一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统

    公开(公告)号:CN104729919B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201510108879.6

    申请日:2015-03-12

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统,利用新设计的片上试验机结构和微电子工艺检测分析用探针台相结合的系统,提取微梁的拉伸断裂强度参数。此方法可用来进行刻蚀(腐蚀)工艺监测,也可用来预测器件的机械可靠性。具备自定位、自测力能力;具备施加大负载的能力(mN以上的力),满足各种测量要求;方法简单,不需要大型高精密仪器。

    一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关

    公开(公告)号:CN106206161A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610495889.4

    申请日:2016-06-29

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: H01H50/005

    Abstract: 本发明提供一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关,包括:一衬底;一对称吸合板,通过依次相连的一矩阵驱动梁和一单悬臂梁,与一固定于所述衬底上的固定锚点连接,该矩阵驱动梁处于一磁场施加区域;一金属对称吸合板,固定于所述衬底上,位于所述对称吸合板的下方;所述衬底为玻璃片;所述对称吸合板上设有一金属电极;所述金属电极通过压焊金属丝引出,该压焊金属丝的数量根据驱动电流大小而定;所述固定锚点上设有一金属电极;所述矩阵驱动梁由多个驱动梁组成;所述固定锚点与所述衬底键合连接;采用SOG体硅工艺制作所述新型离面MEMS开关;所述单悬臂梁、矩阵驱动梁和对称吸合板为低阻硅。

    一种支持大规模三维集成电路的热仿真和热设计方法

    公开(公告)号:CN105760624A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610151305.1

    申请日:2016-03-16

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及一种支持大规模三维集成电路的热仿真和热设计方法。首先对输入的三维集成电路区块参数文件进行解析,得到三维集成电路区块位置、区块形状和尺寸、区块材料对应的热导率、区块包含的功率大小;然后调用有限元仿真工具建立三维集成电路热模型,并进行网格划分和求解器设置;然后进行仿真计算,计算结束后导出三维集成电路热分析结果。进而,利用热仿真结果对三维集成电路进行热评估,计算平面内温度方差,平面内最高温度、最低温度、平均温度图,以及平面间温度梯度;然后利用分析得出的结论指导三维电路布图、布局和布线。本发明能够在现有计算机硬件计算能力条件下,进行高效的三维集成电路的热仿真和热设计。

    一种压力计芯片结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN105547533A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510903317.0

    申请日:2015-12-09

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: G01L1/18

    Abstract: 本发明公开了一种压力计芯片结构及其制备方法,该结构相比传统典型结构具有尺寸小,稳定性好、抗过载能力强和长期可靠性高等突出优势。此外针对该芯片结构开发的工艺流程与常规微纳加工技术兼容,器件加工成本低廉,芯片可实现较高的一致性。这种方法加工的压力计芯片具有更高的长期工作稳定性和抗过载破坏性能、较高的工艺可靠性,更小的芯片尺寸和成本以及更广阔的应用领域。

    基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法

    公开(公告)号:CN103014169B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201210591332.2

    申请日:2012-12-28

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 桑建明 王玮

    Abstract: 本发明提供一种基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法。该检测方法主要利用滚环扩增之前,二氧化硅纳米颗粒在溶液中呈分散状态,当存在目标核酸分子时,滚环扩增发生,二氧化硅纳米颗粒聚集在一起,在溶液中形成肉眼可见的白色团块状物质,以达到定性检测目标核酸分子的目的。该方法通过滚环扩增前后二氧化硅纳米颗粒的聚集状态即可判断目标核酸分子的有无,既实现了对微量核酸分子的大量扩增,又实现了结果的快速直观检测,无需专门的检测仪器,降低检测的成本,适合临床检测的推广。

    牺牲层腐蚀时间的测试结构及MEMS器件制备方法

    公开(公告)号:CN102963859B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201210451765.8

    申请日:2012-11-12

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开一种用于实时确定牺牲层腐蚀时间的测试结构,包括自下而上排列的牺牲层、MEMS结构层和金属层;所述金属层中的金属在所述牺牲层腐蚀完成时发生脱落。该测试结构使用双材料梁作为敏感原件,测试单元优选按照阵列方式排列,以提高整个在线测试结果的可靠性。利用该结构制备MEMS器件的方法可与常用的牺牲层工艺兼容,可同时完成,实现工艺的在线监控。本发明可以通过肉眼观测的方式,非接触非破坏地确定牺牲层腐蚀时间,能够提高MEMS工艺质量和成品率,并大大缩短工艺时间。

    一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统

    公开(公告)号:CN104729919A

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201510108879.6

    申请日:2015-03-12

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统,利用新设计的片上试验机结构和微电子工艺检测分析用探针台相结合的系统,提取微梁的拉伸断裂强度参数。此方法可用来进行刻蚀(腐蚀)工艺监测,也可用来预测器件的机械可靠性。具备自定位、自测力能力;具备施加大负载的能力(mN以上的力),满足各种测量要求;方法简单,不需要大型高精密仪器。

    细胞电融合芯片
    118.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102174391B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201110058143.4

    申请日:2011-03-10

    CPC classification number: C12M35/02 C12M23/34 C12M47/04

    Abstract: 本发明涉及一种细胞电融合芯片,可以准确高效的完成细胞一对一电融合,可在生物医学工程领域的科研中应用。本细胞电融合芯片由细胞融合室,细胞定位通道和细胞吸取通道组成。细胞吸取通道连接注射泵,两种不同细胞分别被吸附并定位在位于细胞融合室的细胞定位通道末端。细胞融合室间距允许两个细胞轴向排列。细胞吸取通道外端加电极,通以交流电和直流电,使细胞融合室中两个异种细胞之间发生两两融合。本发明可大大提高异种细胞配对和融合的概率,操作简单,一次可完成大量细胞融合,并具有易于观测的特点。

    一种流式细胞电融合仪
    119.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102206580B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201110074962.8

    申请日:2011-03-28

    CPC classification number: C12M35/02

    Abstract: 一种流式细胞电融合仪包括:细胞一对一融合部分、融合细胞检出分选部分和单细胞收集部分;细胞一对一融合部分上设有多对平行的细胞定位通道,通道末端可吸附不同的细胞,在电流作用下两种细胞可靠近并发生融合。融合后细胞经放置质膜完全融合后,进入融合细胞检出分选部分,融合细胞检出分选部分主要由激光光源、荧光检测器和偏转板构成,发生融合的细胞既红绿荧光双染的细胞被收集到收集管,每收集一个细胞,检测器液滴将停止流动,安装于收集管上部的细胞培养液贮存器向收集管加入200μl细胞培养液,200μl细胞培养液使收集管末端打开,液体进入下方96孔板的一个孔中。此时,流动室液体继续开启,将下一个融合细胞放入96孔板下一孔中。本发明可一次性连续完成细胞一对一电融合,融合后融合子可正确检出并将每个融合子分别培养。

    基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法

    公开(公告)号:CN103014169A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210591332.2

    申请日:2012-12-28

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 桑建明 王玮

    Abstract: 本发明提供一种基于纳米颗粒和滚环扩增的核酸定性检测方法。该检测方法主要利用滚环扩增之前,二氧化硅纳米颗粒在溶液中呈分散状态,当存在目标核酸分子时,滚环扩增发生,二氧化硅纳米颗粒聚集在一起,在溶液中形成肉眼可见的白色团块状物质,以达到定性检测目标核酸分子的目的。该方法通过滚环扩增前后二氧化硅纳米颗粒的聚集状态即可判断目标核酸分子的有无,既实现了对微量核酸分子的大量扩增,又实现了结果的快速直观检测,无需专门的检测仪器,降低检测的成本,适合临床检测的推广。

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