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公开(公告)号：CN108411279B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201810294227.X
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/50 , C23C16/56
Abstract: 本发明属于薄膜制备领域，并具体公开了一种高速钢刀具保护涂层的制备方法，包括：对刀具表面进行预处理，将其置于等离子体增强化学气相沉积设备中沉积微米级无机薄膜；将其置于等离子体增强原子层沉积装备中，在适当的温度、压力及合适的等离子体功率条件下，将不同前驱体交替通入，以在刀具表面依次形成饱和吸附完成化学反应；最后对复合涂层进行退火处理。本发明通过等离子原子层沉积形成的纳米尺度的薄膜可有效减少化学气相沉积薄膜表面的缺陷，进而实现对刀具在加工、存储状态下的有效保护。本发明可以实现在低温条件下利用化学气相沉积手段实现刀具表面保护涂层的制备，进而实现对刀具的有效保护。
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公开(公告)号：CN106525683B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201610955290.4
申请日：2016-10-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜渗透率测量技术领域，并公开了一种薄膜渗透率测量装置，包括机械泵、第一真空阀、第二真空阀、气源、球阀、待测气体室、第一真空计、放样处、积累室、第二真空计、第一气动挡板阀、分子泵、第二气动挡板阀、测量室、针阀和四级杆质谱仪。本发明采用了四级杆质谱仪，四级杆质谱仪分压的灵敏度非常高，可以测得微小的分压变化，从而提高测量精度，有利于提高柔性封装领域的渗透性测量的精确性。本发明由压块压紧样品，安装简便，而且可以多次测量不破坏样品，测量过程简便，而且本发明的测试装置体积较小，结构紧凑，使用方便，另外，本发明适用薄膜的种类多，而且可以针对多种待测气体进行测量。
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公开(公告)号：CN108715998A
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201810614134.0
申请日：2018-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C16/4417
Abstract: 本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域，并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置，该装置包括颗粒容器和反应腔体，其中反应腔体的下端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管；反应腔体的上端开设有腔门，颗粒容器可以自由放置于反应腔体中，或从中取出；颗粒容器下端设有进气孔，进气管通过进气孔进入颗粒容器的内腔。通过本发明，能够有效将气流内循环与外循环的方法相结合，显著增大颗粒间的碰撞及与气体分子的接触概率，提升反应速率和前驱体利用率，实现大批量微纳米颗粒的高质高效包覆。
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公开(公告)号：CN108507666A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810274614.7
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明属于振动检测领域，并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元，质量块设置在外壳的中心，导电环套在质量块的对称两侧，外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器，支撑块用于连接质量块和导电环，压电传感器用于将力信号转化为电信号，导电环内壁设置有电极，电极与压电传感器上均设置有导线，用于引出电信号；外壳受到振动向质量块靠近，使得压电传感器与导电环接触，并与外接电路形成闭合回路，由不同位置处的压电传感器反馈的电信号判断振动力的大小和位置，以此确定振动的来源和振幅。通过本发明，实现微弱地震波信号和建筑物微小振动的检测，结构简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN108411279A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810294227.X
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/50 , C23C16/56
CPC classification number: C23C16/50 , C23C16/303 , C23C16/34 , C23C16/345 , C23C16/402 , C23C16/403 , C23C16/4554 , C23C16/45553 , C23C16/45555 , C23C16/56
Abstract: 本发明属于薄膜制备领域，并具体公开了一种高速钢刀具保护涂层的制备方法，包括：对刀具表面进行预处理，将其置于等离子体增强化学气相沉积设备中沉积微米级无机薄膜；将其置于等离子体增强原子层沉积装备中，在适当的温度、压力及合适的等离子体功率条件下，将不同前驱体交替通入，以在刀具表面依次形成饱和吸附完成化学反应；最后对复合涂层进行退火处理。本发明通过等离子原子层沉积形成的纳米尺度的薄膜可有效减少化学气相沉积薄膜表面的缺陷，进而实现对刀具在加工、存储状态下的有效保护。本发明可以实现在低温条件下利用化学气相沉积手段实现刀具表面保护涂层的制备，进而实现对刀具的有效保护。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108359960A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810274604.3
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明属于原子层沉积反应领域，并公开了一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备。设备包括进料装置、料槽、起振装置和反应装置，料槽一端的上方设置有进料装置，另外一端的上方设置有反应装置，起振装置与料槽相连，使得从进料装置进入料槽中的微纳米颗粒做向前的抛掷运动直至到达反应装置的下方；反应装置包括有多个并行排列的反应喷头和设置在喷头侧面的加热片，在多个反应喷头中通入反应气体，采用惰性气体隔开，用于通入反应气体使得料槽中的微纳米颗粒发生沉积反应，微纳米颗粒到达反应装置下方后与从反应喷头中喷入的气体发生反应，以此完成沉积过程。通过本发明，缩短反应时间，提高反应效率，本设备结构简单，便于使用和维护。
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公开(公告)号：CN105779968B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201610148917.5
申请日：2016-03-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明公开了一种量子点薄膜制备方法，其包括如下步骤：1)采用原子层沉积技术在量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物薄膜，以将量子点包覆；2)将包覆有金属氧化物的量子点涂覆在有机薄膜聚对苯二甲酸乙二酯衬底上，制备获得量子点薄膜；3)采用空间隔离原子层沉积技术在量子点薄膜及量子点表面沉积纳米或亚微米厚度的氧化物薄膜，以保证量子点不被氧化。本发明采用在量子点表面分步包覆钝化膜的方法制备量子点薄膜，解决量子点易被氧化，致使其丧失发光性能的问题，具有制备工艺简单，制备成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107754787A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201711010759.8
申请日：2017-10-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于碳颗粒净化相关技术领域，其公开了三维有序莫来石催化剂，其适用于柴油机车排放的碳颗粒的催化氧化；所述三维有序莫来石催化剂为具有大孔结构的莫来石型复合金属氧化物，所述大孔结构为均匀有序的反蛋白石结构；所述三维有序莫来石催化剂包括有活性组分，所述活性组分包括稀土金属及过渡金属。本发明还涉及三维有序莫来石催化剂的制备方法及净化方法。本发明主要采用稀土金属和过渡族金属元素，成本较低；大孔结构可以促进碳颗粒进入到孔道内部并进行顺畅的扩散，使得碳颗粒充分与催化剂的表面进行接触，从而提高催化性能。
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公开(公告)号：CN104624184B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310571863.X
申请日：2013-11-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/34 , B01J23/889 , B01J23/83 , B01D53/94 , B01D53/56
Abstract: 本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的催化剂，其特征在于，所述催化剂为莫来石型复合氧化物，化学通式为A1‑xA'xB2‑yB'yO5，其中，A和A'各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种，B和B'各自独立地为过渡族金属元素中的一种，且0≤x≤1，0≤y≤2。该催化剂可以在较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化氮，且成本低，具有很好的热稳定性，能长时间保持较高的催化活性，明显提高汽车尾气中氮氧化物的去除效率，且制备方法简单，易于操作，适合大规模工业化应用。
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