5

申请日：2016-12-09

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 伊东丈智 ,  井上正规

IPC: C23C16/448

Abstract: 本发明提供液体材料气化装置，通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液，稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括：将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2)；以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3)，气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6)，气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS)，气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。