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公开(公告)号：CN106206161A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610495889.4
申请日：2016-06-29
Applicant: 北京大学
IPC: H01H50/00
CPC classification number: H01H50/005
Abstract: 本发明提供一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关，包括：一衬底；一对称吸合板，通过依次相连的一矩阵驱动梁和一单悬臂梁，与一固定于所述衬底上的固定锚点连接，该矩阵驱动梁处于一磁场施加区域；一金属对称吸合板，固定于所述衬底上，位于所述对称吸合板的下方；所述衬底为玻璃片；所述对称吸合板上设有一金属电极；所述金属电极通过压焊金属丝引出，该压焊金属丝的数量根据驱动电流大小而定；所述固定锚点上设有一金属电极；所述矩阵驱动梁由多个驱动梁组成；所述固定锚点与所述衬底键合连接；采用SOG体硅工艺制作所述新型离面MEMS开关；所述单悬臂梁、矩阵驱动梁和对称吸合板为低阻硅。
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公开(公告)号：CN106115616B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610479967.1
申请日：2016-06-27
Applicant: 北京大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加工工艺的温度监控装置，包括：两个热驱执行器，每个热驱执行器均包括两个固定锚点，该两个固定锚点通过热驱梁连接，该两个热驱执行器通过一放大杠杆连接；一活动锯齿开关，包括一锯齿扣和一锯齿锁，该锯齿扣连接于所述放大杠杆的中点处，含有多个一类锯齿；该锯齿锁包括两个平行长梁，在每个长梁的内侧设有多个与所述一类锯齿配合的二类锯齿。本发明还提供一种MEMS加工工艺的温度监控方法，步骤包括：1)采用MEMS加工工艺制造功能器件时，随同一起制造上述温度监控装置；2)制造完成后查看所述温度监控装置的活动锯齿开关的齿扣度量；3)根据上述齿扣度量得到制造过程中所达到的最高温度。
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公开(公告)号：CN106115616A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610479967.1
申请日：2016-06-27
Applicant: 北京大学
IPC: B81C99/00
CPC classification number: B81C99/004 , B81C99/005
Abstract: 本发明提供一种MEMS加工工艺的温度监控装置，包括：两个热驱执行器，每个热驱执行器均包括两个固定锚点，该两个固定锚点通过热驱梁连接，该两个热驱执行器通过一放大杠杆连接；一活动锯齿开关，包括一锯齿扣和一锯齿锁，该锯齿扣连接于所述放大杠杆的中点处，含有多个一类锯齿；该锯齿锁包括两个平行长梁，在每个长梁的内侧设有多个与所述一类锯齿配合的二类锯齿。本发明还提供一种MEMS加工工艺的温度监控方法，步骤包括：1)采用MEMS加工工艺制造功能器件时，随同一起制造上述温度监控装置；2)制造完成后查看所述温度监控装置的活动锯齿开关的齿扣度量；3)根据上述齿扣度量得到制造过程中所达到的最高温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105716750B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610037420.6
申请日：2016-01-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。本发明首次提出具有回旋镖结构的硅应变膜，压敏电阻排布于回旋镖结构的应力集中处，提高了压阻式压力传感器的灵敏度和线性度；选择LPCVD的SiO2/Si3N4作为KOH腐蚀工艺的掩膜，提高了KOH背腔腐蚀工艺中掩膜对K+的阻挡特性从而保证传感器的高可靠性；采用了硅玻璃阳极键合工艺，其中的玻璃起到了应力缓冲的作用，提高了传感器在后续封装和测试中的稳定性。本发明的MEMS压阻式压力传感器同时具有较高的灵敏度和线性度，其制备方法兼容于通用的MEMS加工技术，产品可靠性以及成品率较高。
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公开(公告)号：CN106197933B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201610565292.2
申请日：2016-07-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
Abstract: 本发明提供一种热驱冲击试验机，包括：一热驱加载机构，包括两个加载热驱执行器，通过一加载放大杠杆连接，该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣，该加载锯齿扣含有多个一类锯齿；该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹簧；一热驱卸载机构，包括两个释放热驱执行器，通过一释放放大杠杆连接，该释放放大杠杆的中点处连接一释放锯齿扣，该释放锯齿扣含有一二类锯齿；一锯齿锁，包括两个互相平行的横梁，该两个横梁的一端设有一对三类锯齿，该三类锯齿与所述一类锯齿抵近并配合；另一端设有一对四类锯齿，该四类锯齿与所述二类锯齿抵近并配合。本发明另提供一种在线检测系统。本发明还提供一种在线检测方法。
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公开(公告)号：CN110386587A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201810350030.3
申请日：2018-04-18
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种基于ALD技术的硅湿法腐蚀掩膜方法，其步骤包括：准备待腐蚀的硅片；采用ALD技术在所述硅片表面上淀积一层硅湿法腐蚀掩膜；对所述掩膜进行减薄，直至露出下方的硅片表面；利用湿法腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀，获得微结构。本发明利用ALD技术制备硅湿法腐蚀掩膜，淀积温度低，残余应力小，制备的掩膜材质致密，保形覆盖性好，抗腐蚀时间长，可以实现对带有金属、不能经受高温或应力敏感、有高深宽比结构或可动结构的硅片的腐蚀保护。
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公开(公告)号：CN106197933A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610565292.2
申请日：2016-07-18
Applicant: 北京大学
IPC: G01M7/08
CPC classification number: G01M7/08
Abstract: 本发明提供一种热驱冲击试验机，包括：一热驱加载机构，包括两个加载热驱执行器，通过一加载放大杠杆连接，该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣，该加载锯齿扣含有多个一类锯齿；该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹簧；一热驱卸载机构，包括两个释放热驱执行器，通过一释放放大杠杆连接，该释放放大杠杆的中点处连接一释放锯齿扣，该释放锯齿扣含有一二类锯齿；一锯齿锁，包括两个互相平行的横梁，该两个横梁的一端设有一对三类锯齿，该三类锯齿与所述一类锯齿抵近并配合；另一端设有一对四类锯齿，该四类锯齿与所述二类锯齿抵近并配合。本发明另提供一种在线检测系统。本发明还提供一种在线检测方法。
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公开(公告)号：CN105716750A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610037420.6
申请日：2016-01-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。本发明首次提出具有回旋镖结构的硅应变膜，压敏电阻排布于回旋镖结构的应力集中处，提高了压阻式压力传感器的灵敏度和线性度；选择LPCVD的SiO2/Si3N4作为KOH腐蚀工艺的掩膜，提高了KOH背腔腐蚀工艺中掩膜对K+的阻挡特性从而保证传感器的高可靠性；采用了硅玻璃阳极键合工艺，其中的玻璃起到了应力缓冲的作用，提高了传感器在后续封装和测试中的稳定性。本发明的MEMS压阻式压力传感器同时具有较高的灵敏度和线性度，其制备方法兼容于通用的MEMS加工技术，产品可靠性以及成品率较高。
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