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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111795987B
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202010259162.2
申请日：2020-04-03
Applicant: FEI 公司
Inventor： R.L.瓦肖尔
IPC: G01N23/2251
Abstract: 利用来自不同模态的不同显微镜检测器的检测器数据从显微镜检测器生成标记图像的方法和系统，包括将聚焦带电束施加到样品，使用第一显微镜检测器检测由入射到所述样品上的所述聚焦带电束所产生的发射，然后使用来自所述第一显微镜检测器的检测器数据自动生成第一标记图像。自动生成所述第一标记图像包括基于所述检测器数据确定关于所述样品的部分的成分信息，然后用对应的成分信息自动标记所述第一图像的与所述样品的所述部分相关的区域。使用来自不同模态的第二显微镜检测器系统的检测器数据生成所述样品的第二图像，然后使用所述第一标记图像的对应成分信息来自动标记所述第二图像的区域。
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公开(公告)号：CN102820238B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210185985.0
申请日：2012-06-07
Applicant: FEI 公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , G06T7/73 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/3045 , H01J2237/31749 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及用于局部区域导航的高精确度射束放置。描述了在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进的方法。本发明的优选实施例还可以被用于迅速导航到存储器阵列或类似结构中的一个单个位单元，以便例如表征或校正该单独位单元中的缺陷。使用高分辨率扫描来（沿着X轴和Y轴中的任一个）扫描阵列的一个边缘上的单元“带”以定位包含期望单元的行，之后是沿着所定位的行（在剩下的方向上）的类似高速扫描直到到达期望的单元位置为止。这允许使用图案识别工具来自动对导航到期望单元所必需的单元“计数”，而不用花费对整个阵列成像所需的大量时间。
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公开(公告)号：CN103578901B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201310325911.7
申请日：2013-07-30
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。
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公开(公告)号：CN103578901A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310325911.7
申请日：2013-07-30
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01L21/67
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。
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公开(公告)号：CN102820238A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210185985.0
申请日：2012-06-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , G06T7/73 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/3045 , H01J2237/31749 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及用于局部区域导航的高精确度射束放置。描述了在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进的方法。本发明的优选实施例还可以被用于迅速导航到存储器阵列或类似结构中的一个单个位单元，以便例如表征或校正该单独位单元中的缺陷。使用高分辨率扫描来（沿着X轴和Y轴中的任一个）扫描阵列的一个边缘上的单元“带”以定位包含期望单元的行，之后是沿着所定位的行（在剩下的方向上）的类似高速扫描直到到达期望的单元位置为止。这允许使用图案识别工具来自动对导航到期望单元所必需的单元“计数”，而不用花费对整个阵列成像所需的大量时间。
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