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公开(公告)号：CN103403425A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201180055091.3
申请日：2011-11-14
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K37/0016 , F16K37/0041 , Y10T137/8275
Abstract: 本发明提供一种能够确保长期的检测可靠性且流体通路的开度的检测精度高的手动阀用开度检测装置。把手(13)为中空状。位移传感器(4)固定在把手(13)的内面上。标杆(5)具有配置在从把手(13)内的阀杆离开规定距离的位置上的标杆主体(22)、在标杆主体(22)的与位移传感器(4)相对的面上形成的检测用倾斜面(23)、和从标杆主体(22)向下方突出的下方突出部(25)。在把手(13)的底壁(14a)上设有使标杆(5)的下方突出部(25)能够上下移动地穿插的贯穿孔(30)。标杆(5)通过使其下方突出部(25)下表面被阀主体(11b)支承，从而虽然与把手(13)一同旋转，但不会相对于阀主体(11b)上下移动。
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公开(公告)号：CN102934202A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201080064420.6
申请日：2010-10-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , B01J4/00 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: B01J4/02 , G05D11/132 , H01L21/67017 , Y10T137/87249
Abstract: 在半导体制造装置用的混合气体供给装置中，防止其他气体种类向过程气体供给线的逆扩散，实现混合气体供给装置的歧管及过程腔室的气体置换的高速化。本发明是一种混合气体供给装置，将由流量控制装置和出口侧切换阀（VO）构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀（VO）的气体出口向歧管（1）连接、并且将距歧管（1）的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用，其中，经由上述流量控制装置的出口侧连结配件（22）及具有气体通路（19a）的安装台（19）将流量控制装置的出口侧和出口侧切换阀（VO）的入口侧气密地连结，在上述出口侧连结配件（22）的流路（24）的一部分及或将上述出口侧切换阀（VO）与歧管（1）的混合气体流通孔（20）连通的流路（25）中设置小孔部（26），能够实现其他气体向出口侧切换阀（VO）的上游侧或流量控制装置的上游侧的逆扩散的防止和连结在歧管（1）的混合气体出口（2）上的过程腔室（6）的高速气体置换。
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公开(公告)号：CN101994870B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010226949.5
申请日：2006-11-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种常开型压电元件驱动式金属隔膜型控制阀。在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。
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公开(公告)号：CN102341760A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN101994870A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010226949.5
申请日：2006-11-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种压电元件驱动式金属隔膜型控制阀。在高温环境下也能进行高精度的稳定流量控制，并可无需拆卸控制阀自身来调整加在压电元件上的压力。具体由下列构件构成：形成有阀室7a′和阀座7c的阀体7；设置在阀室7a′内，可落入或离开阀座7c的金属隔膜8；固定在阀体7侧的致动器壳体10；设置在致动器壳体10内，因电压的施加而向下方伸长，通过金属隔膜压塞12加压于金属隔膜8的压电元件13；在金属隔膜8向阀座7c坐落时吸收压电元件13的伸长，并可向阀座7c等施加预定压力的碟形弹簧机构14；在压电元件13上常时施加向上的压力，并可从外部调整加在压电元件13上的压力的预压机构21。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101484859B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200780025188.3
申请日：2007-06-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022
Abstract: 在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
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公开(公告)号：CN101983418A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN200980111910.4
申请日：2009-02-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/31 , B01J4/00 , H01L21/205
CPC classification number: B01J4/02 , B01B1/005 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , B01J2219/00191 , B01J2219/00198 , B01J2219/00213 , B01J2219/00231 , C23C16/4481 , C23C16/4485 , C23C16/45561 , F02D19/023 , F02D19/027 , F02M21/0239 , F02M21/06 , Y02T10/32 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606
Abstract: 本发明提供具备气化器的气体供给装置，该气体供给装置由下列部件构成：液体收纳罐；使液体气化的气化器；对气化气体的流量进行调节的高温型压力式流量控制装置；以及加热装置，该加热装置对气化器、高温型压力式流量控制装置以及与气化器和高温型压力式流量控制装置连接的配管路径的期望部分进行加热，由此实现节能和小型化，并且不需要严格的气化器侧的温度控制，就能够稳定且简单地进行高精度的气体流量控制。
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公开(公告)号：CN100538573C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200480017296.2
申请日：2004-06-10
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
Abstract: 设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q1/Q2向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL1、GL2)上，分别设置开闭阀(OV1、OV2)，并使用在前述开闭阀(OV1)的下游侧从(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从(GL2)分支的(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分流供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)，通过分支供给管线(GL1、GL2)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q1、Q2向容器(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN100520657C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200480022484.4
申请日：2004-07-28
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0652 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
Abstract: 本发明防止流量的控制精度在小流量域显著降低，在整个流量控制域进行高精度流量控制，同时通过高精度流量控制可以控制宽广的腔室压力范围。具体地说，由并联连接的多台压力式流量控制装置和控制上述多台压力式流量控制装置的动作的控制装置形成，向由真空泵排气的腔室流量控制地供给期望的气体的腔室气体供给装置中，令上述一台压力式流量控制装置为控制向腔室供给的最大流量的至多10%的气体流量域的装置，令剩余的压力式流量控制装置为控制剩余的气体流量域的装置。
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公开(公告)号：CN100520311C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200580005584.0
申请日：2005-01-13
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供提高热式质量流量传感器的耐蚀性的同时，可使对压力变动的测定精度稳定、响应性提高、除颗粒、防止制品质量的偏差及压力测定等的耐蚀金属制流体用传感器和采用该传感器的流体供给设备。具体地说，本发明的耐蚀金属制流体用传感器，测量流体的质量流量及压力，其中设有：耐蚀性金属基片2；形成设于该耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的温度传感器3a和加热器3b的用薄膜构成的质量流量传感器部1；以及形成设于耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的应变传感器元件4a的由薄膜构成的压力传感器部4。
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