一种下沉式双层电极铌酸锂电光调制器

    公开(公告)号:CN119644616A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411886792.7

    申请日:2024-12-20

    Abstract: 本发明涉及电光调制器技术领域,具体涉及一种下沉式双层电极铌酸锂电光调制器,包括衬底、氧化层、光波导、过渡层和金属电极;所述衬底位于最下方,所述氧化层位于所述衬底的顶部,所述光波导、过渡层和金属电极均设置在所述氧化层的上方,光波导为X型切割LN薄膜,采用传统的脊状结构,金属电极为双层电极结构,包括一层的行波电极与二层的T型结构电极,可有效降低损耗,提高调制效率。为了减少光吸收损耗,使用0.2um的二氧化硅过渡层分隔金属电极和光波导,金属电极沿光波导的Z轴排列,下沉式双层电极铌酸锂电光调制器在0.14dB/cm的光吸收损耗下实现了1.52V·cm的半波电压长度积,对电光调制器的设计具有重要的指导意义。

    过渡金属硫化物垂直场效应晶体管

    公开(公告)号:CN220172135U

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202321278708.4

    申请日:2023-05-24

    Inventor: 凌永发 骆滔 廖清

    Abstract: 本申请提供了一种过渡金属硫化物垂直场效应晶体管,包括覆盖在衬底正面第一区域上的石墨烯层、一部分覆盖在石墨烯层上且另一部分覆盖在衬底正面第二区域上的二硫化钼层以及源极、漏极和栅极,第一区域和第二区域沿第一方向上排列,且在第一方向上,第一区域的尺寸占衬底正面的三分之一至二分之一,且小于第二区域的尺寸,二硫化钼层的第一部分的尺寸占整个二硫化钼层尺寸的四分之一至二分之一。因此,本申请实施例提供的过渡金属硫化物垂直场效应晶体管便于在形成源/漏极时具有较充足的区域,以降低对光刻工艺的要求,同时还有利于提高过渡金属硫化物垂直场效应晶体管稳定性和降低工艺难度。

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