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公开(公告)号：CN118083901A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311565301.4
申请日：2023-11-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及用于高频应用的MEMS换能器器件以及制造方法。MEMS器件包括：信号处理组件；包括多个换能器器件的换能模块；增强结构，至少部分地围绕于每个换能器器件；针对每个换能器器件的一个或多个耦合支柱，一个或多个耦合支柱在增强结构上延伸并且被配置为将换能模块物理地耦合以及电耦合至信号处理组件，从而承载换能器器件的控制信号。每个导电耦合原件具有截面，所述截面的形状诸如最大化与相应的换能器器件周围的增强结构重叠的表面的形状。所述形状包括等于或大于3的尖点数的内摆线；三角形；四边形。
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公开(公告)号：CN115103280A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111441249.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种用于在传播介质中转换声波的微机械装置，包括：本体；第一电极结构，叠加至本体并且与本体电绝缘，第一电极结构和本体在它们之间限定第一掩埋腔；以及第一压电元件，叠加至第一电极结构，其中，本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器，并且第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。
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公开(公告)号：CN217479067U
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202122975703.4
申请日：2021-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 公开了一种微机械装置及微机械系统。该装置包括：本体；间隔元件，耦接至本体；第一电极结构，耦接至间隔元件且叠加至本体并与本体交叠且与本体电绝缘，第一电极结构、本体和至少一间隔元件界定具有在间隔元件的相应侧壁中相对的侧壁间延伸的第一尺寸的第一掩埋腔；第一压电元件，耦接且叠加至并交叠第一电极结构，第一压电元件与第一掩埋腔交叠，第一压电元件具有在第一压电元件的相应侧壁中的相对侧壁间延伸的小于第一掩埋腔的第一尺寸的第二尺寸；本体、第一电极结构和掩埋腔形成第一电容式超声换能器，第一电极结构和第一压电元件形成第一压电超声换能器。本实用新型的技术以简单的方式获得了高通用性、适应性的微机械装置和微机械系统。
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