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公开(公告)号：CN115673179A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202310001189.5
申请日：2023-01-03
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体而言，涉及一种笼状加热丝缠绕装置及缠绕方法，通过设置第一固定板上的拉杆可以相对第一固定板沿轴向调节位置，第二固定板上的拉杆可以相对第二固定板沿轴向调节位置，在同一个加热笼具有不同形状或不同温度区需求的时候，通过分别调节第一固定板和第二固定板的拉杆的位置，从而可以实现在一个笼状加热丝缠绕装置上缠绕不同密度的加热丝以满足同一个加热笼具有不同温度分布区的需求，其操作简单方便，其缠绕出来的加热笼具有很好的一致性，无需另外设置不同规格的缠线工装来满足不同温度区的需求。
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公开(公告)号：CN117904584A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410112954.5
申请日：2024-01-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请提供了一种脉冲激光沉积设备及其使用方法，涉及薄膜制备技术领域。通过在放置台和沉积台之间设置加热线圈，靶材的溅射物会向上飞出穿过加热线圈，溅射物中的大颗粒会受到重力作用向下跌落，还有部分杂质跟随溅射物继续向上，在穿过加热线圈时，这些杂质会被加热线圈进行加热离化形成等离子体，达到过滤杂质的作用以及避免了等离子体的浪费，同时提高了总的等离子体密度，从而提高薄膜的沉积效果，最后，待沉积工件表面的沉积物几乎为等离子体，减少了杂质污染的可能性；另外，由于杂质在加热线圈中被加热离化形成等离子体，这部分等离子体到待沉积工件的表面距离比较短，能够增加待沉积工件表面的等离子体密度，从而有利于提高沉积效率。
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公开(公告)号：CN115673179B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202310001189.5
申请日：2023-01-03
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及加热工装技术领域，具体而言，涉及一种笼状加热丝缠绕装置及缠绕方法，通过设置第一固定板上的拉杆可以相对第一固定板沿轴向调节位置，第二固定板上的拉杆可以相对第二固定板沿轴向调节位置，在同一个加热笼具有不同形状或不同温度区需求的时候，通过分别调节第一固定板和第二固定板的拉杆的位置，从而可以实现在一个笼状加热丝缠绕装置上缠绕不同密度的加热丝以满足同一个加热笼具有不同温度分布区的需求，其操作简单方便，其缠绕出来的加热笼具有很好的一致性，无需另外设置不同规格的缠线工装来满足不同温度区的需求。
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