公开(公告)号：CN104369517B

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201410405931.X

申请日：2014-08-13

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 坂下光邦 ,  大谷义和

IPC: B32B37/10 ,  B32B37/12

Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板保持于腔室内的第一保持部件且第二基板保持于第二保持部件后，将腔室的内部空间减压至规定的真空度。即使第一基板随着该减压而沿厚度方向即Z方向突出变形，也由于其膨胀部进入到空间部，因此第一基板不会相对于第一保持部件局部浮起而整体倾斜。在该减压状态下驱动机构的按压部通过空间部且沿厚度方向与第一基板的膨胀部抵接，且以膨胀部压缩变形的方式隔着粘结剂及第二基板朝向第二保持部件沿厚度方向平行地按压，由此压扁膨胀部使第一基板与第二基板隔着粘结剂被均匀地加压并贴合。

公开(公告)号：CN104904004B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201380069904.3

申请日：2013-01-09

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67092 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触，从而板状工件(W)从粘附部(1)被剥离。之后，在保持使剥离部(2)的按压面(2a)与板状工件(W)的表面(W1)接触的状态下，使板状工件(W)的周围大气开放，从而空气通过流路(2p)从剥离部(2)的外侧空间(S2)向内侧空间(S1)流入，剥离部(2)的内侧空间(S1)与板状工件(W)之间被真空破坏。

公开(公告)号：CN106125352A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201610294733.X

申请日：2016-05-06

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: G02F1/13 ,  H01L21/67

CPC classification number: G02F1/1303 ,  H01L21/67121

Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造方法及贴合设备的制造装置。能够与各形状无关地以所希望的厚度可靠地贴合第一工件及第二工件。该制造方法隔着粘结剂重叠对置的第一工件与第二工件，通过粘结剂固化来贴合第一工件及第二工件，包括：前工序，沿第一工件的第一接合面形成表面具有凹部及凸部的第一粘结剂来作为粘结剂；中间工序，供给成为粘结剂的液态的第二粘结剂并隔着第二粘结剂重叠第一工件与第二工件；及后工序，使第二粘结剂固化来贴合第一工件的第一接合面与第二工件的第二接合面，在中间工序中，以第二粘结剂被供给至第二工件或第一粘结剂来填充第一粘结剂的凹部且第二工件的第二接合面与第一粘结剂的凸部接触的方式，重叠第一工件与第二工件。

公开(公告)号：CN103620487B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201280029086.X

申请日：2012-04-19

Applicant: 信越工程株式会社 ,  株式会社FK光实验室 ,  WI-A公司

Inventor： 大谷义和 ,  内山一荣 ,  立川洁 ,  远藤润二 ,  川越康弘 ,  尹炯烈 ,  桥诘幸司

IPC: G02F1/1337 ,  G02B5/30 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3066 ,  G02B7/003 ,  G02F1/133788

Abstract: 本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使来自偏振光照射单元(2)的紫外线沿既定的扫描方向扫描，单位起偏器(31)的邻接面以及单位起偏器(31)的邻接方向相对于扫描方向倾斜。从而在光定向照射装置中谋求实现良好的定向特性。

公开(公告)号：CN101316777A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200680000751.7

申请日：2006-09-29

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/683

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件3使静电吸盘2附着到保持板1上；用附着的静电吸盘2吸附保持工件A，同时用隔离部件4将静电吸盘2和工件A作为一体地从保持板1隔离，据此工件A不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位置；停止静电吸盘2的静电吸附功能后，用附着部件3再度只将静电吸盘2附着到保持板1上，从移动到释放位置的工件A的表面剥离静电吸盘2，而留下工件A并安放到释放位置。根据本发明，即使是薄且刚性低的工件，也可以在移动中不产生变形或位置偏移地释放安放。

公开(公告)号：CN1799078A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200480015442.8

申请日：2004-09-27

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田明义 ,  石坂一朗 ,  大岛秀树 ,  关川利夫 ,  竹节宪之

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/1341

Abstract: 本发明涉及一种不使用XYθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在2个基板(A，B)相互维持平行的状态下，将上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板(1，2)中的一个，向真空室(S)的顶板壁(3)或底板壁(4)设置摆动连杆导向机构(6)，将该摆动连杆导向机构(6)由XYθ方向移动机构(5)向XYθ方向摆动，从而使上下保持板(1，2)中的一个相对于另一个向XYθ方向调整移动，从而在XYθ方向对上基板(A)和下基板(B)相互对准位置。

公开(公告)号：CN302700781S

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201330368535.0

申请日：2013-08-02

Applicant: 信越工程株式会社

Designer： 大谷义和 ,  佐藤谦司

Abstract: 1．本外观设计的产品名称：真空贴合装置用粘合卡盘。2．本外观设计产品的用途：本产品用于液晶面板的制造工艺。3．本外观设计的设计要点：产品的形状。4．最能表明设计要点的视图：立体图1。

公开(公告)号：CN306983329S

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202130467644.2

申请日：2021-07-22

Applicant: 信越工程株式会社

Designer： 大谷义和 ,  佐藤谦司

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：粘附保持卡盘。
2.本外观设计产品的用途：本产品是一种粘附保持卡盘，其在利用真空基板粘帖机等可拆卸地粘附保持、交接输送薄板状基板时，用来粘附保持基板。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.左视图与右视图对称，省略左视图;仰视图与俯视图对称，省略仰视图。