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公开(公告)号：CN103047338A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574195.1
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨解耦，角运动自由度通过二维柔性铰链解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN102866596A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210385289.4
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种配装波纹管垂向解耦重力补偿器的微动台属于半导体制造装备技术领域，该微动台在重力补偿器顶部配置有波纹管实现垂向解耦，在垂向音圈电机动子磁钢顶部相对于轴心对称配置有由三个相同的片簧构成的支撑簧片，在基座与垂向音圈电机定子线圈之间设置有水冷环形腔，并配备有冷却水和压缩空气的均温装置，本微动台具有结构简单、易加工、可释放电机动子热膨胀应力、带走电机产热、抑制温升的特点，同时可均化冷却水和压缩空气温度，消除气路与电缆并行铺设由线缆发热带来的压缩空气温升，有利于抑制微动台微环境下的温度波动，保证微动台严苛的恒温外部环境。
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公开(公告)号：CN102866595A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210385257.4
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于光刻机双工件台的二维微位移测量方法及传感装置，属于IC制造和超精密测量及加工装备，其测量方法是霍尔微位移传感器的输出霍尔电压信号随宏、微双工件台相对位移呈线性变化，通过呈90°相位关系的两个霍尔微位移传感器测量二维微位移，外部检测电路处理并综合两个霍尔传感器的输出信号完成测量；其装置解决了光刻宏微双重驱动机构Chuck台、掩膜台等特殊位置高速高精度相对位置检测的问题，具有无触点、线性好、可集成度高、可移植力强的特点，且可实现一维、二维或三维等多维度测量，适应光刻系统的环境要求。
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公开(公告)号：CN119480333A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411662234.2
申请日：2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置，属于光刻机技术与超精密测量技术领域，解决了光刻机运动台系统精度低和稳定性差的问题，Halbach永磁阵列包括：若干个阵列单元；每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个六棱柱磁钢和12个长方体磁钢。本发明通过优化设计拓扑结构，采用新型柔性充磁方法，大幅修正现有磁钢阵列的谐波分量畸变、周期性扭曲畸变和峰值波动畸变，使得三种畸变情况都远优于现有磁钢阵列，且周期性畸变几乎完全消除，非扫描方向波动畸变分散程度大幅减小，总谐波畸变率最大可修正至优化前五分之一。
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公开(公告)号：CN119125313A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411324780.5
申请日：2024-09-23
Abstract: 本发明涉及面向飞机平尾大轴缺陷成像的伪影改善与噪声抑制方法，属于超声检测技术领域。包括以下步骤：选择合适探测位置，建立极坐标系；划分均匀网格；计算声波传播距离，延迟叠加波束合成；遍历所有聚焦点；改进波束合成方法。本发明解决了传统延迟叠加波束合成方法由于其波形叠加合成模式简单，无法对回波信号中混杂的非相干噪声进行有效分辨并剔除，成像易受噪声干扰，成像鲁棒性不高，并且其对超声旁瓣引起的成像伪影也无法进行改善的问题；本发明在最小方差自适应波束合成方法的基础上，改进提出了最小方差‑信噪比系数复合自适应波束合成方法；通过在回波信号中加入高斯强噪声以模拟干扰环境，具有噪声环境成像效果和最好的伪影抑制效果。
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公开(公告)号：CN117154983B
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202311022256.8
申请日：2023-08-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K3/00 , H02K3/04 , H02K3/28 , H02K3/24 , H02K9/00 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K5/24 , H02K1/06 , H02K1/22 , H02N15/00
Abstract: 本发明公开了一种平面电机动子结构，该动子结构整体呈正棱柱状，包括上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板，多个三相线圈组沿上盖板几何中心旋转对称分布，相邻两个三相线圈组之间形成线圈组间隙，上盖板、散热结构、多个三相线圈组和下盖板由上至下依次同轴叠加固定设置。本发明可解决平面电机线圈局部温度过高的问题，提升散热效率，延长平面电机的使用寿命。
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公开(公告)号：CN118611474A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410697557.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00 , H02K9/19 , H02K11/215 , H02K11/22 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67
Abstract: 一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，它涉及一种磁悬浮运动台，本发明为解决传统的磁悬浮运动台结构复杂、负载大且成本高的问题，它包括宏动台单元和微动台单元，所述宏动台框架的中部设有矩形槽，矩形槽的四周分别设有四个安装槽，每个安装槽内设有一个水冷中空板，每个水冷中空板的下表面连接有一个绕组线圈，所述宏动台晶圆支撑架与宏动台框架连接，用于承载晶圆；所述微动台单元位于所述矩形槽内。本发明提出一种宏动微动结合的磁悬浮运动台，可以减轻宏动台的负载，减少设计复杂度，降低系统复杂度，缩小系统体积，节约成本，对超精密加工领域，尤其是光刻机领域有着重要意义。本发明属于磁悬浮技术领域。
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公开(公告)号：CN118589905A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410696652.7
申请日：2024-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种准零刚度的自动隔振磁悬浮平面电机动子，本发明涉及一种电机动子，本发明为解决磁悬浮平面电机动子在垂向的振动问题，本发明包括动子框架、嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块；所述嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块由上至下安装在动子框架内，且嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块之间设有间隙。所述移动绕组线圈模块为四组，每组绕组线圈模块的上部设有一个嵌入PCB线圈模块。本发明针对磁悬浮运动系统，从结构上实现了准刚度自动隔振效果，具有一定的应用潜力。本发明属于隔振技术领域。
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公开(公告)号：CN117168665B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202311015366.1
申请日：2023-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种基于Lyapunov指数字典的空耦超声Lamb波声时特征提取方法，本发明利用混沌系统对初始条件和参数极度敏感而对噪声免疫力较强的特点，建立Duffing振子的Lyapunov指数字典，通过基追踪降噪算法重构微弱信号中的空耦超声Lamb波，从而降低信噪比门限，提高声时特征提取的准确度，实现基于空耦超声Lamb波的复合材料板高准确度应力表征。
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公开(公告)号：CN116882077B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310692472.7
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明提出一种激振台振动信号的产生方法，激振台激振信号的产生方法包括以下步骤：在仿真软件中生成激振台的振动信号，建立本发明中激振台动力学模型，推导出激振台电机出力到激振台振动速度的传递函数，通过仿真软件仿真得到电机出力的最大值和有效值，根据电机出力进行电机选型和安装位置布局。该方法低成本，简单易用，产生的激振信号保真性好。
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