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公开(公告)号：CN103790651A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052239.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气/磁混合导向的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据光电编码器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103790644A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052015.2
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间矢量投影的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103770045A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410051800.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带径向限位的精密电动抓卡机构属于工夹器具，在筒身的上、下端面上分别固装上、下板，楔形块固装在上板上，活塞总成插装在楔形块中心孔内，且位于筒身的密闭腔室内，叠簧套装在活塞总成上，其上、下端面分别与上板和活塞总成接触配合，在筒身上设置排气孔，旋转电机经联轴器与丝杠固接，并插装在丝杠螺母内，上端与活塞总成下部接触，丝杠螺母固接在下板上，弹性铰链块套装在楔形块外部上，限位圈嵌套在弹性铰链块外部上，通过预紧螺钉将转接板安装在活塞总成上端部上；本装置结构简单，作业质量好，可靠性高，适应能力强。
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公开(公告)号：CN102419517A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110377972.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联，Y向第四直线电机动子与第二工件台固联，Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
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公开(公告)号：CN102402133A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110377373.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个并联防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，并联防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100585340C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200810064747.8
申请日：2008-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。
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公开(公告)号：CN100575887C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200810137530.5
申请日：2008-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于重力平衡的卧式气/气两相复合直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域；其方法是：在导向导轨下方构建平衡导轨，形成开式外部气体支承并作用于气浮导套下部的止推平板上，针对负载重力进行导向导轨和平衡导轨的重力平衡设计，在满足平衡导轨的承载重力条件下，使其气膜支承刚度达到最大值或处在该气膜支承刚度确定范围内；其装置包括固连于气浮导套下部上的止推平板，该止推平板与平衡导轨之间形成止推气浮偶面，止推平板上设有面向平衡导轨的节流结构，平衡导轨与导向导轨平行；本发明使气浮导套具有优异的稳定性，导轨承载能力和支承刚度大幅度提高，确保导轨在大负载、大行程下的高直线精度，结构简单，适用范围广。
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公开(公告)号：CN101338791A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810136907.5
申请日：2008-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 单(双)翼式气/液两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑回转技术与液体阻尼技术复合使用，利用气体润滑技术误差平均效应显著的优势，确保回转基准的回转精度；同时利用粘滞液体对回转体振动分量的阻尼或能量吸收效应显著的特点，抑制回转体中、高频微振的产生，提高回转基准的运动稳定性、重复性和定位可靠性；其装置在气浮主轴的上端、或下端或上、下两端同时配装有粘滞系数适当的液体阻尼系统；本发明可建立一种同时兼顾高回转精度、运动稳定性、重复性及定位可靠性的复合回转基准。
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公开(公告)号：CN101338790A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810136906.0
申请日：2008-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 气/固两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，通过在气浮轴系的轴向止推气膜内施加轴向固体支承，形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式，显著提升轴向刚度和承载能力；在气浮轴系的径向气膜内施加径向固体支承，利用弹性元件的微小弹性变形耗散主轴的中、高频微振动能量，并利用弹性元件的变形储能与静摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其装置分别在轴向止推气膜和径向气膜内配装固体弹性元件；本发明可建立一种同时兼顾高精度、高刚度、大承载、低振动以及高位移灵敏度的回转基准。
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公开(公告)号：CN100429545C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单刻线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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