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公开(公告)号：CN108602342A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008133.5
申请日：2017-07-04
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的真空贴合装置。本发明的贴合器件的真空贴合装置防止由贴合空间的气压变化及温度变化引起的第一工件及第二工件的位置偏移。本发明的贴合器件的真空贴合装置具备：第一保持部件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持部件，与第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；接触分离用驱动部，使第一保持部件或第二保持部件中的任一个或两者相对地靠近移动；室压调节部，从贴合空间将气体排出至外部空间以将贴合空间从大气气氛调节至减压气氛；及控制部，对接触分离用驱动部及室压调节部进行操作控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者具有：多个凸状部，以与第一工件或第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触的方式形成；及多个凹槽部，相邻于多个凸状部以与非贴合面对置的方式形成，多个凸状部及多个凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者的整体，使多个凸状部及多个凹槽部以向非贴合面所交叉的方向具有各向同性的配置排列，在非贴合面与多个凸状部接触的状态下，多个凹槽部为分别连通贴合空间与外部空间的通气路，在通过室压调节部对贴合空间进行减压时及将其向大气开放时，控制部以使气体通过通气路向非贴合面所交叉的方向分别相同地流动的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN108602342B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201780008133.5
申请日：2017-07-04
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的真空贴合装置。本发明的贴合器件的真空贴合装置防止由贴合空间的气压变化及温度变化引起的第一工件及第二工件的位置偏移。本发明的贴合器件的真空贴合装置具备：第一保持部件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持部件，与第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；接触分离用驱动部，使第一保持部件或第二保持部件中的任一个或两者相对地靠近移动；室压调节部，从贴合空间将气体排出至外部空间以将贴合空间从大气气氛调节至减压气氛；及控制部，对接触分离用驱动部及室压调节部进行操作控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者具有：多个凸状部，以与第一工件或第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触的方式形成；及多个凹槽部，相邻于多个凸状部以与非贴合面对置的方式形成，多个凸状部及多个凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者的整体，使多个凸状部及多个凹槽部以向非贴合面所交叉的方向具有各向同性的配置排列，在非贴合面与多个凸状部接触的状态下，多个凹槽部为分别连通贴合空间与外部空间的通气路，在通过室压调节部对贴合空间进行减压时及将其向大气开放时，控制部以使气体通过通气路向非贴合面所交叉的方向分别相同地流动的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN104919189A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201280077979.1
申请日：2012-12-25
CPC classification number: F15B15/10 , F15B15/149 , G02F1/1303
Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。
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公开(公告)号：CN115552322B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202080100757.1
申请日：2020-11-13
Applicant: 信越工程株式会社
Abstract: 即使是容易变形的薄板状工件，也能够将其表面以比较小的挠曲变形从粘附部的粘附面顺利地剥离。一种工件粘附保持盘装置，其特征在于，具备：相对面，其设置成相对于薄板状的工件(W)向靠近或远离的方向相对地移动自如；粘附部，其以与工件表面相对的方式设置在相对面上；多个剥离部，其以能够在相对面上分别弹性变形的方式设置在粘附部的内侧及外侧；剥离用驱动部，其使多个剥离部分别朝向工件突出变形；及控制部，其对剥离用驱动部进行动作控制，粘附部形成为环状或框状，且具有通过与工件的表面的接触而装卸自如地粘附保持表面的粘附面，多个剥离部具有多个按压面，所述多个按压面在工件表面上朝向隔着由粘附面粘附保持的被粘附部位相邻的多个不粘附部位突出变形，从而按压多个不粘附部位，控制部以如下方式进行控制：通过多个按压面对多个不粘附部位的按压，在粘附面与被粘附部位之间形成从与多个不粘附部位连续的被粘附部位的两端侧扩开的空间部(S1)。
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公开(公告)号：CN115552322A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202080100757.1
申请日：2020-11-13
Applicant: 信越工程株式会社
Abstract: 即使是容易变形的薄板状工件，也能够将其表面以比较小的挠曲变形从粘附部的粘附面顺利地剥离。一种工件粘附保持盘装置，其特征在于，具备：相对面，其设置成相对于薄板状的工件(W)向靠近或远离的方向相对地移动自如；粘附部，其以与工件表面相对的方式设置在相对面上；多个剥离部，其以能够在相对面上分别弹性变形的方式设置在粘附部的内侧及外侧；剥离用驱动部，其使多个剥离部分别朝向工件突出变形；及控制部，其对剥离用驱动部进行动作控制，粘附部形成为环状或框状，且具有通过与工件的表面的接触而装卸自如地粘附保持表面的粘附面，多个剥离部具有多个按压面，所述多个按压面在工件表面上朝向隔着由粘附面粘附保持的被粘附部位相邻的多个不粘附部位突出变形，从而按压多个不粘附部位，控制部以如下方式进行控制：通过多个按压面对多个不粘附部位的按压，在粘附面与被粘附部位之间形成从与多个不粘附部位连续的被粘附部位的两端侧扩开的空间部(S1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107428151A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680018585.7
申请日：2016-02-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683
CPC classification number: B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种在最小化第1工件保持面及第2工件保持面对工件的接触面积的同时，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损的贴合设备的制造装置。本发明的贴合设备的制造装置，将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过所述第1保持部件和所述第2保持部件相对地靠近移动，使所述一对工件对位贴合，其中，所述第1保持部件的第1工件保持面或所述第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与所述一对工件中的一方或双方对置，并且由比所述第1保持部件、所述第2保持部件、及所述一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，所述硬涂层从所述第1工件保持面或所述第2工件保持面中的任意一方或双方向所述一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与所述一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。
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公开(公告)号：CN115284718A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210785506.2
申请日：2016-02-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/00 , B32B37/10 , G09F9/33 , G09F9/35 , G02F1/1333 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置。其将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过第1保持部件和第2保持部件相对地靠近移动，使一对工件对位贴合，其中，第1保持部件的第1工件保持面或第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与一对工件中的一方或双方对置，并且由比第1保持部件、第2保持部件、及一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，硬涂层从第1工件保持面或第2工件保持面中的任意一方或双方向一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。由此，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损。
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公开(公告)号：CN104919189B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201280077979.1
申请日：2012-12-25
CPC classification number: F15B15/10 , F15B15/149
Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。
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