声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107404304A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201611233848.4

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架;沟槽部,形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

    声波谐振器及其制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107404304B

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201611233848.4

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架;沟槽部,形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

Patent Agency Ranking