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公开(公告)号:CN115598942A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202210794402.8
申请日:2022-07-07
Applicant: 三星SDI株式会社(KR) , 三星电子株式会社(KR)
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明提供了一种从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物,及包括使用组合物去除边缘珠的步骤的形成图案的方法。该从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物包含有机溶剂、以及被至少一个羟基(‑OH)取代的七角环化合物,其中该七角环化合物在该环中具有至少两个双键。
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公开(公告)号:CN116482935A
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202211535262.9
申请日:2022-12-02
Abstract: 本发明涉及一种形成图案的方法。该方法包括:在基板上涂覆含金属的抗蚀剂组合物,沿着基板的边缘顺序地涂覆两种类型的用于去除边缘珠粒的组合物,执行包括干燥和加热的热处理以在基板上形成含金属的抗蚀剂膜,以及对该含金属的抗蚀剂膜进行曝光和显影以形成抗蚀剂图案;或在基板上涂覆含金属的抗蚀剂组合物,沿着基板的边缘涂覆用于去除边缘珠粒的组合物,执行包括干燥和加热的热处理以在基板上形成含金属的抗蚀剂膜,曝光含金属的抗蚀剂膜,以及用显影液组合物显影以形成抗蚀剂图案,其中,两种类型的用于去除边缘珠粒的组合物和显影液组合物的细节如说明书中所述。
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公开(公告)号:CN115598939A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202210793674.6
申请日:2022-07-07
Applicant: 三星SDI株式会社(KR) , 三星电子株式会社(KR)
Abstract: 本发明提供了一种含金属的光致抗蚀剂显影剂组合物,以及包括使用其进行显影步骤的形成图案的方法。该含金属的光致抗蚀剂显影剂组合物包含有机溶剂和被至少一个羟基(‑OH)取代的七角环化合物,其中七角环化合物在环中具有至少两个双键。
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公开(公告)号:CN111341480A
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201910999942.8
申请日:2019-10-21
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01B1/16 , H01B1/22 , C03C12/00 , H01L31/0224
Abstract: 本发明提供一种基于DSW的太阳能电池电极用组合物以及由所述组合物形成的基于DSW的太阳能电池电极。所述基于DSW的太阳能电池电极用组合物包含:导电粉;玻璃料;以及有机载体,其中所述玻璃料包含10摩尔%到30摩尔%的氧化碲、10摩尔%到20摩尔%的氧化锂以及5摩尔%到15摩尔%的氧化镁。
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公开(公告)号:CN107919401B
公开(公告)日:2019-08-13
申请号:CN201710251024.8
申请日:2017-04-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01B1/22
CPC classification number: H01L31/022425 , C03C3/122 , C03C8/02 , C03C8/10 , C03C8/16 , C03C8/18 , H01B1/22 , Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种用于太阳电池电极的组合物以及一种使用此组合物制造的电极。用于太阳能电池电极的组合物包含导电粉末、玻璃粉和有机载体,其中所述玻璃粉具有如通过等式计算约0.0001μV/mg·℃至约0.2μV/mg·℃的A值,并且玻璃粉具有约300℃至约540℃的初始结晶温度。本发明的组合物可以通过控制在高温下在用于太阳能电池电极的烘烤组合物中使用的玻璃粉的迁移率来控制电极在烘烤期间的扩展,由此增加太阳能电池的开路电压和短路电流并且提高电极到衬底的附着力。
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