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公开(公告)号：CN109728752B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201711051623.1
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 张霖
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种磁对准方法及一种磁浮电机，所述磁对准方法包括：S1：在一对线圈数量及排列方向均相同的线圈组中通入电流进行磁对准初始化，任意设置其中一个线圈组的初始磁角度，并根据两个线圈组的位置关系设置另一个线圈组的初始磁角度；S2：控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化，通过至少一个垂向测量装置测量一对线圈组中至少一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；S3：根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度，并根据该电流角度计算所述一对线圈组的磁对准角度。本发明对成对的线圈组进行磁对准，不会发生水平向位移，对准精度高。
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公开(公告)号：CN107783378B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201610766749.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种光刻机垂向微动结构和控制方法，其将光刻机曝光台下方设置至少四个传感器，并使用包含能够测量冗余位置的测量转换矩阵的计算分析系统，对四个传感器所发送的位置信号进行分析，以光刻机曝光台的期望位置为目标，分析光刻机曝光台垂向运动至期望位置时的加速度，由于使用上述计算分析系统能够将冗余位置测量出，因此在计算分析的时候能够将这些无用的冗余数据过滤，精确地分析出光刻机曝光台垂向运动至期望位置时所需的驱动力和加速度，因此本发明相对于现有技术能够提高对光刻机曝光台垂向微动控制的精度。
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公开(公告)号：CN109728752A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201711051623.1
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 张霖
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种磁对准方法及一种磁浮电机，所述磁对准方法包括：S1：在一对线圈数量及排列方向均相同的线圈组中通入电流进行磁对准初始化，任意设置其中一个线圈组的初始磁角度，并根据两个线圈组的位置关系设置另一个线圈组的初始磁角度；S2：控制电流的电流角度在一个磁对准角度周期内变化，通过至少一个垂向测量装置测量一对线圈组中至少一个线圈组与磁钢阵列之间的垂向间距；S3：根据记录的一个周期的数据，选择所述垂向测量装置测得的数据最大值对应的电流角度，并根据该电流角度计算所述一对线圈组的磁对准角度。本发明对成对的线圈组进行磁对准，不会发生水平向位移，对准精度高。
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公开(公告)号：CN104753306B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310752308.7
申请日：2013-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K41/02
CPC classification number: H02K41/02 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种磁钢阵列和磁浮平面电机，该磁钢阵列包括：一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列，所述一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列共同构成方形的磁钢阵列，所述二维海尔贝克磁钢阵列分设于该方形磁钢阵列一条对角线的两端位置处。本发明的磁钢阵列采用了二维海尔贝克磁钢阵列与一维海尔贝克磁钢阵列相结合的方式，与同样尺寸的纯一维磁钢阵列相比，增大了磁浮平面电机的推力常数。
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公开(公告)号：CN105281531B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201410331239.7
申请日：2014-07-11
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机，包括外部背铁，所述外部背铁为圆筒型背铁或两个板型背铁；置于所述外部背铁内的磁钢组件；及置于外部背铁内侧及磁钢组件外侧之间的线圈，所述线圈与磁钢组件之间可相对运动；所述外部背铁的磁通饱和度沿重力方向由小变大。本发明通过设置磁通饱和度沿重力方向由小变大的外部背铁，使电机具有一个相对稳定地向上的作用力，以作为重力补偿，减小电机发热。
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