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公开(公告)号：CN103455424B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310428609.4
申请日：2013-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks操作系统的动态内存泄漏检测方法及装置，涉及一种动态内存泄漏检测方法及装置。为了解决目前动态内存泄漏检测的检错效率低且速度慢的问题。它通过改写内存分配函数malloc()和内存释放函数free()得到函数LC_malloc()和函数LC_free()，以日志的形式记录分配和释放信息，实现动态内存的跟踪；通过TCP通信协议，使用数据发送缓冲队列，将日志信息从安装有VxWorks操作系统的工控机上传到上位机；在上位机中，从日志文件中读入日志事件项，并对比内存的分配和释放，从日志文件中分析并检测出内存泄露。它适用于动态内存泄漏检测。
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公开(公告)号：CN104991425A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510465244.1
申请日：2015-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机工件台的一体式平衡质量装置，属于半导体制造装备技术领域，本发明为解决现有光刻机平衡技术采用两个平衡质量块存在同步设计难度大的问题。本发明包括基础框架、平衡质量块、垂向气浮垫、Y向直线电机导轨部分、X向运动机构、平衡质量块直线电机部分六个部分。平衡质量块底面四个角上分别固定一个垂向气浮垫，用以通过气浮隔离底部的基础框架从而实现系统的隔振与低摩擦运动。平衡质量块上平面上安装两条Y向直线电机的导轨，作为Y向直线电机的定子部分，X向导轨部分安装在Y向直线电机导轨上，平衡质量块电机驱动平衡质量块运动，从而对由于X向导轨反作用力造成的平衡质量块的偏移进行补偿，使平衡质量块重新回到平衡位置。
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公开(公告)号：CN104977816A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510474805.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为寻优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Particle Swarm Optimization优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN104748701A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510166403.8
申请日：2015-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 绝对式光电编码器粗码译码电路及其粗码自适应采样的译码方法，属于光电轴角测量技术领域。为了解决现有的绝对式光电编码器粗码译码的比较电压靠查表获得操作复杂的问题。本发明采用A/D模块对光电码盘的光电信号进行采样，使所述光电信号离散化，获得离散后的采样数据；对离散后的采样数据进行处理，得到采样数据的最大值和最小值；根据获得的最大值和最小值，按占空比50％得到实时的比较电压；粗码译码模块根据获得的比较电压对当前粗码信号进行译码，进而获得粗码译码信号。本发明用于粗码译码。
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公开(公告)号：CN104613986A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510060995.5
申请日：2015-02-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D3/036
Abstract: 一种基于最小二乘法拟合曲线补偿光电编码器基准电压的方法，本发明涉及补偿光电编码器基准电压的方法。本发明的目的是为了解决现有技术译码误差率高的问题。一种基于最小二乘法拟合曲线补偿光电编码器基准电压的方法具体是按照以下步骤进行的：步骤一、将光电编码器的光电信号离散化，通过A/D进行周期采样，得到采样的数据；步骤二、将采样的数据进行最小二乘法拟合曲线，得到最小二乘法拟合曲线方程式，计算得到最小二乘法拟合曲线方程式的最大值和最小值；步骤三、根据最小二乘法拟合曲线方程式的最大值和最小值，采用防脉冲干扰复合滤波法获得新的基准电压。本发明应用于光电编码器译码，补偿和最小二乘法拟合曲线等技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104482949A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410835368.X
申请日：2014-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种光电编码器精码零偏、幅值自适应补偿方法，它涉及的是光电编码器译码、补偿和调试等技术领域。为了解决现有的方法因复杂程度很高，译码电路的自适应性很差，而且观察示波器的得到的数据包含大量的人为误差，严重损耗了编码器的精度的问题。其补偿的步骤是：光电编码器的光电信号通过A/D采样，采用递推平均滤波法对采样数据进行一次滤波，变成新的数据，在一个采样周期内将新的数据点采用冒泡法向上向下分别取得最大值和最小值，对最大值和最小值用“中位数”的方法进行平滑估计得到估计波峰值和估计波谷值，采用一阶滞后滤波算法计算得到新的基准电压。本发明极大的减小地面测试和操作的难度，提高了测试精度和对外界环境的适应性。
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公开(公告)号：CN103292130B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310187793.8
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多轴支撑气浮平台的调平方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它通过上位机将当前的工作模式、控制命令和误差参数通过以太网发送给控制器；控制器每200μs发出伺服周期开始信号，启动平动状态工作模式或静止状态工作模式；控制器对其读取的所有反馈信号进行数据融合处理，获得支撑腿的调节量，然后控制器通过驱动伺服音圈电机驱动器对伺服音圈电机的驱动信号进行修正，然后再判断承载平台是否静止及水平度是否达到设定精度范围之内，若是，当前伺服周期调平结束，等待下一个伺服周期，直至结束。本发明用于气浮平台的调平。
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公开(公告)号：CN104236600A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410503437.7
申请日：2014-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D5/26
Abstract: 自我调整比较电压的绝对式光电编码器，属于光电轴角测量技术领域。为了解决目前译码电路存在的跳码且电路结构复杂的问题。本发明的粗码译码电路的比较电压不再由固定电压源提供，而是由DAC模块根据光电码盘所处比较电压-读数头-温度-角度区间数据表输出。在光电码盘制作时，与不同温度和角度区间下分别测定8个读数头的实际比较电压，制成比较电压-读数头-温度-角度区间数据表，供工作时查询使用。采样放大差分电路采用功率更大、精度更高、温漂更小的电阻直接采样到合适电压范围来取代先采样再放大的模式。本发明用于星载激光通信高精度测量领域。
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公开(公告)号：CN104002996A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410277197.3
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于等离子推进驱动的大范围气浮平动装置，属于航空航天方向地面物理仿真和空间姿态调节领域。所述气浮平动装置主要用于装置在气浮环境中二维平面上实现平动，包括等离子体驱动器、平动台体、测量机构、控制器、电能转换装置五个部分。平面光栅传感器实时测量当前姿态信号发送给控制器，控制器经过计算将控制量发送给各个等离子体推进器，等离子体推进器部分作为执行机构，从而实现平动台体部分在二维平面上X、Y、Rz三个自由度的任意运动。本发明具有系统载荷比高、效率高、工作时间长的优点。
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公开(公告)号：CN102929213B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201210490730.5
申请日：2012-11-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 精密运动控制系统的非因果有效学习控制系统及控制方法，属于精密运动控制系统的控制技术领域。它解决了精密运动控制系统的动态调整时间长，使系统的工作效率低的问题。控制系统包括控制对象P、非因果学习控制律模块、有效学习函数f(t，e)模块、存储器M和反馈控制律C模块，非因果学习控制律模块由时间延迟因子zd模块、因果学习律L模块和滤波器Q组成；控制方法采用时间延迟因子对学习控制系统进行初步整形，并根据由P、C组成的反馈系统的带宽确定d，进而确定满足收敛要求的低频段范围；通过因果学习律L模块和滤波器Q进行高频部分的整形，使其满足收敛性要求。本发明适用于精密运动控制系统的控制。
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