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公开(公告)号：CN116644625B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310386061.5
申请日：2023-04-12
Applicant: 安徽大学 , 华东光电集成器件研究所 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC: G06F30/23 , G06F17/11 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种高效的基于多物理场耦合的微镜芯片分析方法，属于微机电系统领域，包括：建立梳齿偏转角度和力矩的映射关系，先对梳齿进行近似周期边界条件处理计算得到梳齿偏转角度和力矩的映射关系，再根据该映射关系对单轴可调微镜静电驱动器进行验证。最终使用有限元方法对复杂的双轴静电驱动器进行仿真，从而更快地对双轴静电驱动器进行热黏性声学和力学耦合的频域分析，该方案可对双轴可调微镜静电驱动器进行更高效的优化设计。
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公开(公告)号：CN116341323B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310288398.2
申请日：2023-03-21
Applicant: 安徽大学 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC: G06F30/23
Abstract: 本发明提出了一种基于空间映射算法的BAW滤波器设计优化方法，包括：构建FBAR和BAW滤波器的多物理场力‑电磁耦合细模型；构建FBAR的Mason等效物理粗模型；构建所述多物理场力‑电磁耦合细模型和所述Mason等效物理粗模型之间的一维映射关系，获取满足目标频率的谐振器。本发明可以快速优化单个谐振器，节省了大量的时间，且谐振器的谐振频率精确度可以优化到0.001Ghz，使优化结果更加准确效率更高。
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公开(公告)号：CN116644625A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310386061.5
申请日：2023-04-12
Applicant: 安徽大学 , 华东光电集成器件研究所 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC: G06F30/23 , G06F17/11 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种高效的基于多物理场耦合的微镜芯片分析方法，属于微机电系统领域，包括：建立梳齿偏转角度和力矩的映射关系，先对梳齿进行近似周期边界条件处理计算得到梳齿偏转角度和力矩的映射关系，再根据该映射关系对单轴可调微镜静电驱动器进行验证。最终使用有限元方法对复杂的双轴静电驱动器进行仿真，从而更快地对双轴静电驱动器进行热黏性声学和力学耦合的频域分析，该方案可对双轴可调微镜静电驱动器进行更高效的优化设计。
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公开(公告)号：CN116341323A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310288398.2
申请日：2023-03-21
Applicant: 安徽大学 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC: G06F30/23
Abstract: 本发明提出了一种基于空间映射算法的BAW滤波器设计优化方法，包括：构建FBAR和BAW滤波器的多物理场力‑电磁耦合细模型；构建FBAR的Mason等效物理粗模型；构建所述多物理场力‑电磁耦合细模型和所述Mason等效物理粗模型之间的一维映射关系，获取满足目标频率的谐振器。本发明可以快速优化单个谐振器，节省了大量的时间，且谐振器的谐振频率精确度可以优化到0.001Ghz，使优化结果更加准确效率更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113361218A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110624396.7
申请日：2021-06-04
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及一种基于多物理场耦合建模的体声波滤波器及其设计方法，涉及多物理场仿真技术领域，用以提高薄膜体声波谐振滤波器优化设计的效率，所述薄膜体声波谐振滤波器的优化设计方法具体包括：建立薄膜体声波谐振滤波器等效电路模型与物理模型之间的映射关系。先进行等效电路模型参数的仿真，在根据等效电路模型参数以及映射关系得到物理模型参数，进行物理模型参数的仿真，该方案可对薄膜体声波谐振滤波器进行更高效的优化设计。
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公开(公告)号：CN119414591A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411498890.3
申请日：2024-10-25
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及微机电技术领域，公开了一种基于电磁扫描微镜的电磁驱动系统及方法，该系统包括扫描微镜和永磁体，所述扫描微镜设于永磁体上方，所述扫描微镜包括同轴设置的内框架和外框架，所述内框架的内部同轴设有镜子、底部设有若干圈线圈，所述外框架与内框架之间、内框架与镜子之间均转动连接，所述永磁体包括同轴设置的外环形磁体和内圆柱体磁体，所述外环形磁体和内圆柱体磁体的相邻侧面之间的极性相反设置，以使外环形磁体和内圆柱体磁体之间形成从N极到S极方向的磁场。本发明通过在外环形磁体的基础上添加内圆柱体磁体，减小了磁体之间的距离，进而增加了磁场的强度，提高了扫描微镜的偏转角度。
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公开(公告)号：CN113361218B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202110624396.7
申请日：2021-06-04
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及一种基于多物理场耦合建模的体声波滤波器及其设计方法，涉及多物理场仿真技术领域，用以提高薄膜体声波谐振滤波器优化设计的效率，所述薄膜体声波谐振滤波器的优化设计方法具体包括：建立薄膜体声波谐振滤波器等效电路模型与物理模型之间的映射关系。先进行等效电路模型参数的仿真，在根据等效电路模型参数以及映射关系得到物理模型参数，进行物理模型参数的仿真，该方案可对薄膜体声波谐振滤波器进行更高效的优化设计。
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公开(公告)号：CN117634418B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202311686398.4
申请日：2023-12-11
Applicant: 安徽大学
IPC: G06F30/398 , G06T17/20 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。
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公开(公告)号：CN117634418A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311686398.4
申请日：2023-12-11
Applicant: 安徽大学
IPC: G06F30/398 , G06T17/20 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。
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