公开(公告)号：US09321676B2

公开(公告)日：2016-04-26

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

申请人： Intermolecular Inc. ,  Guardian Industries Corp.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

公开(公告)号：US20150232376A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

摘要翻译： 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140322507A1

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：US14144915

申请日：2013-12-31

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guowen Ding ,  Jeremy Cheng ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： C23C14/08 ,  C23C14/14

CPC分类号： G02B5/208 ,  B29D11/00865 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C03C23/007 ,  C03C2217/43 ,  C03C2217/48 ,  C03C2218/154 ,  C23C14/083 ,  C23C14/085 ,  C23C14/14 ,  C23C14/22 ,  E06B9/24 ,  E06B2009/2417 ,  E06B2009/2464 ,  G02B5/26 ,  G02F1/091 ,  G02F2001/094 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： Disclosed herein are systems, methods, and apparatus for forming low emissivity panels. In some embodiments, a partially fabricated panel may be provided that includes a substrate, a reflective layer formed over the substrate, and a barrier layer formed over the reflective layer such that the reflective layer is formed between the substrate and the barrier layer. The barrier layer may include a partially oxidized alloy of three or more metals. A first interface layer may be formed over the barrier layer. A top dielectric layer may be formed over the first interface layer. The top dielectric layer may be formed using reactive sputtering in an oxygen containing environment. The first interface layer may prevent further oxidation of the partially oxidized alloy of the three or more metals when forming the top dielectric layer. A second interface layer may be formed over the top dielectric layer.

摘要翻译： 本文公开了用于形成低发射率面板的系统，方法和装置。 在一些实施例中，可以提供部分制造的面板，其包括衬底，在衬底上形成的反射层，以及形成在反射层上的阻挡层，使得反射层形成在衬底和阻挡层之间。 阻挡层可以包括三种或更多种金属的部分氧化的合金。 可以在阻挡层上方形成第一界面层。 可以在第一界面层上形成顶部电介质层。 可以在含氧环境中使用反应性溅射形成顶部电介质层。 当形成顶部电介质层时，第一界面层可以防止三种或更多种金属的部分氧化的合金的进一步氧化。 可以在顶部介电层上方形成第二界面层。

公开(公告)号：US20140308528A1

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：US14144828

申请日：2013-12-31

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Jose Ferreira ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： C23C14/10 ,  C03C17/34 ,  C23C14/34

CPC分类号： C03C17/366 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3613 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3681 ,  C03C25/226 ,  C03C2218/155 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/0688 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086

摘要： Disclosed herein are systems, methods, and apparatus for forming a low emissivity panel. In various embodiments, a partially fabricated panel may be provided. The partially fabricated panel may include a substrate, a reflective layer formed over the substrate, and a top dielectric layer formed over the reflective layer such that the reflective layer is formed between the substrate and the top dielectric layer. The top dielectric layer may include tin having an oxidation state of +4. An interface layer may be formed over the top dielectric layer. A top diffusion layer may be formed over the interface layer. The top diffusion layer may be formed in a nitrogen plasma environment. The interface layer may substantially prevent nitrogen from the nitrogen plasma environment from reaching the top dielectric layer and changing the oxidation state of tin included in the top dielectric layer.

摘要翻译： 本文公开了用于形成低发射率面板的系统，方法和装置。 在各种实施例中，可以提供部分制造的面板。 部分制造的面板可以包括衬底，在衬底上形成的反射层，以及形成在反射层上的顶部电介质层，使得反射层形成在衬底和顶部电介质层之间。 顶部电介质层可以包括具有+4的氧化态的锡。 界面层可以形成在顶部介电层上。 可以在界面层上形成顶部扩散层。 顶部扩散层可以在氮等离子体环境中形成。 界面层可以基本上防止来自氮等离子体环境的氮到达顶部电介质层并改变顶部电介质层中包含的锡的氧化态。

公开(公告)号：US08778514B2

公开(公告)日：2014-07-15

申请号：US13797606

申请日：2013-03-12

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Sun ,  Guowen Ding ,  Mohd Hassan ,  Sandeep Jaggi ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Yiwei Lu ,  Richard Blacker

IPC分类号： B32B17/06 ,  B32B15/04

CPC分类号： C03C17/366 ,  C03C17/2453 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3642 ,  C23C14/08 ,  C23C28/32 ,  C23C28/345 ,  H01B3/10

摘要： A transparent dielectric composition comprising tin, oxygen and one of aluminum or magnesium with preferably higher than 15% by weight of aluminum or magnesium offers improved thermal stability over tin oxide with respect to appearance and optical properties under high temperature processes. For example, upon a heat treatment at temperatures higher than 500 C, changes in color and index of refraction of the present transparent dielectric composition are noticeably less than those of tin oxide films of comparable thickness. The transparent dielectric composition can be used in high transmittance, low emissivity coated panels, providing thermal stability so that there are no significant changes in the coating optical and structural properties, such as visible transmission, IR reflectance, microscopic morphological properties, color appearance, and haze characteristics, of the as-coated and heated treated products.

公开(公告)号：US20130189526A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：US13797606

申请日：2013-03-12

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Richard Blacker ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Minh Huu Le ,  Yiwei Lu ,  Zhi-Wen Wen Sun

IPC分类号： H01B3/10

CPC分类号： C03C17/366 ,  C03C17/2453 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3642 ,  C23C14/08 ,  C23C28/32 ,  C23C28/345 ,  H01B3/10

摘要： A transparent dielectric composition comprising tin, oxygen and one of aluminum or magnesium with preferably higher than 15% by weight of aluminum or magnesium offers improved thermal stability over tin oxide with respect to appearance and optical properties under high temperature processes. For example, upon a heat treatment at temperatures higher than 500 C, changes in color and index of refraction of the present transparent dielectric composition are noticeably less than those of tin oxide films of comparable thickness. The transparent dielectric composition can be used in high transmittance, low emissivity coated panels, providing thermal stability so that there are no significant changes in the coating optical and structural properties, such as visible transmission, IR reflectance, microscopic morphological properties, color appearance, and haze characteristics, of the as-coated and heated treated products.

摘要翻译： 包含锡，氧和铝或镁中的一种优选高于15重量％的铝或镁的透明电介质组合物相对于在高温过程下的外观和光学性质提供了比氧化锡更好的热稳定性。 例如，当在高于500℃的温度下进行热处理时，本发明透明电介质组合物的颜色变化和折射率显着小于具有相当厚度的氧化锡膜的变化。 透明电介质组合物可用于高透光率，低发射率涂层面板，提供热稳定性，使得涂层的光学和结构性能如可见透射率，IR反射率，微观形态特性，颜色外观和 涂层和加热处理产品的雾度特性。

公开(公告)号：US09296651B2

公开(公告)日：2016-03-29

申请号：US14299341

申请日：2014-06-09

申请人： Intermolecular Inc. ,  Guardian Industries Corp. (Auburn Hills, MI, US)

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Richard Blacker ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Minh Huu Le ,  Yiwei Lu ,  Zhi-Wen Wen Sun

IPC分类号： B32B17/06 ,  B32B15/04 ,  C03C17/36 ,  H01B3/10 ,  C03C17/245 ,  C23C28/00 ,  C23C14/08

CPC分类号： C03C17/366 ,  C03C17/2453 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3642 ,  C23C14/08 ,  C23C28/32 ,  C23C28/345 ,  H01B3/10

摘要： A transparent dielectric composition comprising tin, oxygen and one of aluminum or magnesium with preferably higher than 15% by weight of aluminum or magnesium offers improved thermal stability over tin oxide with respect to appearance and optical properties under high temperature processes. For example, upon a heat treatment at temperatures higher than 500 C, changes in color and index of refraction of the present transparent dielectric composition are noticeably less than those of tin oxide films of comparable thickness. The transparent dielectric composition can be used in high transmittance, low emissivity coated panels, providing thermal stability so that there are no significant changes in the coating optical and structural properties, such as visible transmission, IR reflectance, microscopic morphological properties, color appearance, and haze characteristics, of the as-coated and heated treated products.

摘要翻译： 包含锡，氧和铝或镁中的一种优选高于15重量％的铝或镁的透明电介质组合物相对于在高温过程下的外观和光学性质提供了比氧化锡更好的热稳定性。 例如，当在高于500℃的温度下进行热处理时，本发明透明电介质组合物的颜色变化和折射率显着小于具有相当厚度的氧化锡膜的变化。 透明电介质组合物可用于高透光率，低发射率涂层面板，提供热稳定性，使得涂层的光学和结构性能如可见透射率，IR反射率，微观形态特性，颜色外观和 涂层和加热处理产品的雾度特性。

公开(公告)号：US20140186598A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：US13728042

申请日：2012-12-27

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： C03C17/34

CPC分类号： C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C03C2217/734 ,  Y10T428/24975

摘要： Low emissivity coated panels can be fabricated using a base layer having a low refractive index layer on a high refractive index layer. The low refractive index layer can have refractive index less than 1.5, and can include Mg F2, CaF2, SiO2, or BO. The high refractive index layer can have refractive index greater than 2.3, and can include TiOx, NbOx, or BiOx. The multilayer base structure can allow color tuning with enhanced transmission, for example, as compared to similar structures having single layer base layer.

摘要翻译： 可以使用在高折射率层上具有低折射率层的基底层来制造低发射率涂层面板。 低折射率层可以具有小于1.5的折射率，并且可以包括MgF 2，CaF 2，SiO 2或BO。 高折射率层可以具有大于2.3的折射率，并且可以包括TiO x，NbO x或BiO x。 与具有单层基底层的类似结构相比，多层基底结构可以允许具有增强的透射率的颜色调节。

公开(公告)号：US20150191815A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：US14661958

申请日：2015-03-18

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： C23C14/08

CPC分类号： C23C14/08 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/083 ,  C23C14/185 ,  C23C14/3464 ,  G02B5/0875 ,  G02B5/208 ,  Y10T428/12611

摘要： A method for making low emissivity panels, including control the composition of a barrier layer formed on a thin conductive silver layer. The barrier structure can include a ternary alloy of nickel, titanium, and niobium, which showed improvements in overall performance than those from binary barrier results. The percentage of nickel can be between 5 and 15 wt %. The percentage of titanium can be between 30 and 50 wt %. The percentage of niobium can be between 40 and 60 wt %.

摘要翻译： 一种制造低发射率面板的方法，包括控制形成在薄导电银层上的阻挡层的组成。 阻挡结构可以包括镍，钛和铌的三元合金，其显示出比来自二元屏障结果的整体性能的改善。 镍的百分比可以在5和15重量％之间。 钛的百分比可以在30-50重量％之间。 铌的百分比可以在40至60重量％之间。

公开(公告)号：US20140268316A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US14139350

申请日：2013-12-23

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guizhen Zhang ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yongli Xu

IPC分类号： G02B5/26 ,  B29D11/00

CPC分类号： G02B5/208 ,  B29D11/00865 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C03C23/007 ,  C03C2217/43 ,  C03C2217/48 ,  C03C2218/154 ,  C23C14/083 ,  C23C14/085 ,  C23C14/14 ,  C23C14/22 ,  E06B9/24 ,  E06B2009/2417 ,  E06B2009/2464 ,  G02B5/26 ,  G02F1/091 ,  G02F2001/094 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： Disclosed herein are systems, methods, and apparatus for forming low emissivity panels that may include a substrate and a reflective layer formed over the substrate. The low emissivity panels may further include a top dielectric layer formed over the reflective layer such that the reflective layer is formed between the top dielectric layer and the substrate. The top dielectric layer may include a ternary metal oxide, such as zinc tin aluminum oxide. The top dielectric layer may also include aluminum. The concentration of aluminum may be between about 1 atomic % and 15 atomic % or between about 2 atomic % and 10 atomic %. An atomic ratio of zinc to tin in the top dielectric layer may be between about 0.67 and about 1.5 or between about 0.9 and about 1.1.

摘要翻译： 本文公开了用于形成低辐射率面板的系统，方法和装置，其可以包括衬底和形成在衬底上的反射层。 低发射率面板还可以包括在反射层上形成的顶部电介质层，使得反射层形成在顶部电介质层和衬底之间。 顶部介电层可以包括三元金属氧化物，例如锌锡氧化铝。 顶部电介质层也可以包括铝。 铝的浓度可以在约1原子％至15原子％之间或约2原子％至10原子％之间。 顶部电介质层中锌与锡的原子比可以在约0.67至约1.5之间或约0.9至约1.1之间。