公开(公告)号：US20150194234A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：US14337741

申请日：2014-07-22

申请人： Samsung Electronics Co., Ltd.

发明人： Hyeon-jin SHIN ,  Seong-jun PARK ,  Jae-ho LEE ,  Seong-Jun JEONG

IPC分类号： H01B1/08 ,  C23C16/455 ,  C23C16/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14 ,  H01B1/02 ,  C23C16/44

CPC分类号： H01B1/08 ,  C23C14/025 ,  C23C14/08 ,  C23C16/0281 ,  C23C16/40 ,  Y10T428/265

摘要： A thin film structure includes a metal seed layer, and a method of forming an oxide thin film on a conductive substrate by using the metal seed layer is disclosed. The thin film structure includes a transparent conductive substrate, a metal seed layer that is deposited on the transparent conductive substrate, and a metal oxide layer that is deposited on the metal seed layer.

摘要翻译： 公开了一种薄膜结构，包括金属种子层，以及通过使用金属种子层在导电性基板上形成氧化物薄膜的方法。 薄膜结构包括透明导电基板，沉积在透明导电基板上的金属籽晶层和沉积在金属籽晶层上的金属氧化物层。

公开(公告)号：US20140187054A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：US14139986

申请日：2013-12-24

申请人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.

发明人： Youn Jung PARK ,  Haeng Deog KOH ,  Mi-Jeong KIM ,  Seong-Jun JEONG

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02118 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  H01L21/02356 ,  H01L21/027 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/3081

摘要： A method of patterning a block copolymer layer includes: providing a guide pattern on a surface of a substrate, the guide pattern including sidewalls each elongated in a longitudinal direction and spaced apart from each other, a trench defined by a bottom surface and facing surfaces of the sidewalls, and having a uniform width over an entire length thereof in the longitudinal direction, and a latitudinal wall perpendicular to the longitudinal direction of the trench; providing a block copolymer layer on the surface of the substrate; and annealing the block copolymer to cause self-assembly of the block copolymer and to direct the same in the trench. The block copolymer has a microphase-separation into anisotropic discrete domains aligned with a period λo in the trench by the annealing.

摘要翻译： 图案化嵌段共聚物层的方法包括：在基材的表面上提供引导图案，所述引导图案包括各自在纵向方向上延伸并且彼此间隔开的侧壁，所述沟槽由底表面限定并且面向 侧壁，并且在其纵向方向上在其整个长度上具有均匀的宽度，以及垂直于沟槽的纵向方向的纬向壁; 在基材的表面上提供嵌段共聚物层; 并且使嵌段共聚物退火以使嵌段共聚物自组装并将其引导到沟槽中。 嵌段共聚物通过退火将微相分离成与沟槽中的周期λo对准的各向异性离散畴。