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公开(公告)号：CN113917797B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111110625.X
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
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公开(公告)号：CN114296323B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114294322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111651875.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于被动补偿结构的准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、二阶簧片组件、一阶簧片组件、被动折叠簧片组件、负刚度补偿簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧端部分别通过两个一阶簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件的两端内侧分别通过两个二阶簧片组件与两个固定模块相连，一阶簧片组件内包括一阶簧片，二阶簧片组件内包括二阶簧片，两个间接驱动部件的两端外侧均设置有被动折叠簧片组件，被动折叠簧片组件通过折叠簧片固定组件固定。
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公开(公告)号：CN114264448B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541828.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN114153126B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541826.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110562484B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN201910905766.7
申请日：2019-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于测试火星飞行器单轴旋翼系统的悬停特性测试装置，涉及航空航天域。现有的单轴旋翼飞行器中的旋翼无法实现火星环境的飞行及定点着陆，适用性差且飞行效率极低。本装置包括单轴旋翼模块、动力模块和测量模块，动力模块中的交流伺服电机通过挠性联轴器带动传动轴旋转，传动轴带动浆叶旋转，电机编码器对交流伺服电机的转速进行检测，通过自反馈调节电源电压并修正交流伺服电机的转速，保证浆叶运动转速与工作人员要求的转速值一致，拉力传感器用于测量旋翼的升力，扭矩传感器用于测量旋翼的扭矩。本发明主要用于优选出最适合火星的旋翼。
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公开(公告)号：CN110562483B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN201910905758.2
申请日：2019-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种直立式火星飞行器共轴旋翼系统升阻特性测量装置，它涉及一种测量装置。本发明解决了现有的旋翼系统升阻特性测试装置没有针对火星飞行器系统提供充足的转速并精确获取旋翼系统工作时产生的升力与扭矩，难以满足实际的工程需求的问题。内轴的下端依次穿过外轴上齿轮、第一挡圈、内轴下齿轮、第二挡圈、第一深沟球轴承和第三挡圈，内轴的下端通过双螺母锁紧，外轴上齿轮通过一对第一深沟球轴承安装在内轴上且二者同轴连接，内轴上齿轮与内轴下齿轮相互啮合，外轴下齿轮与外轴上齿轮的下部外沿相互啮合，轴承外壳的下端安装在上支架的中心处，外轴上齿轮通过两个第二深沟球轴承安装在轴承外壳内。本发明用于火星飞行器共轴旋翼系统升阻特性测量。
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公开(公告)号：CN113833756B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
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公开(公告)号：CN113944691B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN114296323A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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