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公开(公告)号：CN108602342B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201780008133.5
申请日：2017-07-04
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的真空贴合装置。本发明的贴合器件的真空贴合装置防止由贴合空间的气压变化及温度变化引起的第一工件及第二工件的位置偏移。本发明的贴合器件的真空贴合装置具备：第一保持部件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持部件，与第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；接触分离用驱动部，使第一保持部件或第二保持部件中的任一个或两者相对地靠近移动；室压调节部，从贴合空间将气体排出至外部空间以将贴合空间从大气气氛调节至减压气氛；及控制部，对接触分离用驱动部及室压调节部进行操作控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者具有：多个凸状部，以与第一工件或第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触的方式形成；及多个凹槽部，相邻于多个凸状部以与非贴合面对置的方式形成，多个凸状部及多个凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者的整体，使多个凸状部及多个凹槽部以向非贴合面所交叉的方向具有各向同性的配置排列，在非贴合面与多个凸状部接触的状态下，多个凹槽部为分别连通贴合空间与外部空间的通气路，在通过室压调节部对贴合空间进行减压时及将其向大气开放时，控制部以使气体通过通气路向非贴合面所交叉的方向分别相同地流动的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN108602342A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008133.5
申请日：2017-07-04
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/02 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的真空贴合装置。本发明的贴合器件的真空贴合装置防止由贴合空间的气压变化及温度变化引起的第一工件及第二工件的位置偏移。本发明的贴合器件的真空贴合装置具备：第一保持部件，具有第一工件的第一工件保持面；第二保持部件，与第一工件保持面隔着贴合空间而对置并且具有第二工件的第二工件保持面；接触分离用驱动部，使第一保持部件或第二保持部件中的任一个或两者相对地靠近移动；室压调节部，从贴合空间将气体排出至外部空间以将贴合空间从大气气氛调节至减压气氛；及控制部，对接触分离用驱动部及室压调节部进行操作控制，第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者具有：多个凸状部，以与第一工件或第二工件中的一个或两者的非贴合面对置而装卸自如地接触的方式形成；及多个凹槽部，相邻于多个凸状部以与非贴合面对置的方式形成，多个凸状部及多个凹槽部遍及第一工件保持面或第二工件保持面中的任一个或两者的整体，使多个凸状部及多个凹槽部以向非贴合面所交叉的方向具有各向同性的配置排列，在非贴合面与多个凸状部接触的状态下，多个凹槽部为分别连通贴合空间与外部空间的通气路，在通过室压调节部对贴合空间进行减压时及将其向大气开放时，控制部以使气体通过通气路向非贴合面所交叉的方向分别相同地流动的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN115284718A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210785506.2
申请日：2016-02-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/00 , B32B37/10 , G09F9/33 , G09F9/35 , G02F1/1333 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种贴合设备的制造装置。其将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过第1保持部件和第2保持部件相对地靠近移动，使一对工件对位贴合，其中，第1保持部件的第1工件保持面或第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与一对工件中的一方或双方对置，并且由比第1保持部件、第2保持部件、及一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，硬涂层从第1工件保持面或第2工件保持面中的任意一方或双方向一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。由此，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损。
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公开(公告)号：CN108453957A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810019195.2
申请日：2018-01-09
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷義和
Abstract: 本发明的课题在于，与尺寸无关地直接在功能部绷紧的状态下将薄膜状工件向朝向下方的保持面均匀地移交。本发明提供一种工件传送装置，具备：多个机械手部件，其具有用于夹持工件的一组对边的多个夹持部；机械手驱动机构，其用于使机械手部件从工件的接收位置经由中间位置朝向向与保持面交叉的方向越过保持面的延长平面地配置的移交位置移动；及保持面，其具有用于保持工件的背面的中央部位的卡盘机构，且以如下方式进行控制：在接收位置使夹持部朝向对边的夹持方向移动，且使机械手部件从接收位置经由中间位置朝向移交位置移动而拉拽工件，在工件沿保持面整体绷紧的状态下利用卡盘机构对背面的中央部位进行保持。
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公开(公告)号：CN107428151A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680018585.7
申请日：2016-02-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683
CPC classification number: B32B37/10 , G02F1/13 , G09F9/00 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种在最小化第1工件保持面及第2工件保持面对工件的接触面积的同时，防止第1工件保持面及第2工件保持面随时间的经过而磨损的贴合设备的制造装置。本发明的贴合设备的制造装置，将一对工件分别保持于第1保持部件和第2保持部件上，通过所述第1保持部件和所述第2保持部件相对地靠近移动，使所述一对工件对位贴合，其中，所述第1保持部件的第1工件保持面或所述第2保持部件的第2工件保持面中的任意一方或双方具备硬涂层，该硬涂层与所述一对工件中的一方或双方对置，并且由比所述第1保持部件、所述第2保持部件、及所述一对工件的材质更硬的材料形成且表面形成为凹凸形状，所述硬涂层从所述第1工件保持面或所述第2工件保持面中的任意一方或双方向所述一对工件中的一方或双方呈山状突出，具有分别与所述一对工件中的一方的平滑表面或双方的平滑表面点接触的多个支撑突起。
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