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公开(公告)号：CN109477586B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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公开(公告)号：CN110178002A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201780080827.X
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/448 , G05D9/12 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。
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公开(公告)号：CN106537275B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201580020604.5
申请日：2015-07-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/776
Abstract: 本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。
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公开(公告)号：CN105556283B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201480022888.7
申请日：2014-07-18
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
IPC: G01N21/33
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。
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公开(公告)号：CN108496064A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201780004303.2
申请日：2017-01-12
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种能够测定流量的气体供给装置，具备：流量控制器，其控制所流通的气体流量；第一隔断阀，其设置在所述流量控制器的下游；第二隔断阀，其设置在与第一隔断阀的下游侧连通的所述第一流路；第二流路，其从所述第一流路分支而出；第三隔断阀，其设置于所述第二流路；压力检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的温度；体积测定用箱，其与所述第三隔断阀的下游连接并具有已知体积；以及运算控制装置，其通过在所述第三隔断阀的打开状态和关闭状态下运用波义耳定律求出由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路体积，并且利用所述流路体积、所述压力检测器以及所述温度检测器的检测值计算所述流量控制器的流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105659178B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480049538.X
申请日：2014-10-21
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可扩大监测流量范围并提高监测精度和流量控制精度的流量计及流量控制装置。本发明的流量计及流量控制装置具备大流量用测量部和小流量用测量部，所述大流量用测量部将从入口侧开闭切换阀(PV1)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积进行流量运算，所述小流量用测量部将从出口侧切换阀(PV2)的出口侧到控制阀(CV)的入口侧的流路内部容积作为衰减容积来计算流量。
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公开(公告)号：CN107003168A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580044670.6
申请日：2015-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/455 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种在可以从液相切换到气相的检测时间上减少流量依存性的同时，缩短检测时间的液面计以及液体原料气化供给装置。该液面计具备：贮存液体原料的腔体(2)；收容用于检测腔体(2)内的液面(L1)的测温电阻的至少一根保护管(3)；以及控制从腔体(2)流出的气体的流量并进行供给的流量控制装置(4)，其中，保护管(3)沿水平方向插入并固定于腔体(2)的侧壁(2a)。
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公开(公告)号：CN105179799B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201510674731.9
申请日：2010-11-04
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/007 , F16K7/14 , F16K25/005 , G05D7/0629 , Y10T137/6416 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明一种提供即使是超过压电致动器的使用范围温度的温度的流体，也能够控制的压电驱动式阀和压电驱动式流体控制装置。本发明具备用于将流体流路(1b)开闭的阀体(2)、用于利用压电元件的伸长而对阀体(2)进行开闭驱动的压电致动器(10)以及用于将压电致动器(10)以从流体流路(1b)远离的方式举起并支撑且将从流动于流体流路(1b)的流体向压电致动器(10)传导的热散热的散热隔件(40)，而且，优选，具有容纳并支撑压电致动器(10)和散热隔件(40)的双方的支撑筒体(23A)，支撑筒体(23A)的至少容纳散热隔件(40)的部分由具有与散热隔件(40)相同的热膨胀系数的材料形成。
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公开(公告)号：CN105102872B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480004462.9
申请日：2014-04-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16L55/02718
Abstract: 本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P2/P1变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。
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公开(公告)号：CN103282748B9
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201180064390.3
申请日：2011-11-28
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01F5/00 , G01F1/34 , G01F1/86 , G01F15/046
Abstract: 本发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定，并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成：分支管路(Lb)，其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结，并且将其出口侧端部向气体流出侧连结；开闭阀(V)，其设于分支管路(Lb)的出口侧；压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)，其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度；以及运算控制装置(CP)，其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号，且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量，该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。
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