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公开(公告)号：CN103863585B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201410128807.3
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 三自由度空间模拟器，属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备存在通用性不强、成本高、机械结构复杂和维护费用昂贵的问题。它包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分，所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计，两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动，单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动，所述模拟器还包括三个通信控制器，分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息，同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。
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公开(公告)号：CN105021881A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510465243.7
申请日：2015-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 高精度大量程电流电压的分级测量方法，属于弱电电流、电压信号的测量领域，本发明为解决现有技术无法完成大量程信号的高精度测量问题。本发明方法利用n个不同量程、不同精度的电流电压传感器对同一待测信号进行测量；并将n个电流电压传感器按测量精度由低到高的顺序进行排序依次测量待测信号；先由量程大、精度低的初级传感器开始测量并取结果中的精确部分，后通过电流电压基准源将实测信号中的已确定的精确部分进行补偿，并对剩余信号进行下一级的测量直至量程最小、精度最高的传感器测量结束，再进行数据融合，从而实现对弱电领域的大电流、大电压信号的高精度测量。
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公开(公告)号：CN103856113B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410128678.8
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于磁悬浮平面电机的空间模拟器及其控制方法，属于航空航天方向物理仿真试验领域。本发明是为了克服现有航空航天设备抗扰动能力差、不能长时间运行以及由此导致的仿真效果差的问题。磁悬浮平面电子动子的读数头将读取的动子在平面光栅的位置信息通过FPGA控制板卡发送至无线发送/接收模块，并由地面的无线接收/发送模块接收，然后传输至上位机中，上位机根据动子实际位置信息和目标位置信息获得发送姿态控制指令，并将该姿态控制指令发送给电流控制器，电流控制器控制磁悬浮平面电机的动子向目标位置移动。本发明适用于航空航天研究领域中模拟外太空微干扰和微重力的实验环境。
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公开(公告)号：CN103268381B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310203935.5
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种基于虚拟现实技术的双工件台半物理仿真方法，涉及一种双工件台半物理仿真方法。它是为了适应对双工件台半物理仿真的需求。它的方法为：用户向上位机操作系统中输入位置指令；上位机操作系统通过以太网将位置指令发送给VME工控机并进行解算；采用控制模型控制参数的整定，并控制电机模型工作和工作台数学模型运动；并同步将电机模型工作和工作台数学模型运动过程通过以太网发送回上位机操作系统；上位机操作系统通过动态链路库将电机模型工作和工作台数学模型运动过程发送给三维仿真模型；三维仿真模型将电机模型工作和工作台数学模型运动过程进行实时同步演示。本发明适用于双工件台半物理仿真。
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公开(公告)号：CN105137717A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105005180A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510475149.X
申请日：2015-08-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于拨杆机构的双工件台换台自转装置，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上，第二抓卡机构抓卡在第二环形座上，第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上，第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上；第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上，第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上；第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内，第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动，可以减小控制系统的设计难度；解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。
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公开(公告)号：CN113485123A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110913809.3
申请日：2021-08-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种小行程纳米级运动台的频域自适应迭代学习控制方法，属于超精密运动控制技术领域。方法为：运动台在相同迭代学习控制器输出的情况下独立运行两次，分别得到跟踪误差ek,1(t)和ek,2(t)；对这两个误差数据进行快速傅里叶变换，获得相对应的频谱ek,1(w)和ek,2(w)；根据频域自适应迭代学习加速收敛的条件判断是否需要更新闭环系统频率响应根据给出的频域自适应迭代学习更新方法，获得闭环系统频率响应估计值通过方程更新迭代学习控制器输出通过快速傅里叶逆变换对进行处理；设置k＝k+1，并返回步骤一；当闭环系统达到预设的性能指标，或者达到了预设的最大迭代次数M，即k＝M，则终止程序。本发明可以解决传统控制方法依赖于模型，因模型不准确而导致的性能下降问题。
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公开(公告)号：CN105137717B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510474801.6
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Differential Evolution算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为导优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Differential Evolution优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN104977816B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201510474805.4
申请日：2015-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻机掩模台微动台的机械参数软测量方法，属于半导体制造装备技术领域及机械参数测量领域。为了解决现有工件台微动部分机械参数估计算法精度差的问题。所述方法包括如下步骤：步骤一：根据掩模台微动台的机械机构及其理论设计，建立微动台的理想运动学模型，确定待测机械参数，建立掩模台微动台含差模型；步骤二：步骤二：给定位置输入，驱动微动台运动产生位移，将实际输出位移与通过建立的掩模台微动台含差模型计算出的输出位移值做差，作为寻优的目标函数；步骤三：根据目标函数，利用Compact Particle Swarm Optimization优化学习算法确定待辨识的机械参数。它用于微动台的机械参数求取。
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公开(公告)号：CN105021881B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201510465243.7
申请日：2015-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R19/25
Abstract: 高精度大量程电流电压的分级测量方法，属于弱电电流、电压信号的测量领域，本发明为解决现有技术无法完成大量程信号的高精度测量问题。本发明方法利用n个不同量程、不同精度的电流电压传感器对同一待测信号进行测量；并将n个电流电压传感器按测量精度由低到高的顺序进行排序依次测量待测信号；先由量程大、精度低的初级传感器开始测量并取结果中的精确部分，后通过电流电压基准源将实测信号中的已确定的精确部分进行补偿，并对剩余信号进行下一级的测量直至量程最小、精度最高的传感器测量结束，再进行数据融合，从而实现对弱电领域的大电流、大电压信号的高精度测量。
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