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公开(公告)号:CN102557945A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110374282.8
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0226 , C07C69/84 , G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物,所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN102540725A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110374325.2
申请日:2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物,所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。在上述化学式1中,各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN102531910A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110301200.7
申请日:2011-09-28
IPC: C07C205/42 , C07C201/12 , G03F7/039
CPC classification number: C07C205/42 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物,和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104024940B
公开(公告)日:2018-05-01
申请号:CN201280065648.6
申请日:2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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公开(公告)号:CN104040430B
公开(公告)日:2017-11-24
申请号:CN201280065652.2
申请日:2012-07-17
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03C1/61 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/105
Abstract: 公开了正性光敏树脂组合物,该正性光敏树脂组合物包含:(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、以及它们的组合的碱溶性树脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)苯酚化合物;(D)有机染料以及(E)溶剂,其中,有机染料(D)包含至少一种具有590nm至700nm的吸收波长的红染料、至少一种具有550nm至590nm的吸收波长的黄染料、以及至少一种具有450nm至500nm的吸收波长的蓝染料。
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公开(公告)号:CN103896736B
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:CN201310300799.1
申请日:2013-07-17
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C33/26 , C07C43/23 , G03F7/0752 , G03F7/09 , G03F7/40
Abstract: 本发明公开了用于硬掩模组合物的单体和包含单体的硬掩模组合物及使用硬掩模组合物形成图案的方法。用于硬掩模组合物的单体,由下面化学式1表示,其中在化学式1中,A0、A1、A2、L1、L1′、L2、L2′、X1、X2、m和n与具体实施方式中相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN103186048B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201210351065.1
申请日:2012-09-19
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/105 , G03F7/0233 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供了正性光敏树脂组合物,及使用其的光敏树脂层和显示装置。该组合物包括选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体,及其组合的(A)碱溶性树脂,(B)光敏重氮醌化合物,(C)苯酚化合物,(D)具有400nm到700nm吸收波长的至少一种有机染料,以及(E)溶剂,其中基于100重量份的碱溶性树脂(A),包括1至40重量份的有机染料(D)。
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公开(公告)号:CN104250333A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410120644.4
申请日:2014-03-27
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C08F212/10 , C08F230/02 , C08F220/44
CPC classification number: C08F212/10 , C08F230/02 , C08F220/44
Abstract: 本申请公开一种热塑性共聚物、制备其的方法和包含其的模制品。该热塑性共聚物是包含以下的单体混合物的聚合物:由式1表示的含磷(甲基)丙烯酸类单体;芳族乙烯基单体;以及乙烯基氰化物单体。在式I中,R1是氢原子或甲基;R2是取代的或未取代的C1至C20烃基;R3和R4是各自独立的取代的或未取代的C6至C20环烃基团;m是从1至10的整数;以及n是从0至5的整数。该热塑性共聚物表现出优异的阻燃性而不劣化耐热性,并且是环境友好的,[式1]
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