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公开(公告)号：CN116659378A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310568066.X
申请日：2023-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种六自由度光学测量方法与集成化系统，通过在测定对象上放置衍射光栅专用靶标，多次利用被测对象上衍射光栅专用靶标反射的光以及衍射的光，实现对X、Y、Z三个方向的旋转角度以及沿着Z轴方向的位移的测量，同时通过视觉成像的方式测量对X、Y轴方向的位移，从而全面准确地获取被测对象的六自由度运动状态。本发明具有测量精度高、集成度高、测量效率高和非接触测量等优点，可为工业制造、机器人、航空航天等领域中的六自由度测量提供一种高精度、高效率的非接触测量方法和集成化系统。
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公开(公告)号：CN115981121A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310182380.4
申请日：2023-03-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于硅片与工件台之间的光栅衍射光束干涉离轴对准测量装置，属于光刻技术领域；本发明采用四通道合束器对四种不同波长的激光光束进行合束，利用光束调控模块对四通道合束器输出的光束进行处理，使用自参考干涉镜组实现光栅多级次混叠衍射信号的生成，使用归一化信号探测模块对多级次对准信号进行采集，最后利用软件模块对采集的对准信号进行分析与处理，提高了系统的工艺适应性。本发明结合光束调控模块、两组自参考干涉镜组与归一化信号探测模块，解决了激光光束偏振态、光强波动以及系统内部杂散光束等因素影响对准信号质量的问题，从而提高了系统的信号探测精度和稳定性。
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公开(公告)号：CN110207405B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201910390715.5
申请日：2019-05-10
Applicant: 江苏锐精光电研究院有限公司 , 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种集光器用集光孔阵列板，包括：集光器；集光器上具有透镜阵列板、导光槽和侧向集光器，自然光照射面为平面，平面的相对面均匀排布透镜；在透镜阵列板和导光槽之间设置有集光孔阵列板，集光孔阵列板包括：主体板、集光孔、多面反射体和反射膜；集光孔开设在主体板上，且集光孔与透镜相匹配；多面反射体固定于主体板远离透镜的一侧，且多面反射体设置有主反射面，集光孔内的自然光通过主反射面进行反射，通过主反射面的自然光照射到侧向集光器；主体板远离透镜的一侧镀有反射膜；多面反射体除与主体板接触面均镀有反射膜。本发明提供了一种集光器用集光孔阵列板，不仅具有薄型化的优点，而且能够大大增加太阳光的收集效能。
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公开(公告)号：CN111879740A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010671973.3
申请日：2020-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于光子复位技术的全光学超分辨显微装置，包括：照明系统、扫描系统、荧光激发收集系统，激发样品上的荧光信号；去扫描系统，样品反射的荧光信号通过同一光路返回后，出射扫描振镜的荧光光束与扫描系统入射扫描振镜的光束在同一直线上；再扫描系统，所述去扫描系统后的出射光束扩束，再一次导向扫描振镜，实现光子复位；成像系统，接收经再扫描处理后的光束，分别对样品的不同扫描位置成像。由于一个发射光子的真实位置是在激发焦点和探测点之间距离的一半处，本系统在去扫描和再扫描光路中设置二倍的光束扩束，利用光学方法将每一个检测到的光子重新复位到其相对应位置上，得到一个具有更高检测效率和分辨率的图像。
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公开(公告)号：CN111455757A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010292221.6
申请日：2020-04-14
Applicant: 黑龙江省龙建路桥第六工程有限公司 , 哈尔滨工业大学 , 龙建路桥股份有限公司
Abstract: 一种道路路基全域疏水-阻水复合三维土工膜，属于路面维护技术领域。本发明的目的是为了解决路基水浸及冻胀的问题，所述复合三维土工膜由三层组成，上层为普通玻璃纤维网或疏松处置玻璃纤维网，中间层为高分子聚乙烯原生树脂防渗膜，下层为疏松处置玻璃纤维网。该复合膜铺设在路基内部时，可阻断地下水上升高度，减少冻胀参与的土体范围，可尽早排除路基内部毛细水，适当延伸复合膜可有效地结合到边缘排水系统中，这样路基填料的要求可适当降低，精选材料的使用数量减少。该复合膜铺设在垫层和路基之间时，可使得垫层作用更加突出，垫层排水仅针对上部渗水，同时复合膜的特殊设计可增大排水效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109470147B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201811497944.9
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 自适应高分辨力立体视觉测量装置与方法光学非接触三维测量领域，具体涉及一种利用立体视觉与扫描放大测量模块联用测量大尺度三维被测样品形貌、形变、位移等的装置和方法；该装置两个及以上自适应高分辨力立体视觉单目测量装置组成，每一个高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块、像差矫正模块；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描放大测量模块通过摄像模块逐点扫描整个物体并进行像差矫正；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN109903370A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910044662.1
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于双DMD的single-shot叠层相位恢复技术，属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统叠层相位恢复技术需要扫描物体的问题。本发明首先在样品之前放置两个DMD；然后配合开关这两个DMD上的微镜并利用准直相干光照明，当两个DMD对应的微镜都是开状态时光经过全开微镜反射在物体上，被探测器接收；再次，联合更换双DMD微镜的开关状态，照明样品不同的部位被探测器接收；最后通过相位恢复算法恢复样品的复振幅。本发明可以无需机械扫描实现叠层相位恢复。
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公开(公告)号：CN109884051A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910044664.0
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；在谐波显微测量中，用位置敏感CCD探测代替传统共焦扫描显微中的点探测，可将谐波显微测量分辨率提升两倍。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入4f光学系统进行光束整形，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号，被显微物镜收集后再一次进入4f系统。信号经二向分色镜分离后，基频信号进入光束诊断相机；谐波信号依次经过共焦针孔和窄带滤光片后被位置敏感CCD接收。对于每一个扫描位置，整个图像均被位置敏感CCD记录，通过算法合成所有扫描位置记录的图像，可以提升谐波显微成像分辨率。
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公开(公告)号：CN109859127A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910045374.8
申请日：2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T5/00
Abstract: 一种基于编码孔径的物体相位恢复技术，属于相位恢复成像领域。本发明解决了传统相位恢复算法物体需小于探测面的问题。本发明首先在样品和探测器之间放置一个编码孔径；然后利用准直部分相干光照明样品，通过编码孔径被探测器接收；再次，调制轴向改变探测器的位置，产生不同的频谱被探测器接收；最后通过相位恢复算法和压缩传感算法恢复样品的复振幅。本发明可以一次恢复相当于探测面大小的样品。
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公开(公告)号：CN109579700A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811497908.2
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了盘扫描的高分辨力立体视觉测量装置与方法，具体涉及一种利用立体视觉与盘扫描放大测量系统联用快速测量大尺度三维物体形貌、形变、位移等的装置和方法；该装置两个及以上盘扫描高分辨力立体视觉单目测量装置组成，每一个盘扫描高分辨力立体视觉单目测量装置包括激光照明模块、视觉摄像模块、盘扫描放大测量模块；该方法首先将待测物体放置在本装置视场范围及清晰成像范围内；其次，利用扫描放大测量模块通过摄像模块点扫描整个物体；利用视觉三维成像原理对采集到的图片进行处理得到高分辨力的物体三维形貌；本发明可以显著提高大尺度视觉系统的测量分辨力。
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