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公开(公告)号:CN103180755B
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201080069764.6
申请日:2010-12-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01L41/053 , G01S7/521 , G10K9/122
Abstract: 得到结构简单、可按照使用用途或设置地点等容易设定变更输出声压(超声波的传播距离)的空中超声波传感器。空中超声波传感器(10)具备在轴向的一端具有开口部且在另一端具有底面的有底筒状壳体(1)、和固定安装在有底筒状壳体的内侧底面上的压电振子(2),还具备在轴向的两端具有开口部的无底筒状壳体(5)和固定安装在无底筒状壳体的开口部的一端上的薄膜(4),无底筒状壳体(5)与有底筒状壳体(1)嵌合,且具有可沿着有底筒状壳体的侧壁(1a)移动的结构。
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公开(公告)号:CN1166012C
公开(公告)日:2004-09-08
申请号:CN00802675.0
申请日:2000-05-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/04 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/176 , H03H2003/0428
Abstract: 一种薄膜压电元件,包括:硅衬底1;由硅衬底1上形成的氮化硅膜16和在氮化硅膜16的上侧形成的氧化硅膜2组成的介质膜21;在介质膜21上形成的下部电极3;在下部电极3上形成的压电体膜17;以及在压电体膜17上形成的上部电极5;其中,通过从硅衬底1的底面至氮化硅膜16的边界面除去与包括上部电极5存在部位的区域相对的硅衬底1部位的厚度方向部分来形成通孔6。
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公开(公告)号:CN110612458A
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201780090571.0
申请日:2017-05-16
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 安装部件(1)具有贯通孔(11)。超声波传感器(2)以超声波传感器(2)的放射面(22)从安装部件(1)的贯通孔(11)露出的方式固定于安装部件(1)。振动传播防止层(3)介于超声波传感器(2)的侧面的整周与安装部件(1)的贯通孔(11)的壁面之间。振动板(41)和(42)设置于经过超声波传感器(2)的放射面(22)的中心点且与放射面(22)平行的水平面上的第1直线以及与该第1直线垂直相交的第2直线中的任意一方的直线上,将超声波传感器(2)的放射面(22)和安装部件(1)连接起来。
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公开(公告)号:CN102652269A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201080053985.4
申请日:2010-01-21
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B60R19/483 , G01S7/521 , G01S15/931 , G01S2015/938 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明所涉及的超声波传感器具有以下结构:在安装于缓冲器4的背面的超声波传感器中设有匹配构件3,该匹配构件3与该超声波传感器的超声波发送面和所述缓冲器4之间的相对面密接,且该匹配构件3的声阻抗比所述超声波发送面和所述缓冲器各自的声阻抗要小,因此谐振频率波动较小、力图提高发送功率并实现稳定化。
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公开(公告)号:CN1337070A
公开(公告)日:2002-02-20
申请号:CN00802675.0
申请日:2000-05-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/04 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/176 , H03H2003/0428
Abstract: 一种薄膜压电元件,包括:硅衬底1;由硅衬底1上形成的氮化硅膜16和在氮化硅膜16的上侧形成的氧化硅膜2组成的介质膜21;在介质膜21上形成的下部电极3;在下部电极3上形成的压电体膜17;以及在压电体膜17上形成的上部电极5;其中,通过从硅衬底1的底面至氮化硅膜16的边界面除去与包括上部电极5存在部位的区域相对的硅衬底1部位的厚度方向部分来形成通孔6。
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公开(公告)号:CN110709729A
公开(公告)日:2020-01-17
申请号:CN201780091346.9
申请日:2017-06-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01S15/931 , G01S7/526
Abstract: 超声波传感器(1)发送超声波(2),并接收被障碍物(3)反射后的超声波。电特性计测单元(9)计测该超声波传レ感器(1)的电特性并输出电特性信息。环境状态判定单元(8)接收来自该电特性计测单元(9)的电特性信息,并输出超声波传感器(1)的温度和湿度中的至少一方的环境信息。
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公开(公告)号:CN103180755A
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN201080069764.6
申请日:2010-12-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01L41/053 , G01S7/521 , G10K9/122
Abstract: 得到结构简单、可按照使用用途或设置地点等容易设定变更输出声压(超声波的传播距离)的空中超声波传感器。空中超声波传感器(10)具备在轴向的一端具有开口部且在另一端具有底面的有底筒状壳体(1)、和固定安装在有底筒状壳体的内侧底面上的压电振子(2),还具备在轴向的两端具有开口部的无底筒状壳体(5)和固定安装在无底筒状壳体的开口部的一端上的薄膜(4),无底筒状壳体(5)与有底筒状壳体(1)嵌合,且具有可沿着有底筒状壳体的侧壁(1a)移动的结构。
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公开(公告)号:CN1221074C
公开(公告)日:2005-09-28
申请号:CN00802585.1
申请日:2000-10-18
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02559
Abstract: 把围绕钽酸锂的晶体X轴以离开晶体Y轴34°到41°范围旋转的面作为基板表面,以弹性表面波的波长λ规范化叉指电极中的至少一部分电极指的厚度h得到的规范化电极厚(h/λ)为0.01以上0.05以下,通过电极指宽度w和排列周期p确定的电极指的占空比(w/p)为0.6以上1.0以下。
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公开(公告)号:CN1336036A
公开(公告)日:2002-02-13
申请号:CN00802585.1
申请日:2000-10-18
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02559
Abstract: 把围绕钽酸锂的晶体X轴以离开晶体Y轴34°到41°范围旋转的面作为基板表面,以弹性表面波的波长λ规范化叉指电极中的至少一部分电极指的厚度h得到的规范化电极厚(h/λ)为0.01以上0.05以下,通过电极指宽度w和排列周期p确定的电极指的占空比(w/p)为0.6以上1.0以下。
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公开(公告)号:CN116709914A
公开(公告)日:2023-09-05
申请号:CN202180088119.7
申请日:2021-01-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: A01M29/16
Abstract: 波发送控制装置(2)控制波发送器(300)而使水中形成声场,其中,该波发送控制装置(2)具有:判断部(20),其在从检测水中的生物的传感器输入检测信息时,使用该检测信息判断生物的特征和每个该特征的分布状态;声音选定部(30),其参照将生物的特征和声音信息关联起来的数据库(200),取得与由判断部(20)判断出的特征对应的声音信息;以及波发送控制部(50),其以从判断部判断出的分布状态成为在处理开始以前受理的每个特征的设定分布状态的方式决定声音的输出条件,使用该输出条件,使波发送器(300)输出基于由声音选定部(30)取得的声音信息的声音。
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