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公开(公告)号：US20110127622A1
公开(公告)日：2011-06-02
申请号：US13056186
申请日：2009-06-25
申请人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
发明人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
CPC分类号： B81C1/00333 , B81C2203/0136
摘要： The invention relates to a method for capping a MEMS wafer (1), in particular a sensor and/or actuator wafer, with at least one mechanical functional element (10). According to the invention, it is provided that the movable mechanical functional element (10) is fixed by means of a sacrificial layer (14), and that a cap layer (19) is applied to, in particular epitaxially grown onto, the sacrificial layer (14) and/or to at least one intermediate layer (17) applied to the sacrificial layer (14). The invention also relates to a capped MEMS wafer (1).
摘要翻译： 本发明涉及一种用至少一个机械功能元件（10）封装MEMS晶片（1），特别是传感器和/或致动器晶片的方法。 根据本发明，提供了可移动机械功能元件（10）借助于牺牲层（14）固定，并且覆盖层（19）被特别地外延生长在牺牲层上 （14）和/或施加到牺牲层（14）的至少一个中间层（17）。 本发明还涉及封装的MEMS晶片（1）。
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2.发明申请EXHAUST GAS TREATMENT DEVICE FOR A CVD DEVICE, CVD DEVICE, AND EXHAUST GAS TREATMENT METHOD 审中-公开用于CVD装置的排气处理装置，CVD装置和排气处理方法公开(公告)号：US20110083606A1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：US12922820
申请日：2009-01-23
申请人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
发明人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/345 , Y02C20/30
摘要： An exhaust gas treatment device for a CVD device for the deposition of silicon-rich nitride in a CVD process, in particular an LPCVD process. An aftertreatment chamber is provided into which ammonia gas can be metered. In addition, a CVD device and an exhaust gas treatment method are described.
摘要翻译： 一种用于在CVD工艺中沉积富硅氮化物的CVD装置的废气处理装置，特别是LPCVD工艺。 提供了可以计量氨气的后处理室。 另外，对CVD装置和废气处理方法进行说明。
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公开(公告)号：US08470630B2
公开(公告)日：2013-06-25
申请号：US13056186
申请日：2009-06-25
申请人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
发明人： Joachim Rudhard , Thorsten Mueller
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81C2203/0136
摘要： The invention relates to a method for capping a MEMS wafer (1), in particular a sensor and/or actuator wafer, with at least one mechanical functional element (10). According to the invention, it is provided that the movable mechanical functional element (10) is fixed by means of a sacrificial layer (14), and that a cap layer (19) is applied to, in particular epitaxially grown onto, the sacrificial layer (14) and/or to at least one intermediate layer (17) applied to the sacrificial layer (14). The invention also relates to a capped MEMS wafer (1).
摘要翻译： 本发明涉及一种用至少一个机械功能元件（10）封装MEMS晶片（1），特别是传感器和/或致动器晶片的方法。 根据本发明，提供了可移动机械功能元件（10）借助于牺牲层（14）固定，并且覆盖层（19）被特别地外延生长到牺牲层上 （14）和/或施加到牺牲层（14）的至少一个中间层（17）。 本发明还涉及封装的MEMS晶片（1）。
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公开(公告)号：US09083528B2
公开(公告)日：2015-07-14
申请号：US13981028
申请日：2012-01-18
申请人： Thorsten Mueller , Stephan Eichler
发明人： Thorsten Mueller , Stephan Eichler
CPC分类号： H04L9/28 , H04L9/0643 , H04L9/3236
摘要： An authentication-encryption unit provides at least one encryption element, where each encryption element encrypts a plain-data block and accordingly generates a cipher-data block. A common checksum is calculated over each cipher-data block. It is possible to select via a selection unit in each encryption element which data bits in each cipher-data block are to be used to calculate the common checksum.
摘要翻译： 认证加密单元提供至少一个加密元素，其中每个加密元素对普通数据块进行加密，从而生成密码数据块。 在每个密码数据块上计算公共校验和。 可以通过每个加密元素中的选择单元选择每个密码数据块中的哪些数据位用于计算公共校验和。
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公开(公告)号：US20130301827A1
公开(公告)日：2013-11-14
申请号：US13981028
申请日：2012-01-18
申请人： Thorsten Mueller , Stephan Eichler
发明人： Thorsten Mueller , Stephan Eichler
IPC分类号： H04L9/28
CPC分类号： H04L9/28 , H04L9/0643 , H04L9/3236
摘要： An authentication-encryption unit provides at least one encryption element, where each encryption element encrypts a plain-data block and accordingly generates a cipher-data block. A common checksum is calculated over each cipher-data block. It is possible to select via a selection unit in each encryption element which data bits in each cipher-data block are to be used to calculate the common checksum.
摘要翻译： 认证加密单元提供至少一个加密元素，其中每个加密元素对普通数据块进行加密，从而生成密码数据块。 在每个密码数据块上计算公共校验和。 可以通过每个加密元素中的选择单元选择每个密码数据块中的哪些数据位用于计算公共校验和。
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6.发明申请公开(公告)号：US20120038049A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：US12998868
申请日：2009-10-20
申请人： Achim Trautmann , Thorsten Mueller
发明人： Achim Trautmann , Thorsten Mueller
IPC分类号： H01L23/48 , H01L21/768
CPC分类号： H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/147 , H01L23/481 , H01L23/49827 , H01L23/49894 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A component including a via for electrical connection between a first and a second plane of a substrate is provided. The substrate has a borehole having an inner wall that is coated with a conductive layer made of an electrically conductive material, an intermediate layer being disposed between the inner wall and the conductive layer. The intermediate layer includes electrically insulating SiC.
摘要翻译： 提供了包括用于基板的第一和第二平面之间的电连接的通孔的部件。 衬底具有内壁的内壁，该内壁涂覆有由导电材料制成的导电层，中间层设置在内壁和导电层之间。 中间层包括电绝缘的SiC。
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7.发明授权Terminating element for a central element of an optical cable and method and producing a tight cable introduction 失效用于光缆的中心元件的终端元件和方法，并产生紧密的电缆引入
公开(公告)号：US5832166A
公开(公告)日：1998-11-03
申请号：US921983
申请日：1997-08-28
申请人： Rainer Zimmer , Thorsten Mueller
发明人： Rainer Zimmer , Thorsten Mueller
CPC分类号： G02B6/4471 , G02B6/4446
摘要： A terminating element (1) for a central element (9) of an optical cable (13) comprises a sleeve (3) closed at one end for receiving the end of the central element (9) or core of the optical cable (13). An open end of the sleeve (3) is provided with a pair of flexible vanes (2) or legs having seating regions (5,6) which can be clamped onto the exterior of the cable (13) and each of the legs has free ends to help center the end of the cable and the terminating element (1) into a cable introduction (15), whose junction can be sealed by a section of a shrink hose (16) or sleeve (3).
摘要翻译： 用于光缆（13）的中心元件（9）的端接元件（1）包括在一端封闭以容纳光缆（13）的中心元件（9）或芯的端部的套管（3） 。 套筒（3）的开口端设置有一对具有就座区域（5,6）的柔性叶片（2）或腿部，所述座椅区域可被夹紧在电缆（13）的外部，并且每个腿部具有自由 端部以帮助将电缆的端部和终端元件（1）置于电缆引入件（15）中，电缆引入件（15）的连接处可以被收缩软管（16）或套管（3）的一部分密封。
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公开(公告)号：US08415760B2
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：US12806347
申请日：2010-08-10
申请人： Thorsten Mueller , Ando Feyh
发明人： Thorsten Mueller , Ando Feyh
IPC分类号： H01L29/66
摘要： A sensor having a monolithically integrated structure for detecting thermal radiation includes: a carrier substrate, a cavity, and at least one sensor element for detecting thermal radiation. Incident thermal radiation strikes the sensor element via the carrier substrate. The sensor element is suspended in the cavity by a suspension.
摘要翻译： 具有用于检测热辐射的单片集成结构的传感器包括：载体基板，空腔和用于检测热辐射的至少一个传感器元件。 事件热辐射通过载体衬底撞击传感器元件。 传感器元件通过悬架悬挂在空腔中。
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公开(公告)号：US08405190B2
公开(公告)日：2013-03-26
申请号：US12998868
申请日：2009-10-20
申请人： Achim Trautmann , Thorsten Mueller
发明人： Achim Trautmann , Thorsten Mueller
IPC分类号： H01L29/40 , H01L23/053 , H01L23/12 , H01L23/48 , H01L23/52
CPC分类号： H01L21/486 , H01L21/76898 , H01L23/147 , H01L23/481 , H01L23/49827 , H01L23/49894 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A component including a via for electrical connection between a first and a second plane of a substrate is provided. The substrate has a borehole having an inner wall that is coated with a conductive layer made of an electrically conductive material, an intermediate layer being disposed between the inner wall and the conductive layer. The intermediate layer includes electrically insulating SiC.
摘要翻译： 提供了包括用于基板的第一和第二平面之间的电连接的通孔的部件。 衬底具有内壁的内壁，该内壁涂覆有由导电材料制成的导电层，中间层设置在内壁和导电层之间。 中间层包括电绝缘的SiC。
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公开(公告)号：US20110057285A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：US12806347
申请日：2010-08-10
申请人： Thorsten Mueller , Ando Feyh
发明人： Thorsten Mueller , Ando Feyh
摘要： A sensor having a monolithically integrated structure for detecting thermal radiation includes: a carrier substrate, a cavity, and at least one sensor element for detecting thermal radiation. Incident thermal radiation strikes the sensor element via the carrier substrate. The sensor element is suspended in the cavity by a suspension.
摘要翻译： 具有用于检测热辐射的单片集成结构的传感器包括：载体基板，空腔和用于检测热辐射的至少一个传感器元件。 事件热辐射通过载体衬底撞击传感器元件。 传感器元件通过悬架悬挂在空腔中。
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