-
公开(公告)号:CN101807575B
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN200910265299.2
申请日:2009-12-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L23/522 , H01L21/8239 , H01L21/768
CPC classification number: H01L21/76834 , H01L21/76816 , H01L23/485 , H01L27/10855 , H01L27/10888 , H01L27/11 , H01L27/11517 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供了包括接触塞的半导体器件及相关方法。半导体器件包括半导体层,该半导体层包括第一区域和第二区域;第一接触塞,该第一接触塞布置在半导体层上并且电气地连接至第一区域;第二接触塞,该第二接触塞布置在半导体层上并且电气地连接至第二区域;导电层,该导电层电气地连接至第一接触塞,该导电层具有侧面和底面;以及绝缘层,该绝缘层布置在导电层和第二接触塞之间以便于绝缘导电层和第二接触塞,该绝缘层面对导电层的底面的一部分和侧面。
-
公开(公告)号:CN104037125A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201410076999.8
申请日:2014-03-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/77 , H01L21/768 , H01L27/04
CPC classification number: H01L23/544 , H01L21/6835 , H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L27/0688 , H01L27/10897 , H01L27/14632 , H01L27/14634 , H01L27/1464 , H01L2221/68327 , H01L2221/6835 , H01L2221/68363 , H01L2223/54426 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供了半导体器件及其制造方法。制造半导体器件的方法包括:提供具有第一表面和与第一表面相反的第二表面的半导体基板;形成穿过半导体基板的一部分并从第一表面朝向第二表面延伸的对准标记和连接接触;在半导体基板的第一表面上形成第一电路使得第一电路电连接到连接接触;使半导体基板的第二表面凹陷以形成暴露对准标记和连接接触的第三表面;以及在半导体基板的第三表面上形成第二电路使得第二电路电连接到连接接触。
-
公开(公告)号:CN1482669A
公开(公告)日:2004-03-17
申请号:CN03136040.8
申请日:2003-05-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/82 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/41783 , H01L21/28247 , H01L21/28518 , H01L21/823418 , H01L27/105 , H01L27/10873 , H01L27/10894 , H01L29/41775 , H01L29/6653 , H01L29/6656 , H01L29/66628
Abstract: 具有侧壁的栅形成在集成电路衬底上。在栅的侧壁上形成阻挡层间隔。阻挡层间隔的一部分从栅的侧壁突出,露出面向集成电路衬底的阻挡层间隔的下表面。在从栅的侧壁突出的阻挡层间隔的所述部分上形成硅化物层。也提供了相关的装置。
-
-