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公开(公告)号：CN112470298B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN113261308B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201980079191.6
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 板状部(121)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第1连接区域(121R)。多个第1连接区域(121R)沿着板状部(121)的外周侧面(121S)的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部(122)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第2连接区域(122R)。多个第2连接区域(122R)沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部(123)具有如下形状：在从多个第1连接区域(121R)之中的任意的第1连接区域(121R)向板状部(121)的外周侧延伸并通过多个第2连接区域(122R)之中的任意的第2连接区域(122R)的多个虚拟直线(L)上分别由于设置于隔膜部(120)的至少一个槽部(124)而变得不连续。
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公开(公告)号：CN111095585A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/053 , H01L41/09 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN114342098B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080062313.3
申请日：2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H10N30/87 , H10N30/853 , H10N30/06 , H03H9/17
Abstract: 在压电元件(100)中，第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。
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公开(公告)号：CN113169266B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201980076900.5
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H10N30/20 , H10N30/88 , H10N30/30 , H10N30/853
Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111)，并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸，且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115315962A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202080098947.4
申请日：2020-11-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 超声波换能器包括第1声换能器(110)、第2声换能器(120)以及有底筒状的壳体(130)。第2声换能器(120)还具有：环状部(121)，其与第2膜片部(122)的周缘整周接触且支承第2膜片部(122)；以及声匹配板(123)，其与第2膜片部(122)隔开间隔地相对，并且与周壁部(130s)连接而在与壳体(130)之间形成密闭空间。在上述密闭空间内形成有由第1膜片部(112)和第2膜片部(122)夹着的超声波传送路径(T1)。超声波传送路径(T1)的最大内宽(H1)比周壁部(130s)的最大内宽(H2)小。
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公开(公告)号：CN114402448A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064776.3
申请日：2020-07-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/29
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)具有连接面(131)。连接面(131)在第2电极层(130)中的不与第1电极层(120)相对的区域中面向贯通孔(113)。连接电极(140)设于连接面(131)上。连接面(131)与第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分的位置的差为5nm以下。
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公开(公告)号：CN113169266A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980076900.5
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 多个梁部(110)各自具有固定端部(111)，并在远离固定端部(111)的方向上延伸。基部(120)与多个梁部(110)各自的固定端部(111)连接。多个梁部(110)各自在同一平面内延伸，且多个梁部(110)中的至少两个梁部(110)各自的延伸方向(E)互不相同。多个梁部(110)各自包含具有同一方向的极化轴的单晶压电体层(10)、上部电极层(20)、以及下部电极层(30)。极化轴(Z′)在上述平面内具有极化分量。与极化轴(Z′)正交且在上述平面内延伸的正交轴(X′)的轴方向与多个梁部(110)各自的延伸方向(E)交叉。
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公开(公告)号：CN113016196A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201980074863.4
申请日：2019-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H04R17/00 , B81B3/00 , H01L41/053 , H01L41/113
Abstract: 多个梁部(120)各自的端部(121)被基部(110)支承，多个梁部(120)各自在比基部(110)靠上侧的位置向远离基部(110)的方向延伸。多个梁部(120)各自包含多个层。多个梁部(120)各自包含压电体层(122)、配置在压电体层(122)的上侧的上部电极层(123)、和配置为夹着压电体层(122)与上部电极层(123)的至少一部分对置的下部电极层(124)。固定部(130)配置在梁部(120)上，使得与基部(110)夹着多个梁部(120)各自的端部(121)。固定部(130)在上下方向上位于与基部(110)的至少一部分重叠的位置，并且在梁部(120)的延伸方向上延伸，使得比基部(110)突出。
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公开(公告)号：CN118414298A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280084457.8
申请日：2022-12-05
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够减小第1基板和第2基板的间隔的偏差的微机电系统器件。微机电系统器件包括：第1基板，其包含微机电系统构造体；第2基板，其与第1基板隔开间隔地在相对方向上相面对；第1接合部，其具有以多个种类的金属的共晶合金作为主材料的共晶层，以在从相对方向观察时包围微机电系统构造体的方式设在第1基板和第2基板之间，且接合于第1基板和第2基板；以及接触层，其设在第1基板和第2基板之间，与第1基板和第2基板接触。接触层包含第1接合部所包含的多个种类的金属中的部分金属。
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