公开(公告)号：CN111948911B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN117930592A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202311391987.X

申请日：2023-10-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李寅载 ,  裵城庸 ,  尹大根 ,  崔仁镐 ,  金圣协 ,  金宜信 ,  金桢吉 ,  南艺彬 ,  李东镇 ,  李钟俱 ,  郑都铉 ,  郑东植

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67

Abstract: 一种基板处理装置包括：在曝光腔室中的台，曝光腔室被配置为对半导体基板执行曝光工艺；引导器件，包括在第一水平方向上可滑动地移动的第一水平驱动体和在第一水平驱动体上并具有沟槽的导轨，导轨在第二水平方向上延伸；连接到引导器件的定位器件，该定位器件包括滑块、第二水平驱动体和基板台，滑块配置为沿着沟槽在第二水平方向上可滑动地移动，第二水平驱动体连接或固定到滑块，基板台在第二水平驱动体上并被配置为支撑半导体基板；以及在导轨和基板台之间的阻挡构件，以阻挡异物流入到基板台上。

公开(公告)号：CN115776754A

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN202210679515.3

申请日：2022-06-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 宋镐石 ,  金圣协 ,  李寅载 ,  金桢吉

IPC: H05G2/00

Abstract: 一种用于极紫外(EUV)光发生器的聚光镜，包括：第一镜，在容器中，该容器被配置为接收用于生成EUV光的材料和激光束；第二镜，围绕第一镜；以及可拆卸的第三镜，在第一镜和第二镜之间，第三镜具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。

公开(公告)号：CN111948911A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010411668.0

申请日：2020-05-15

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  刘灏 ,  李镇焕 ,  金桢吉 ,  朴钟彬 ,  崔仁镐

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了一种从源容器去除残留物的设备，所述设备包括框架部分以及框架部分上的加热器结构，该加热器结构具有：框架部分上的头部，该头部在至少一个轴向上可旋转，以及头部上的加热器，其朝着源容器中的残留物散热，加热器施加200℃至800℃的温度。

公开(公告)号：CN101879498B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201010175660.5

申请日：2010-05-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵暎泰 ,  权信 ,  金基贤 ,  徐正祐 ,  金东民 ,  金桢吉

IPC: B05C9/12 ,  B05D3/06

CPC classification number: B65H23/038 ,  B05C5/0241 ,  B05D1/40 ,  B05D3/067 ,  B65H2301/5114 ,  B65H2301/5126 ,  B65H2404/15212

Abstract: 本发明公开了一种卷对卷式图案化装置和具有该卷对卷式图案化装置的图案化系统，所述卷对卷式图案化装置包括用于对齐薄膜构件的对齐辊。随着对齐辊对齐进入图案辊和压辊之间的薄膜构件，薄膜构件可运动至准确的位置，这样能够制造具有准确图案的薄膜构件。

公开(公告)号：CN101085580B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200610121809.5

申请日：2006-08-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴正扜 ,  崔炯佶 ,  赵成训 ,  金光秀 ,  金桢吉 ,  李锡原 ,  李文九

IPC: B41M5/26 ,  B41M1/24

Abstract: 本发明提供一种利用纳米压印以简单的工艺形成同时具有亲水性和疏水性的微细图案的方法。本发明利用刻着具有疏水性的微细结构物的模具在亲水性抗蚀涂层的表面转印所述模具的微细结构物。转印所述微细结构物包含步骤：使所述模具的微细结构物接触所述亲水性抗蚀涂层并施加预定压力；通过加热或照射紫外线使所述亲水性抗蚀涂层硬化之后将所述模具移开。