公开(公告)号：CN102820238B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210185985.0

申请日：2012-06-07

Applicant: FEI 公司

Inventor： R.L.瓦肖尔 ,  R.J.杨 ,  C.吕 ,  P.D.卡尔森

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及用于局部区域导航的高精确度射束放置。描述了在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进的方法。本发明的优选实施例还可以被用于迅速导航到存储器阵列或类似结构中的一个单个位单元，以便例如表征或校正该单独位单元中的缺陷。使用高分辨率扫描来（沿着X轴和Y轴中的任一个）扫描阵列的一个边缘上的单元“带”以定位包含期望单元的行，之后是沿着所定位的行（在剩下的方向上）的类似高速扫描直到到达期望的单元位置为止。这允许使用图案识别工具来自动对导航到期望单元所必需的单元“计数”，而不用花费对整个阵列成像所需的大量时间。

公开(公告)号：CN107058944A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201610963956.0

申请日：2016-11-04

Applicant: FEI 公司

Inventor： B.R.小劳思 ,  T.G.米勒 ,  C.吕 ,  N.T.弗兰科

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/22 ,  C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/06

Abstract: 本发明涉及材料沉积的改进方法。用于带电粒子处理的方法和装置包括形成由至少两种材料构成的保护层。这两种材料可以混合在一起或可以作为分开的层沉积。其已经根据样品的材料性质配制和布置。

公开(公告)号：CN102246258B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN200980149693.8

申请日：2009-10-11

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  C.吕 ,  P.D.卡尔森

IPC: G06T7/00 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进方法。本发明举例说明一种其中甚至在工作台/导航系统不能正常地进行到相对较大的局部区域（例如，区域200μm×200μm）内的感兴趣位点的高精确度导航的情况下也有可能进行此类高精确度导航的方法。大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。优选实施例因此允许具有低于100nm精确度的到样本上的位点的精确导航，甚至在没有高精确度工作台/导航系统的情况下。

公开(公告)号：CN102820238A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210185985.0

申请日：2012-06-07

Applicant: FEI公司

Inventor： R.L.瓦肖尔 ,  R.J.杨 ,  C.吕 ,  P.D.卡尔森

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及用于局部区域导航的高精确度射束放置。描述了在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进的方法。本发明的优选实施例还可以被用于迅速导航到存储器阵列或类似结构中的一个单个位单元，以便例如表征或校正该单独位单元中的缺陷。使用高分辨率扫描来（沿着X轴和Y轴中的任一个）扫描阵列的一个边缘上的单元“带”以定位包含期望单元的行，之后是沿着所定位的行（在剩下的方向上）的类似高速扫描直到到达期望的单元位置为止。这允许使用图案识别工具来自动对导航到期望单元所必需的单元“计数”，而不用花费对整个阵列成像所需的大量时间。

公开(公告)号：CN102246258A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980149693.8

申请日：2009-10-11

Applicant: FEI公司

Inventor： R.J.杨 ,  C.吕 ,  P.D.卡尔森

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进方法。本发明举例说明一种其中甚至在工作台/导航系统不能正常地进行到相对较大的局部区域（例如，区域200μm×200μm）内的感兴趣位点的高精确度导航的情况下也有可能进行此类高精确度导航的方法。大的区域、高分辨率扫描、数字变焦和图像到理想化坐标系的配准的组合使得能够在不依赖于工作台移动的情况下在局部区域周围实现导航。一旦获取了图像，则任何样本或射束漂移将不影响对准。优选实施例因此允许具有低于100nm精确度的到样本上的位点的精确导航，甚至在没有高精确度工作台/导航系统的情况下。