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公开(公告)号：CN119249650B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411760486.9
申请日：2024-12-03
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本申请属于等离子源技术领域，公开了一种微波远程等离子源结构优化设计分析方法及相关设备，基于数值模拟技术，对微波远程等离子源进行参数化建模，并对其内部的电磁场分布进行精确模拟和分析，从而快速找到最优设计方案；避免了传统设计方法中过度依赖实验验证和经验积累的问题，缩短了设计周期，降低了设计成本，对工程经验依赖小，而且可以针对不同工况条件进行仿真分析以快速找到适应性强、性能优越的设计方案，适应性强。
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公开(公告)号：CN119337534A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411840017.8
申请日：2024-12-13
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F111/10
Abstract: 本发明提供了一种微波远程等离子源参数优化设计方法及相关设备，涉及微波远程等离子源技术领域。该方法包括步骤：根据电子截止密度确定电子密度参数集；设定工作气体的材料参数；设定物理场为频域求解的电磁波场；基于参数化建模结果得到微波远程等离子源在点火状态下以及在工作状态下的电场分布；根据电子密度参数集和预设的放电管厚度参数集获得多种参数组合，并针对各个参数组合获取每个指针对应的指针数据；根据所有指针数据确定最优的放电管厚度。本发明的方法实现了以参数化的评估指标展现电场分布的合理性，达到在进行参数扫描后能够快速确定最优设计参数的效果。
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公开(公告)号：CN114878494B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202210718458.5
申请日：2022-06-23
Applicant: 季华实验室
IPC: G01N21/31
Abstract: 本申请涉及属于分子束外延技术领域，公开了一种原位监测坩埚中的源材料含量的装置及方法，该装置包括基架、测量杆、激光接收器和激光发射器，所述测量杆穿过所述基架，所述测量杆和所述基架滑动连接，所述测量杆的一端设置有所述激光接收器或所述激光发射器；所述激光发射器用于发射激光到坩埚内，所述测量杆用于通过调节其滑动位置使所述激光接收器能够接收从坩埚内反射出的激光，所述激光接收器用于在接收到从所述坩埚内反射出的激光后产生电反馈信号。本发明结构简单，能实现对坩埚内源材料的原位监测，节约时间，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN117053987B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311324037.5
申请日：2023-10-13
Applicant: 季华实验室
IPC: G01L27/00
Abstract: 本公开涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种真空计校准方法、测试设备及测试系统。其中，真空计校准方法包括：获取真空计在不同压力下对应的电压量化值；基于电压量化值获取线性校准系数；采用线性校准系数对压力‑电压量化值曲线进行线性拟合，获取非线性误差；在非线性误差小于等于非线性误差阈值时，确定线性校准系数为目标校准系数。本公开的技术方案，有利于提高真空计的检测结果线性度，进而提高真空计的测量结果，以满足实际应用需求。
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公开(公告)号：CN116956635A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202311060860.X
申请日：2023-08-22
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F30/20 , G06T17/20 , G06F30/10 , G06F111/04 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本申请属于分子束外延坩埚应力分析技术领域，公开了一种坩埚熔液冷凝应力分析方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取坩埚的第一结构参数和物料的第二结构参数，构建对应的内置物料模型的坩埚模型，确定坩埚模型和物料模型为黏附接触关系，并设置材料参数、塑性节点、相变材料节点和物理约束条件，设置坩埚模型和物料模型的传热条件和辐射条件，基于上述条件和数据，结合预设的温度条件、模型划分条件和求解器设置，计算不同情况下坩埚的应力数据，得到各不同情况对于坩埚熔液冷凝应力的影响分析数据，通过设置辐射条件并添加相变材料节点，模拟不同情况的冷凝应力分析，提高了分析坩埚熔液冷凝应力的效率和准确度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115673179B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202310001189.5
申请日：2023-01-03
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体而言，涉及一种笼状加热丝缠绕装置及缠绕方法，通过设置第一固定板上的拉杆可以相对第一固定板沿轴向调节位置，第二固定板上的拉杆可以相对第二固定板沿轴向调节位置，在同一个加热笼具有不同形状或不同温度区需求的时候，通过分别调节第一固定板和第二固定板的拉杆的位置，从而可以实现在一个笼状加热丝缠绕装置上缠绕不同密度的加热丝以满足同一个加热笼具有不同温度分布区的需求，其操作简单方便，其缠绕出来的加热笼具有很好的一致性，无需另外设置不同规格的缠线工装来满足不同温度区的需求。
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公开(公告)号：CN111089988B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN201911379941.X
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G01Q60/56
Abstract: 本发明公开了一种高均匀性磁性探针及其制备方法，检测硅基探针针尖先端的曲率半径，筛选出曲率半径在规格要求以内的探针；将筛选合格的硅基探针悬臂水平放置，使针尖基体外侧面沿竖直向上，溅射沉积钝化层；将硅基探针悬臂竖直放置，使针尖基体外侧面沿水平方向，溅射沉积磁性感应层；将硅基探针悬臂与竖直方向成30º夹角进行放置，使针尖基体内侧面沿水平方向，溅射沉积磁性屏蔽层；通过采用本技术方案制得的磁性探针的成本低、工艺简单、可重复性好，具备高均匀性的磁感应信号强度，能充分保证定量分析结果的准确性，适用于工业生产用大批量连续的磁力显微镜检测。
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公开(公告)号：CN114130045A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111526817.9
申请日：2021-12-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用，其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件；所述外壳体的内腔为一级真空腔体，所述内壳体的内腔为二级真空腔体，所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接；所述内壳体设置在所述一级真空腔体中，所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件，所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部，所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上；所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩，且快速高效，维护成本低。
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公开(公告)号：CN111172504B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201911382863.9
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射阴极，包括靶材、第一磁体结构和第二磁体结构；第一磁体结构产生第一磁力线回路，形成第一磁场；第二磁体结构产生第二磁力线回路，形成第二磁场；当启动溅射时，第一磁场作用使靶材位于第一磁力线回路内的区域形成第一等离子区，第二磁场作用使靶材位于第二磁力线回路内的区域形成第二等离子区，实现溅射；第二等离子区和第一等离子区叠加区域不完全重合；通过在第一磁体结构的基础上叠加第二磁体结构，可以增大靶材的溅射使用面积，溅射靶材的溅射后表面形态可以由V形变成U形，靶材的利用率可以从传统的20~25%增加到30~35%，提高靶材的利用率。
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公开(公告)号：CN111793822A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010751492.3
申请日：2020-07-30
Applicant: 季华实验室
IPC: C30B25/12
Abstract: 本发明公开了一种行星式MOCVD旋转装置，通过驱动第一旋转齿轮带动外延片载板旋转，运用齿轮式机械运动代替气流摩擦驱动外延片载板，因第一旋转齿轮本身具有一定的重量，所以驱动气流需要达到一定量时才能驱动第一旋转齿轮实现转动，而设备反应室内气流场和热场的变化对驱动气流的气流量的影响相对于驱动第一旋转齿轮转动的气流量来说较少，可以忽略，从而解决气浮传动因气流不稳定进而影响外延片载板的旋转不稳定的问题，保证提高外延片载板的旋转稳定性；第一旋转齿轮的结构相对于复杂的气流导向槽结构简单易加工，极大地降低了设备的加工成本；通过稳定的行星托盘旋转和外延载板自旋转，外延片的温度均匀性能得到更好的保证。
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