半导体装置及其制造方法
    111.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108074913A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201710999443.X

    申请日:2017-10-24

    Abstract: 本公开涉及半导体装置及其制造方法。在半导体装置中,包括与传输线(第一光波导和第二光波导)不同的材料的第一虚设图案形成在靠近传输线的第一区域中,并且包括与传输线相同的材料并且不充当传输线的第二虚设图案形成在与传输线分开的第二区域中。

    半导体器件及其制造方法
    115.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104111132A

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201410155975.1

    申请日:2014-04-17

    CPC classification number: G01L9/005 G01L9/0055 H01L29/84 H01L41/113

    Abstract: 本发明的目的在于抑制当环境温度改变时可以引起的由压力传感器检测到的数值的误差。半导体衬底具有第一导电类型。半导体层形成在半导体衬底的第一表面之上。每个电阻部件都具有第二导电类型,并且形成在半导体层中。电阻部件相互间隔开。隔离区域是形成在半导体层中的第一导电类型的区域,并且将电阻部件相互电隔离开。凹陷部分形成在半导体衬底的第二表面中,并且当平面地观察时凹陷部分与电阻部件重叠。半导体层是外延层。

    半导体器件
    117.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103681601A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310410095.X

    申请日:2013-09-06

    Abstract: 为了抑制电感器引起的噪声向外界泄漏并且也被配置为使得磁场强度改变到达电感器。电感器在平面图中包围内部电路并且也电耦合到内部电路。上屏蔽部分覆盖电感器的上侧,并且下屏蔽部分覆盖电感器的下侧。通过使用多层布线层来形成上屏蔽部分。上屏蔽部分具有多个第一开口。第一开口在平面图中与电感器重叠。

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