公开(公告)号：US20170001277A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：US15178300

申请日：2016-06-09

申请人： NATIONAL CHUNG HSING UNIVERSITY

发明人： Ming-Tsang LEE ,  Jenq-Shyong CHEN ,  Chih-Cherng HO ,  Ming-Chieh HUNG

IPC分类号： B23Q11/00 ,  B23Q11/12 ,  B23Q11/14

CPC分类号： B23Q11/0003 ,  B23Q11/128 ,  B23Q11/143

摘要： A machine tool includes a table, a main shaft, and an electric heating piece. The table includes an upright post and a main shaft support element connected to the upright post. The main shaft is rotatably disposed at the main shaft support element of the table. The electric heating piece is disposed at the main shaft support element of the table and positioned on a side of the main shaft, wherein the side of the main shaft manifests a lower thermal deformation level. The regulation of the electric heating piece minimizes the nonlinear thermal deformation of the main shaft, thereby enhancing processing precision.

摘要翻译： 机床包括工作台，主轴和电加热件。 该工作台包括立柱和连接到立柱的主轴支撑元件。 主轴可旋转地设置在工作台的主轴支撑元件上。 电加热器设置在工作台的主轴支撑元件上并且位于主轴的一侧，其中主轴的侧面表现出较低的热变形水平。 电加热器的调节使主轴的非线性热变形最小化，从而提高加工精度。

公开(公告)号：US06505478B1

公开(公告)日：2003-01-14

申请号：US09614488

申请日：2000-07-11

申请人： Shawn M. Cousineau ,  Robert D. Kelso ,  Robert R. Lopez

发明人： Shawn M. Cousineau ,  Robert D. Kelso ,  Robert R. Lopez

IPC分类号： F28D500

CPC分类号： G01R31/2874 ,  B23Q11/126 ,  B23Q11/141 ,  B23Q11/143 ,  F25B41/04 ,  F25B41/043 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/2865 ,  G01R31/2891 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67248

摘要： A heat exchanger such as an evaporator for a temperature control system includes an input port with an orifice through which a refrigerant enters the heat exchanger. The heat exchanger includes a plurality of plates and a tilted deflection surface near the input port. High-pressure refrigerant entering through the input port impinges on the tilted deflection surface and is deflected by the deflection surface onto the plates. The tilt angle of the deflection surface is selected such that the refrigerant is evenly distributed over the plates resulting in even and highly efficient heat transfer. The heat exchanger can be used as the evaporator in a refrigeration system used to control temperature in a workpiece chuck for supporting a flat workpiece such as a semiconductor wafer during processing and testing. In particular, the heat exchanger can be used to control the temperature of a fluid which is circulated through the chuck to control the temperature of the workpiece and/or the chuck itself. In that setting, the temperature control circulating fluid can be circulated through the heat exchanger over the sides of the plates opposite the refrigerant to cool the circulating fluid. Because the refrigerant is evenly distributed over the plates, highly efficient heat transfer, i.e., cooling, is achieved.

摘要翻译： 诸如用于温度控制系统的蒸发器的热交换器包括具有孔的输入端口，制冷剂通过该孔口进入热交换器。 热交换器包括多个板和在输入端口附近的倾斜偏转表面。 通过输入口进入的高压制冷剂撞击倾斜的偏转表面，并被偏转表面偏转到板上。 选择偏转表面的倾斜角，使得制冷剂均匀分布在板上，从而产生均匀和高效的热传递。 热交换器可用作制冷系统中的蒸发器，用于控制工件卡盘中的温度，用于在加工和测试期间支撑诸如半导体晶片的平坦工件。 特别地，热交换器可用于控制循环通过卡盘的流体的温度，以控制工件和/或卡盘本身的温度。 在该设定中，温度控制循环流体可以在与制冷剂相对的侧面上通过热交换器循环，以冷却循环流体。 由于制冷剂均匀分布在板上，因此实现了高效的热传递，即冷却。

公开(公告)号：US6000458A

公开(公告)日：1999-12-14

申请号：US94471

申请日：1998-06-10

申请人： Mitsuhiro Watanabe

发明人： Mitsuhiro Watanabe

IPC分类号： F25D13/00 ,  B23Q11/14 ,  F24F5/00 ,  F25B41/04 ,  F25D17/02 ,  F25D29/00 ,  F25B29/00

CPC分类号： B23Q11/143 ,  B23Q11/141 ,  F25D17/02 ,  F25B41/04

摘要： A cooling and circulating unit 2 comprising a cooling circuit section including a heat exchanger 21 that cools a refrigerant liquid and a circulating circuit section for heating the cooled refrigerant liquid and then delivering it; an input/display unit 3 including a temperature setting device 32 for setting the temperature of the refrigerant liquid, and an operation display device 33; a control section unit 4 comprising a sequencer 41; and an electrical section unit 5 including various electrical parts that are integrated into units and the units 2 to 5 are independently and detachably mounted on a frame 1. All units are electrically connected together via a relay substrate 6 mounted on a frame 1.

摘要翻译： 冷却循环单元2，包括冷却回路部分，冷却回路部分包括冷却制冷剂液体的热交换器21和用于加热冷却的制冷剂液体然后输送的循环回路部分; 包括用于设定制冷剂液体的温度的温度设定装置32的输入/显示单元3和操作显示装置33; 包括定序器41的控制部分单元4; 并且包括集成到单元中的各种电气部件和单元2至5的电气部分单元5可独立且可拆卸地安装在框架1上。所有单元通过安装在框架1上的中继基板6电连接在一起。

公开(公告)号：US4719830A

公开(公告)日：1988-01-19

申请号：US933324

申请日：1986-11-20

申请人： Kijyu Kawada ,  Nobuyuki Ikeda

发明人： Kijyu Kawada ,  Nobuyuki Ikeda

IPC分类号： B21D28/36 ,  B21D5/02 ,  B23Q11/14 ,  B30B15/04 ,  B30B15/34 ,  G05D23/24 ,  B26D7/10 ,  B26D5/08

CPC分类号： B23Q11/143 ,  G05D23/1928 ,  G05D23/24 ,  Y10S62/10 ,  Y10S82/90 ,  Y10T83/283 ,  Y10T83/8732 ,  Y10T83/95

摘要： A method of and apparatus for controlling the heat deformation of machine tools having a plurality of frames is disclosed in which the temperatures at symmetrical or opposite portions of the frames are measured, analyzed and then utilized to maintain the temperatures of the frames at the same temperature, or to maintain a constant temperature difference between the frame portions. The frame portions may either be heated or cooled to obtain the desired temperature.

摘要翻译： 公开了一种用于控制具有多个框架的机床的热变形的方法和装置，其中测量，分析框架的对称或相对部分处的温度，然后用于将框架的温度保持在相同的温度 或者在框架部之间保持恒定的温度差。 框架部分可以被加热或冷却以获得所需的温度。

公开(公告)号：US3303731A

公开(公告)日：1967-02-14

申请号：US48036165

申请日：1965-08-17

申请人： FERDYNAND ZAWISTOWSKI

发明人： FERDYNAND ZAWISTOWSKI

IPC分类号： B23Q11/14

CPC分类号： B23Q11/146 ,  B23Q11/141 ,  B23Q11/143 ,  B23Q11/145 ,  Y10S82/90 ,  Y10T82/25

公开(公告)号：US11951582B2

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：US17201302

申请日：2021-03-15

申请人： Northrop Grumman Systems Corporation

发明人： David R. Machac ,  Joel L. Robison ,  Mary A. White

IPC分类号： B23Q3/08 ,  B23Q3/18 ,  B23Q11/10 ,  B23Q11/12 ,  B23Q11/14 ,  B23Q17/00

CPC分类号： B23Q3/086 ,  B23Q3/18 ,  B23Q11/10 ,  B23Q11/128 ,  B23Q11/141 ,  B23Q11/143 ,  B23Q17/007 ,  B23C2220/48 ,  B23C2226/27 ,  B23C2228/25 ,  Y10T409/303752 ,  Y10T409/303976 ,  Y10T409/30868

摘要： A core support system includes a support structure. The support structure includes a frame and a support member having a saturatable engagement layer disposed over the frame. A method of machining a core material incudes applying a fluid to an engagement layer of a support structure and saturating the engagement layer with the fluid, disposing a core material on the engagement layer, causing the fluid to freeze to secure to the core material to the support structure, machining the core material, melting the frozen fluid to release the core material from the support structure, and removing the core material from the engagement layer.

公开(公告)号：US20040000389A1

公开(公告)日：2004-01-01

申请号：US10603480

申请日：2003-06-25

申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

发明人： Axel Knauff

IPC分类号： F25B029/00

CPC分类号： B23Q11/143 ,  B23Q11/141 ,  H02K9/19

摘要： An arrangement includes an electrically operated production machine having at least one electrically operated motor and a machine element, and a temperature control system for maintaining the machine element at a controlled temperature. The temperature control system includes a heating unit which is integrated in a machine-internal heat exchange process to use thermal losses generated by the motor to heat the machine element.

摘要翻译： 一种装置包括具有至少一个电动马达和机械元件的电动生产机器，以及用于将机器元件保持在受控温度的温度控制系统。 温度控制系统包括加热单元，该加热单元集成在机器内部的热交换过程中，以使用由电动机产生的热损失来加热机械元件。

公开(公告)号：US20030159456A1

公开(公告)日：2003-08-28

申请号：US10079542

申请日：2002-02-22

申请人： Advanced Thermal Sciences Corp.

发明人： Kenneth W. Cowans

IPC分类号： F25D017/02 ,  F25D023/12

CPC分类号： B23Q11/143 ,  B23Q11/141 ,  F25B25/005 ,  F25B40/00 ,  F25B41/04 ,  F25B2400/01 ,  F25B2400/0403 ,  F25B2400/0409 ,  F25B2400/0411 ,  F25B2700/1933 ,  F25B2700/21151 ,  F25B2700/21173 ,  F25D17/02

摘要： The problem of controlling the temperature of the different units in a process tool system which have to be cooled or heated using thermal transfer fluid at selected setpoints and flow rates is resolved by a system having multiple modular units each with some operative and form factor commonality but at least dual functional capability. The modular units each have separate recirculation loops for thermal transfer fluid but cool the fluid using refrigeration cycles or facilities water supplies or heat the fluid using compressed hot gases or electrical energy. By employing operative units which can be internally varied to provide different thermal capacities within form factor constraints, the system enables concurrent temperature control needs of a number of different units to be met with an energy efficient, low footprint, highly adaptable system.

摘要翻译： 控制工艺工具系统中不同单元温度的问题需要使用热选择的设定点和流速下的热转移流体进行冷却或加热，这是由具有多个模块单元的系统来解决的，每个模块单元具有一些可操作和形式因素共同点，但是 至少具有双重功能。 模块单元各自具有用于热传递流体的单独的再循环回路，而是使用制冷循环或设施供水来冷却流体，或者使用压缩的热气体或电能来加热流体。 通过采用可在内部变化的操作单元以在形状因素约束下提供不同的热容量，该系统使得能够满足多个不同单元的并行温度控制需求，其具有节能，低占地面积，高度适应性的系统。

公开(公告)号：US20020056490A1

公开(公告)日：2002-05-16

申请号：US09987033

申请日：2001-11-13

申请人：

发明人： Jussi Puranen

IPC分类号： B27L005/02

CPC分类号： B23Q11/143 ,  B23Q11/141 ,  B27L5/025 ,  Y10T83/293

摘要： The invention relates to a veneer lathe knife assembly comprising a lower portion (5) supporting a veneer cutting knife (3) and a upper portion (2) supporting a backing nose bar (4), said upper portion including adjustment screw means (1 to 1nullnull) or the like devices for adjusting position of the nose bar (4) in the upper portion (2) of the assembly. To perform a fine adjustment of the knife gap formed between the cutting knife and the nose bar, the adjustment screw means are equipped with means (6) for controlling the temperature of the screw means.

摘要翻译： 本发明涉及一种单板车刀组件，其包括支撑单板切割刀（3）的下部（5）和支撑背面鼻杆（4）的上部（2），所述上部包括调节螺丝装置（1至 1“”）或用于调节组件的上部（2）中的鼻杆（4）的位置的类似装置。 为了对切割刀和鼻杆之间形成的刀间隙进行微调，调节螺丝装置配备有用于控制螺丝装置的温度的装置（6）。

公开(公告)号：US06089797A

公开(公告)日：2000-07-18

申请号：US201649

申请日：1998-11-30

申请人： Yi-Qing Peter Chen ,  Gary Hoogerbrugge

发明人： Yi-Qing Peter Chen ,  Gary Hoogerbrugge

IPC分类号： B23Q11/14

CPC分类号： F28F27/00 ,  B23Q11/141 ,  B23Q11/143 ,  F28D15/00 ,  F28D2021/0077 ,  Y10S82/90 ,  Y10T408/16 ,  Y10T408/38 ,  Y10T409/303976

摘要： In a thermal equalization system a machine tool carriage preferably of aluminum but which could be made of other lightweight materials, a drilling spindle housing is mounted on the carriage. At least one spindle housing is be mounted said carriage to service work pieces mounted on a tooling plate of the work table for said spindle. The chiller unit is used to provide coolant to the spindle to compensate for the heat generated by the spindle during drilling. When the spindle is not drilling, excessive cooling of the spindle can result. Accordingly, the instant invention also includes, a conductive rubber heating pad which is attached to the spindle structure to provide a heat source for the system to compensate for excessive cooling when the drill is not generating heat. The temperature control maintains the temperature between the spindle housing, carriage and work table thereby minimizing temperature expansion differentials between the drilling position and the worktable position.

摘要翻译： 在热平衡系统中，优选为铝的机床托架，但是可以由其他轻质材料制成，工具托架上安装有钻头主轴壳体。 至少一个主轴壳体被安装在所述托架上，以用于安装在用于所述主轴的工作台的工具板上的工件。 制冷机组用于向主轴提供冷却剂，以补偿主轴在钻孔过程中产生的热量。 主轴未钻时，会导致主轴过度冷却。 因此，本发明还包括导电橡胶加热垫，该导电橡胶加热垫附接到主轴结构以提供用于系统的热源以补偿当钻头不产生热量时的过度冷却。 温度控制保持主轴壳体，滑架和工作台之间的温度，从而最小化钻孔位置和工作台位置之间的温度膨胀差。