场效应晶体管、电子装置以及制造场效应晶体管的方法

    公开(公告)号:CN115939209A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211197647.9

    申请日:2022-09-29

    Abstract: 提供了场效应晶体管、包括该场效应晶体管的电子装置以及制造该场效应晶体管的方法。场效应晶体管可以包括:基板;在基板上的栅电极;在栅电极上的绝缘层;在绝缘层上的源电极;在绝缘层上且与源电极间隔开的漏电极;在源电极和漏电极之间并包括二维(2D)材料的沟道;邻近源电极和漏电极的2D材料电极接合层;以及邻近2D材料电极接合层的应力器。应力器可以配置为向2D材料电极接合层施加拉伸应变。

    半导体器件及其制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119815870A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411407337.4

    申请日:2024-10-10

    Abstract: 本公开涉及半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:第一沟道层和第二沟道层,在第一方向上彼此间隔开并且每个包括二维(2D)半导体材料;第一源电极,在第一沟道层和第二沟道层之间以同时与第一沟道层和第二沟道层接触;第一漏电极,在第一沟道层和第二沟道层之间以在垂直于第一方向的第二方向上与第一源电极间隔开并且同时与第一沟道层和第二沟道层接触;第一栅电极,布置在由第一源电极、第一漏电极、第一沟道层和第二沟道层围绕的第一内部空间中;以及第一栅极绝缘层,在第一内部空间中围绕第一栅电极。

    场效应晶体管和制造其的方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114141863A

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN202111038495.3

    申请日:2021-09-06

    Abstract: 公开了一种场效应晶体管和制造其的方法。该场效应晶体管包括在衬底上的源电极、与源电极分隔开的漏电极、连接在源电极和漏电极之间的沟道、栅绝缘层、以及栅电极。当在第一截面中看时,沟道可以具有中空闭合的截面结构,第一截面由在垂直于衬底的方向上跨过源电极和漏电极的平面形成。栅绝缘层可以在沟道中。栅电极可以通过栅绝缘层与源电极和漏电极绝缘。

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