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公开(公告)号：CN114823844A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202111212561.4
申请日：2021-10-18
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种半导体器件，包括：第一源极/漏极；第二源极/漏极，在水平方向上与所述第一源极/漏极隔离以不直接接触；沟道，在所述第一源极/漏极与所述第二源极/漏极之间延伸；栅极，围绕所述沟道；上内间隔物，在所述栅极与所述第一源极/漏极之间并且在所述沟道上方；以及下内间隔物，在所述栅极与所述第一源极/漏极之间并且在所述沟道下方，其中，所述沟道包括：基部，在所述第一源极/漏极与所述第二源极/漏极之间延伸；上突出部，从所述基部的顶表面向上突出；以及下突出部，从所述基部的底表面向下突出，并且所述上突出部的顶端与所述下突出部的底端隔离以不直接接触所沿的方向相对于竖直方向倾斜。
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公开(公告)号：CN108269849B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201710780704.9
申请日：2017-09-01
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/10 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供了具有沟道区的半导体器件。一种半导体器件包括：衬底；多个凸出部，所述多个凸出部在所述衬底上彼此平行地延伸；多条纳米线，所述多条纳米线设于所述多个凸出部上并且彼此分开；多个栅电极，所述多个栅电极设于所述衬底上并且围绕所述多条纳米线；多个源/漏区，所述多个源/漏区设于所述多个凸出部上并且位于所述多个栅电极中的每一个栅电极的侧部，所述多个源/漏区与所述多条纳米线接触；以及多个第一空隙，所述多个第一空隙设于所述多个源/漏区与所述多个凸出部之间。
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公开(公告)号：CN110828570A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201910609149.2
申请日：2019-07-08
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/423
Abstract: 一种半导体器件包括：鳍型有源区，沿第一方向延伸、从衬底突出；多个纳米片堆叠结构；阻挡膜，覆盖所述多个纳米片堆叠结构之中与鳍型有源区的两侧相邻的一对纳米片堆叠结构的每个的上表面的一部分和一个侧壁；栅电极，在鳍型有源区上沿与第一方向交叉的第二方向延伸，栅电极包括围绕所述多个纳米片的实际栅电极和设置在阻挡膜上的虚设栅电极；以及栅极电介质层，在实际栅电极与所述多个纳米片之间以及虚设栅电极与阻挡膜之间。
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公开(公告)号：CN109904156A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201811444764.4
申请日：2018-11-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/092 , H01L29/423
Abstract: 本申请提供了一种半导体器件。所述半导体器件可以包括：位于衬底上的第一沟道图案和第二沟道图案、分别与所述第一沟道图案和所述第二沟道图案接触的第一源极/漏极图案和第二源极/漏极图案、以及分别与所述第一沟道图案和所述第二沟道图案交叠的第一栅极电极和第二栅极电极。所述第一栅极电极可以包括位于所述第一沟道图案的所述第一半导体图案与所述第二半导体图案之间的第一段。所述第一段可以包括朝向所述第一源极/漏极图案突出的第一凸出部分。所述第二栅极电极可以包括位于所述第二沟道图案的所述第三半导体图案与所述第四半导体图案之间的第二段。所述第二段可以包括朝向所述第二段的中心凹陷的凹入部分。
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公开(公告)号：CN110400803B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910747785.1
申请日：2014-08-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/092 , H01L29/423 , H01L21/8238
Abstract: 本发明提供一种半导体器件。该半导体器件包括：衬底，包括第一区和第二区；第一晶体管，提供在第一区上以包括从衬底突出的第一沟道区；以及第二晶体管，提供在第二区上以包括第二沟道区和在衬底与第二沟道区之间延伸的栅电极。第一沟道区可以包括包含与第二沟道区不同的材料的下半导体图案和包含与第二沟道区相同的材料的上半导体图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107482047B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201710390940.X
申请日：2017-05-27
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/423 , H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供了一种半导体装置，其包括：衬底上的绝缘层；第一沟道图案，其位于绝缘层上，并且接触绝缘层；第二沟道图案，其位于第一沟道图案上并且彼此水平地间隔开；栅极图案，其位于绝缘层上，并且包围第二沟道图案；以及各个第二沟道图案之间的源极/漏极图案。
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公开(公告)号：CN112103342A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010223071.3
申请日：2020-03-26
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种集成电路包括：鳍式有源区，从衬底突出；多个半导体图案，位于所述鳍式有源区的上表面上；栅电极，围绕所述多个半导体图案并且包括主栅极部分和子栅极部分，所述主栅极部分位于所述多个半导体图案中的最上面的半导体图案上，所述子栅极部分分别位于所述鳍式有源区与所述多个半导体图案中的最下方的半导体图案之间以及所述多个半导体图案之间；间隔物结构，设置在所述主栅极部分的侧壁上；以及源极/漏极区，位于所述栅电极的一侧。所述源极/漏极区连接到所述多个半导体图案并且接触所述间隔物结构的底表面。所述最上面的半导体图案的顶部部分具有第一宽度。所述最上面的半导体图案的底部部分具有小于所述第一宽度的第二宽度。
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公开(公告)号：CN111952358A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010411201.6
申请日：2020-05-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/423 , H01L29/06 , H01L29/78 , H01L27/02
Abstract: 一种半导体器件包括：第一和第二鳍型图案；与第一和第二鳍型图案交叉的第一和第二栅极图案；第三和第四栅极图案，在第一和第二栅极图案之间且与第一鳍型图案交叉；第五栅极图案，与第二鳍型图案交叉；第六栅极图案，与第二鳍型图案交叉；第一至第三半导体图案，分别设置在第一栅极图案和第三栅极图案之间、第三栅极图案和第四栅极图案之间以及第四栅极图案和第二栅极图案之间；以及第四至第六半导体图案，分别设置在第一栅极图案和第五栅极图案之间、第五栅极图案和第六栅极图案之间以及第六栅极图案和第二栅极图案之间。第一半导体图案至第四半导体图案和第六半导体图案电连接到布线结构，第五半导体图案不连接到布线结构。
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公开(公告)号：CN110400803A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910747785.1
申请日：2014-08-12
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/092 , H01L29/423 , H01L21/8238
Abstract: 本发明提供一种半导体器件。该半导体器件包括：衬底，包括第一区和第二区；第一晶体管，提供在第一区上以包括从衬底突出的第一沟道区；以及第二晶体管，提供在第二区上以包括第二沟道区和在衬底与第二沟道区之间延伸的栅电极。第一沟道区可以包括包含与第二沟道区不同的材料的下半导体图案和包含与第二沟道区相同的材料的上半导体图案。
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公开(公告)号：CN104377197B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201410393679.5
申请日：2014-08-12
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括：衬底，包括第一区和第二区；第一晶体管，提供在第一区上以包括从衬底突出的第一沟道区；以及第二晶体管，提供在第二区上以包括第二沟道区和在衬底与第二沟道区之间延伸的栅电极。第一沟道区可以包括包含与第二沟道区不同的材料的下半导体图案和包含与第二沟道区相同的材料的上半导体图案。
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