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公开(公告)号：CN117715492A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410036703.3
申请日：2018-06-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H10K71/80 , H05B33/10 , G03F7/20 , B23K26/70 , B23K26/36 , B23K26/0622 , B23K26/066 , H10K71/40 , H10K71/00 , H10K59/12 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供转移装置、转移方法、掩膜和显示器的制造方法。在保持高转移位置精度的同时实现转移装置的受体基板的大型化、精细化和缩短节拍时间。在以保持放置有转移对象物的供体基板和/或光束整形光学系统以及缩小投影光学系统的状态移动的各台组、以及保持作为转移目的物的受体基板的台组构建在分开的平台上而构成的机构中，使伴随各基板相对于激光的相对扫描而产生的振动和承担该扫描的台的同步位置精度的异常最小化。
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公开(公告)号：CN112272966B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201880094255.5
申请日：2018-06-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供转移装置、使用方法和调整方法。在保持高转移位置精度的同时实现转移装置的受体基板的大型化、精细化和缩短节拍时间。在以保持放置有转移对象物的供体基板和/或光束整形光学系统以及缩小投影光学系统的状态移动的各台组、以及保持作为转移目的物的受体基板的台组构建在分开的平台上而构成的机构中，使伴随各基板相对于激光的相对扫描而产生的振动和承担该扫描的台的同步位置精度的异常最小化。
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公开(公告)号：CN116457954A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202280007146.1
申请日：2022-03-23
Applicant: 迪睿合株式会社 , 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/48
Abstract: 本发明提供可谋求缩短节拍时间的显示装置的制造方法。该制造方法具有以下工序：转印工序，使设于对激光具有透射性的基材的各向异性导电粘接层与布线基板相对，从基材侧照射激光而将各向异性导电粘接层的单片转印到布线基板的规定位置并进行排列；以及安装工序，在排列于布线基板的规定位置的单片上安装发光元件。通过激光的照射，可高精度和高效率地转印、排列各向异性导电粘接层的单片。
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公开(公告)号：CN116325097A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180065159.X
申请日：2021-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 本发明提出下述方法及装置，即：针对排列于第一基板上的元件，一边修正其位置偏移一边使用激光向第二基板移载。获取第一基板上的元件的实际位置信息，按照基于可容许的位置偏移量所决定的基准进行分组，以各组为单位，以元件的位置限制于可容许的位置偏移量的范围内的方式修正第一基板的位置，从第一基板的背面照射激光而向第二基板移载元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116195074A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180065158.5
申请日：2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种向载体基板的移载方法，用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7)，决定供体基板与受体基板的移动速度之比，与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移，即激光转印，由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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公开(公告)号：CN117677888A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202180100247.9
申请日：2021-07-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G02B27/20 , B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/066 , G02B27/09 , G02B26/10
Abstract: 本发明中，通过扫描型缩小投影光学系统将供体基板上的微小元件以高的位置精度向相向的受体基板上进行激光诱导向前转移，所述扫描型缩小投影光学系统将横多模的脉冲激光光经由透镜阵列型的缩放匀光器、阵列掩模10、扫描镜4、光掩模6、远心投影透镜8在供体基板上以微小区的尺寸成像。作为其实施工序，评价用以获取位置信息的检查、激光诱导向前转移区分割、照射位置选择、转印、台移动的各工序。由此，能以低成本提供扫描型缩小投影光学系统、及搭载有其的封装用或再转印用的激光诱导向前转移装置等，而且也可提供其实施方法，所述扫描型缩小投影光学系统不使用大口径的昂贵的fθ透镜或远心缩小投影透镜，可弥补扫描仪的精度不足，并且将具有均匀且无变动的能量分布的微小的照射区以广范围高精度且高速地扫描。
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公开(公告)号：CN216980602U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202122368647.8
申请日：2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与装置、基板及显示器的制造系统，用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7)，决定供体基板与受体基板的移动速度之比，与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移，即激光转印，由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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公开(公告)号：CN219371054U
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202221585302.6
申请日：2021-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与基板及显示器的制造系统，用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7)，决定供体基板与受体基板的移动速度之比，与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移，即激光转印，由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。
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公开(公告)号：CN216624316U
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202122341476.X
申请日：2021-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L33/48 , H01L21/68 , H01L21/683
Abstract: 本实用新型涉及一种移载系统以及移载机。即：针对排列于第一基板上的元件，一边修正其位置偏移一边使用激光光向第二基板移载。获取第一基板上的元件的实际位置信息，按照基于可容许的位置偏移量所决定的基准进行分组，以各组为单位，以元件的位置限制于可容许的位置偏移量的范围内的方式修正第一基板的位置，从第一基板的背面照射激光而向第二基板移载元件。由此，可针对每个组一边进行位置偏移量的修正一边移载元件，由此具有下述效果，即：可高速制作所移载的所有元件的位置精度在可容许的位置偏移量以内的第二基板。
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