公开(公告)号：US09321676B2

公开(公告)日：2016-04-26

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

申请人： Intermolecular Inc. ,  Guardian Industries Corp.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

公开(公告)号：US20150232376A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：US14702284

申请日：2015-05-01

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

摘要翻译： 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140170434A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13715709

申请日：2012-12-14

申请人： INTERMOLECULAR INC.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： G02B1/10

CPC分类号： G02B1/10 ,  Y10T428/12056 ,  Y10T428/12611

摘要： Two layer silver process comprising a silver layer deposited on a doped silver layer can improve the adhesion of the silver layer on a substrate, minimizing agglomeration to provide a high quality silver layer. The doped silver layer can comprise silver and a doping element that has lower enthalpy of formation with oxide than that of silver, leading to better bonding with oxygen in the substrate.

摘要翻译： 包含沉积在掺杂银层上的银层的双层银方法可以改善银层在基片上的附着力，最小化附聚以提供高质量的银层。 掺杂的银层可以包含银和掺杂元素，其掺杂元素具有比银更低的氧化物形成焓，导致与衬底中的氧更好的结合。

公开(公告)号：US09365450B2

公开(公告)日：2016-06-14

申请号：US13728042

申请日：2012-12-27

申请人： Intermolecular Inc. ,  Guardian Industries Corp.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： C03C17/36

CPC分类号： C03C17/36 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C03C2217/734 ,  Y10T428/24975

摘要： Low emissivity coated panels can be fabricated using a base layer having a low refractive index layer on a high refractive index layer. The low refractive index layer can have refractive index less than 1.5, and can include MgF2, CaF2, SiO2, or BO. The high refractive index layer can have refractive index greater than 2.3, and can include TiOx, NbOx, or BiOx. The multilayer base structure can allow color tuning with enhanced transmission, for example, as compared to similar structures having single layer base layer.

摘要翻译： 可以使用在高折射率层上具有低折射率层的基底层来制造低发射率涂层面板。 低折射率层可以具有小于1.5的折射率，并且可以包括MgF 2，CaF 2，SiO 2或BO。 高折射率层可以具有大于2.3的折射率，并且可以包括TiO x，NbO x或BiO x。 与具有单层基底层的类似结构相比，多层基底结构可以允许具有增强的透射率的颜色调节。

公开(公告)号：US09309149B2

公开(公告)日：2016-04-12

申请号：US14144828

申请日：2013-12-31

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Jose Ferreira ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： C03C17/36 ,  C03C17/34 ,  C03C25/22 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C14/00

CPC分类号： C03C17/366 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3613 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3681 ,  C03C25/226 ,  C03C2218/155 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0652 ,  C23C14/0688 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086

摘要： Disclosed herein are systems, methods, and apparatus for forming a low emissivity panel. In various embodiments, a partially fabricated panel may be provided. The partially fabricated panel may include a substrate, a reflective layer formed over the substrate, and a top dielectric layer formed over the reflective layer such that the reflective layer is formed between the substrate and the top dielectric layer. The top dielectric layer may include tin having an oxidation state of +4. An interface layer may be formed over the top dielectric layer. A top diffusion layer may be formed over the interface layer. The top diffusion layer may be formed in a nitrogen plasma environment. The interface layer may substantially prevent nitrogen from the nitrogen plasma environment from reaching the top dielectric layer and changing the oxidation state of tin included in the top dielectric layer.

摘要翻译： 本文公开了用于形成低发射率面板的系统，方法和装置。 在各种实施例中，可以提供部分制造的面板。 部分制造的面板可以包括衬底，在衬底上形成的反射层，以及形成在反射层上的顶部电介质层，使得反射层形成在衬底和顶部电介质层之间。 顶部电介质层可以包括具有+4的氧化态的锡。 界面层可以形成在顶部介电层上。 可以在界面层上形成顶部扩散层。 顶部扩散层可以在氮等离子体环境中形成。 界面层可以基本上防止来自氮等离子体环境的氮到达顶部电介质层并改变顶部电介质层中包含的锡的氧化态。

公开(公告)号：US09206078B2

公开(公告)日：2015-12-08

申请号：US13801635

申请日：2013-03-13

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Guizhen Zhang ,  Jeremy Cheng ,  Guowen Ding ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Yu Wang

IPC分类号： B32B15/04 ,  B32B17/06 ,  C03C17/36 ,  C23C14/14 ,  C23C14/00 ,  C23C14/04

CPC分类号： C23C14/22 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3605 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/3652 ,  C03C17/366 ,  C03C17/3681 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/042 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G02B1/12 ,  G02B1/14 ,  Y10T428/12542 ,  Y10T428/12549 ,  Y10T428/12611 ,  Y10T428/12778 ,  Y10T428/31678

摘要： Provided is High Productivity Combinatorial (HPC) testing methodology of semiconductor substrates, each including multiple site isolated regions. The site isolated regions are used for testing different compositions and/or structures of barrier layers disposed over silver reflectors. The tested barrier layers may include all or at least two of nickel, chromium, titanium, and aluminum. In some embodiments, the barrier layers include oxygen. This combination allows using relative thin barrier layers (e.g., 5-30 Angstroms thick) that have high transparency yet provide sufficient protection to the silver reflector. The amount of nickel in a barrier layer may be 5-10% by weight, chromium—25-30%, titanium and aluminum—30%-35% each. The barrier layer may be co-sputtered in a reactive or inert-environment using one or more targets that include all four metals. An article may include multiple silver reflectors, each having its own barrier layer.

公开(公告)号：US09081245B2

公开(公告)日：2015-07-14

申请号：US14102768

申请日：2013-12-11

申请人： Intermolecular, Inc.

发明人： Minh Huu Le ,  Thai Cheng Chua ,  Guowen Ding ,  Minh Anh Nguyen ,  Yu Wang ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： G02F1/153 ,  G02F1/155

CPC分类号： G02F1/155

摘要： Embodiments provided herein describe electrochromic devices and methods for forming electrochromic devices. The electrochromic devices include a transparent substrate, a transparent conducting oxide layer coupled to the transparent substrate, and a layer of electrochromic material coupled to the transparent conducting oxide layer. The transparent conducting oxide layer includes indium and zinc.

摘要翻译： 本文提供的实施例描述了用于形成电致变色器件的电致变色器件和方法。 电致变色器件包括透明衬底，耦合到透明衬底的透明导电氧化物层和耦合到透明导电氧化物层的电致变色材料层。 透明导电氧化物层包括铟和锌。

公开(公告)号：US09052456B2

公开(公告)日：2015-06-09

申请号：US13797412

申请日：2013-03-12

申请人： Intermolecular Inc.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： C03C17/23 ,  G02B5/20 ,  C03C17/06 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

摘要翻译： 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。

公开(公告)号：US20140272455A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US13797504

申请日：2013-03-12

申请人： INTERMOLECULAR INC.

发明人： Guowen Ding ,  Brent Boyce ,  Jeremy Cheng ,  Muhammad Imran ,  Jingyu Lao ,  Minh Huu Le ,  Daniel Schweigert ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu ,  Guizhen Zhang

IPC分类号： G02B1/10 ,  C23C14/08 ,  C23C14/14

CPC分类号： C23C14/083 ,  C03C17/3615 ,  C03C17/3618 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/08 ,  C23C14/185 ,  C23C14/3464 ,  G02B5/0875 ,  G02B5/208 ,  Y10T428/12611

摘要： A method for making low emissivity panels, including control the composition of a barrier layer formed on a thin conductive silver layer. The barrier structure can include a ternary alloy of titanium, nickel and niobium, which showed improvements in overall performance than those from binary barrier results. The percentage of titanium can be between 5 and 15 wt %. The percentage of nickel can be between 30 and 50 wt %. The percentage of niobium can be between 40 and 60 wt %.

摘要翻译： 一种制造低发射率面板的方法，包括控制形成在薄导电银层上的阻挡层的组成。 阻挡结构可以包括钛，镍和铌的三元合金，其显示出比来自二元屏障结果的整体性能的改善。 钛的百分比可以在5和15重量％之间。 镍的百分比可以在30-50重量％之间。 铌的百分比可以在40至60重量％之间。

公开(公告)号：US20140272335A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：US13797412

申请日：2013-03-12

申请人： INTERMOLECULAR INC.

发明人： Mohd Fadzli Anwar Hassan ,  Brent Boyce ,  Guowen Ding ,  Muhammad Imran ,  Minh Huu Le ,  Zhi-Wen Wen Sun ,  Yu Wang ,  Yongli Xu

IPC分类号： G02B5/20 ,  C30B25/00 ,  C03C17/06 ,  C30B23/00 ,  C03C17/23

CPC分类号： C03C17/23 ,  C03C17/06 ,  C03C17/34 ,  C03C17/36 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/211 ,  C03C2217/24 ,  C30B23/00 ,  C30B25/00 ,  G02B5/208 ,  G02B5/285 ,  Y10T428/24868 ,  Y10T428/24975 ,  Y10T428/265

摘要： A bi-layer seed layer can exhibit good seed property for an infrared reflective layer, together with improved thermal stability. The bi-layer seed layer can include a thin zinc oxide layer having a desired crystallographic orientation for a silver infrared reflective layer disposed on a bottom layer having a desired thermal stability. The thermal stable layer can include aluminum, magnesium, or bismuth doped tin oxide (AlSnO, MgSnO, or BiSnO), which can have better thermal stability than zinc oxide but poorer lattice matching for serving as a seed layer template for silver (111).

摘要翻译： 双层种子层可以表现出良好的红外反射层的种子性质以及改进的热稳定性。 双层种子层可以包括具有设置在具有期望的热稳定性的底层上的银红外反射层的所需晶体取向的薄氧化锌层。 热稳定层可以包括铝，镁或铋掺杂的氧化锡（AlSnO，MgSnO或BiSnO），其可以比氧化锌具有更好的热稳定性，但是用作银（111）的种子层模板更差的晶格匹配。