微流体分配设备、微流体盒和喷雾器

    公开(公告)号:CN210960438U

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN201920681980.4

    申请日:2019-05-14

    Abstract: 本申请的各实施例涉及微流体分配设备、微流体盒和喷雾器。一种可吸入物质的微流体分配设备包括外壳,外壳中容纳有驱动电路和微流体盒,微流体盒具有包含待输送液体的罐。微流体盒设置有由驱动设备控制的至少一个喷雾器。喷雾器包括:基底;形成在基底上并且流体耦合到罐以用于接纳待输送液体的多个腔室;以及多个加热器,形成在基底上与相应腔室相对应的位置中,热耦合到相应腔室并且通过绝缘层与相应腔室分离,并且由驱动设备控制。每个腔室通过至少一个相应喷嘴与外部流体连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    MEMS设备、投射MEMS系统以及便携式电子装置

    公开(公告)号:CN207318836U

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201720623732.5

    申请日:2017-05-31

    Abstract: 本实用新型涉及MEMS设备、投射MEMS系统以及便携式电子装置。一种MEMS设备,包括:固定的结构和悬置的结构,悬置的结构包括内部结构以及第一臂和第二臂,第一臂和第二臂中的每一个具有对应第一端和对应第二端,第一端被固定至固定的结构并且相隔一定距离成角度地安排,第二端被固定至内部结构,相隔一定距离成角度地安排并且相对于这些相应第一端在同一旋转方向上成角度地安排。MEMS设备进一步包括多个压电致动器,多个压电致动器中的每一个可被驱动,以便引起相应臂的变形,因此引起内部结构的旋转。在静止状况下,第一臂和第二臂中的每一个包括具有对应凹陷的对应细长部分。内部框架在第一臂和第二臂的这些细长部分的这些凹陷内部分地延伸。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    微机械装置及微机械系统
    94.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217479067U

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202122975703.4

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 公开了一种微机械装置及微机械系统。该装置包括:本体;间隔元件,耦接至本体;第一电极结构,耦接至间隔元件且叠加至本体并与本体交叠且与本体电绝缘,第一电极结构、本体和至少一间隔元件界定具有在间隔元件的相应侧壁中相对的侧壁间延伸的第一尺寸的第一掩埋腔;第一压电元件,耦接且叠加至并交叠第一电极结构,第一压电元件与第一掩埋腔交叠,第一压电元件具有在第一压电元件的相应侧壁中的相对侧壁间延伸的小于第一掩埋腔的第一尺寸的第二尺寸;本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器,第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。本实用新型的技术以简单的方式获得了高通用性、适应性的微机械装置和微机械系统。

    微机电结构致动器以及微流体阀

    公开(公告)号:CN217323375U

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202120950316.2

    申请日:2021-05-06

    Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电结构致动器以及微流体阀。微机电结构致动器由以下部件形成:基底,围绕腔体;可变形结构,悬置在腔体上;致动结构,由第一压电材料的第一压电区域形成,由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形;以及检测结构,由第二压电材料的第二压电区域形成,由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。压电电阻器是在存在机械应力的情况下经历电阻变化并且因此允许通过电压或电流检测来检测可变形结构的变形的设备。然而,该检测是主动检测,并且因此意味着具有高能耗的电流的通过。

    MEMS致动器、流量调节器和扬声器

    公开(公告)号:CN215974953U

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202120946692.4

    申请日:2021-05-06

    Abstract: 本公开的实施例涉MEMS致动器、流量调节器和扬声器。MEMS致动器包括围绕腔体的本体的MEMS致动器;在腔体上的可变形结构,可变形结构包括可移动部分和连续布置的多个可变形元件,多个可变形元件将可移动部分连接到本体。可变形结构还包括将可移动部分、多个可变形元件和本体耦联在一起的多个臂。可变形结构还包括多个加强结构,多个加强结构中的相应一个加强结构与多个臂中的相应一个臂集成。MEMS致动器还包括在所述可变形元件上的至少一组多个致动结构。

    读/写设备和存储器系统
    97.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215834253U

    公开(公告)日:2022-02-15

    申请号:CN202022802512.3

    申请日:2020-11-27

    Abstract: 本实用新型的实施例提供了用于硬盘存储器系统的读/写设备以及存储器系统。该读/写设备包括固定结构;膜区域,包括被约束到固定结构的第一膜和第二膜以及介于第一膜与第二膜之间的中心部分;第一压电致动器和第二压电致动器,分别被机械地耦合到第一膜和第二膜;以及读/写头,被固定到膜区域的中心部分。可以控制第一压电致动器和第二压电致动器以导致第一膜和第二膜的对应的变形,第一膜和第二膜的所述变形导致读/写头相对于固定结构的对应的移动。本实用新型的实施例提供了对读/写设备的改进,可以使得读/写头相对于滑块平移,并且所述平移的程度明显高于根据现有技术的解决方案可以获得的程度。

    微机电膜换能器
    98.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215682159U

    公开(公告)日:2022-01-28

    申请号:CN202121386354.6

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 公开了微机电膜换能器。微机电膜换能器包括:支撑结构;腔,在支撑结构中;膜,耦合到支撑结构以便在一侧覆盖腔;悬臂阻尼器,围绕膜的周边被固定到支撑结构,并且在距膜一定距离处朝向膜的内部而延伸;以及阻尼器压电致动器,被布置在悬臂阻尼器上并且被配置以便响应于电致动信号而将悬臂阻尼器朝向膜弯曲。本公开实施例的微机电膜换能器克服或减轻了微机电膜换能器在传输模式和接收模式之间切换时膜的振荡的阻尼时间所造成的限制。

    压电型微机电致动器装置和便携式电子装置

    公开(公告)号:CN209890247U

    公开(公告)日:2020-01-03

    申请号:CN201821966376.8

    申请日:2018-11-27

    Abstract: 本公开涉及压电型微机电致动器装置和便携式电子装置。微机电致动器装置包括固定结构和移动结构。移动结构包括第一可变形带、第二可变形带和第三可变形带,均在第一可变形带的相对侧上延伸,每个带均承载压电致动器。在第二和第三压电体被偏置的工作状态下,第二和第三可变形带经历负弯曲,而第一可变形带经历正弯曲。因此产生的两个加在一起的平移引起第一可变形带的位移大于可由相等基面的单个膜获得的位移。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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