公开(公告)号：US20050175953A1

公开(公告)日：2005-08-11

申请号：US10773755

申请日：2004-02-06

申请人： Jon Lai ,  Thomas Tombler ,  Brian Lim

发明人： Jon Lai ,  Thomas Tombler ,  Brian Lim

IPC分类号： F24V30/00 ,  F27B17/02 ,  F27D3/06 ,  F24J1/00

CPC分类号： F27D3/06 ,  F27B17/02

摘要： Solutions permit or facilitate faster and/or easier processing involving loading or unloading of a work module into a process station. For example, the work module may be a processing tube or the like and the process station may be a heating station such as a tube furnace or the like. In one embodiment, the loading is from a single side of a process station. In one embodiment, the work module includes inlets and outlets for fluid flow, with both inlets and outlets being closer toward one side of the work module than the other side.

摘要翻译： 解决方案允许或促进将工作模块加载或卸载到处理站中的更快和/或更容易的处理。 例如，工作模块可以是处理管等，并且处理站可以是诸如管式炉等的加热站。 在一个实施例中，加载来自处理站的单个侧面。 在一个实施例中，工作模块包括用于流体流动的入口和出口，两个入口和出口比另一侧更靠近工作模块的一侧。

公开(公告)号：US20050000437A1

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：US10613217

申请日：2003-07-03

申请人： Thomas Tombler ,  Brian Lim ,  Jon Lai

发明人： Thomas Tombler ,  Brian Lim ,  Jon Lai

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C16/04 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/45589 ,  C23C16/047 ,  C23C16/4557

摘要： In one embodiment, an apparatus for fabricating nanostructure-based devices on workpieces includes: a stage for supporting a workpiece, a radiating-energy source, and a feedstock delivery system. The workpiece has catalyst thereon. The radiating-energy source is configured to focus radiating energy toward a work region of the workpiece to directly heat catalyst at the work region, without directly heating catalyst at one or more other work regions of the workpiece. The feedstock delivery system delivers feedstock gas to the catalyst at the work region. The feedstock delivery system includes a feedstock heating system. The feedstock heating system is configured to heat the feedstock gas not merely by any global heating of the chamber or any direct excitation of gas over the work region by the focused radiating energy. Preferably, the radiating-energy source emits multiple prongs of radiating energy.

摘要翻译： 在一个实施例中，用于在工件上制造纳米结构的装置的装置包括：用于支撑工件的台，辐射能源和原料输送系统。 工件在其上具有催化剂。 辐射能源被配置成将辐射能量聚焦到工件的工作区域，以直接在工作区域加热催化剂，而不直接在工件的一个或多个其他工作区域加热催化剂。 原料输送系统在工作区域将原料气体输送到催化剂。 原料输送系统包括原料加热系统。 原料加热系统被配置为不仅通过腔室的任何全局加热或通过聚焦的辐射能量在工作区域上直接激发气体来加热原料气体。 优选地，辐射能源发射多个辐射能量。

公开(公告)号：US08120861B2

公开(公告)日：2012-02-21

申请号：US12563597

申请日：2009-09-21

申请人： Martin Moskovits ,  Qihong Wu ,  Robert Koefer ,  Xu Zhang ,  Linh Nguyen ,  Thomas Tombler

发明人： Martin Moskovits ,  Qihong Wu ,  Robert Koefer ,  Xu Zhang ,  Linh Nguyen ,  Thomas Tombler

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G02B23/10 ,  G02B27/28

摘要： In general, in one aspect, the invention features an apparatus that includes a plurality of optical elements arranged to form an image of an object. The elements include a first element comprising one or more regions of a polarizing material, the regions being shaped as one or more visual features, a polarizer, and a mounting assembly including a first mount for the first element and a second mount for the polarizer. At least the first or second mount is rotatable with respect to an optical axis between a first orientation and a second orientation. In the first orientation, the visual features are visible in the image of the object and, in the second orientation, the visual features are not visible in the image of the object.

摘要翻译： 通常，在一个方面，本发明的特征在于一种装置，其包括布置成形成物体的图像的多个光学元件。 这些元件包括包括偏振材料的一个或多个区域的第一元件，该区域被定形为一个或多个视觉特征，偏振器和包括用于第一元件的第一安装件和用于偏振器的第二安装件的安装组件。 至少第一或第二安装件可相对于第一取向和第二定向之间的光轴旋转。 在第一方向上，视觉特征在对象的图像中是可见的，并且在第二方向中，视觉特征在对象的图像中是不可见的。

公开(公告)号：US20070001220A1

公开(公告)日：2007-01-04

申请号：US11162548

申请日：2005-09-14

申请人： Thomas Tombler ,  Brian Lim

发明人： Thomas Tombler ,  Brian Lim

IPC分类号： H01L29/76 ,  H01L29/94

CPC分类号： H01L51/0048 ,  B82Y10/00 ,  H01L27/283 ,  H01L51/057 ,  Y10S257/90 ,  Y10S977/843 ,  Y10S977/938 ,  Y10S977/962

摘要： Single-walled carbon nanotube transistor and rectifying devices, and associated methods of making such devices include a porous structure for the single-walled carbon nanotubes. The porous structure may be anodized aluminum oxide or another material. Electrodes for source and drain of a transistor are provided at opposite ends of the single-walled carbon nanotube devices. A gate region may be provided one end or both ends of the porous structure. The gate electrode may be formed into the porous structure. A transistor of the invention may be especially suited for power transistor or power amplifier applications.

摘要翻译： 单壁碳纳米管晶体管和整流装置以及制造这种器件的相关方法包括用于单壁碳纳米管的多孔结构。 多孔结构可以是阳极化氧化铝或另一种材料。 用于晶体管的源极和漏极的电极设置在单壁碳纳米管器件的相对端。 可以在多孔结构的一端或两端设置栅极区域。 栅电极可以形成为多孔结构。 本发明的晶体管可以特别适用于功率晶体管或功率放大器应用。

公开(公告)号：US06900580B2

公开(公告)日：2005-05-31

申请号：US09858783

申请日：2001-05-15

申请人： Hongjie Dai ,  Shoushan Fan ,  Michael Chapline ,  Nathan Franklin ,  Thomas Tombler

发明人： Hongjie Dai ,  Shoushan Fan ,  Michael Chapline ,  Nathan Franklin ,  Thomas Tombler

IPC分类号： B01J23/745 ,  B01J37/02 ,  B01J37/14 ,  C01B31/02 ,  C23C14/04 ,  C23C14/14 ,  C23C16/26 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  H01J9/24

CPC分类号： H01J9/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/08 ,  H01J1/304 ,  H01J2201/30469 ,  Y10S977/939

摘要： A field emission device having bundles of aligned parallel carbon nanotubes on a substrate. The carbon nanotubes are oriented perpendicular to the substrate. The carbon nanotube bundles may be up to 300 microns tall, for example. The bundles of carbon nanotubes extend only from regions of the substrate patterned with a catalyst material. Preferably, the catalyst material is iron oxide. The substrate is preferably porous silicon, as this produces the highest quality, most well-aligned nanotubes. Smooth, nonporous silicon or quartz can also be used as the substrate. The method of the invention starts with forming a porous layer on a silicon substrate by electrochemical etching. Then, a thin layer of iron is deposited on the porous layer in patterned regions. The iron is then oxidized into iron oxide, and then the substrate is exposed to ethylene gas at elevated temperature. The iron oxide catalyzes the formation of bundles of aligned parallel carbon nanotubes which grow perpendicular to the substrate surface. The height of the nanotube bundles above the substrate is determined by the duration of the catalysis step. The nanotube bundles only grow from the patterned regions.

摘要翻译： 一种场致发射器件，其在衬底上具有排列的平行碳纳米管束。 碳纳米管垂直于衬底取向。 例如，碳纳米管束可以高达300微米高。 碳纳米管束仅从由催化剂材料图案化的衬底的区域延伸。 优选地，催化剂材料是氧化铁。 衬底优选为多孔硅，因为其产生最高质量，最良好排列的纳米管。 光滑，无孔的硅或石英也可以用作基材。 本发明的方法开始于通过电化学蚀刻在硅衬底上形成多孔层。 然后，在图案化区域的多孔层上沉积薄层的铁。 然后将铁氧化成氧化铁，然后将基板在升高的温度下暴露于乙烯气体。 氧化铁催化垂直于衬底表面生长的排列的平行碳纳米管束的形成。 基底上方的纳米管束的高度由催化步骤的持续时间决定。 纳米管束仅从图案化区域生长。

公开(公告)号：US20050046180A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：US10654599

申请日：2003-09-02

申请人： Thomas Tombler ,  Brian Lim ,  Jon Lai

发明人： Thomas Tombler ,  Brian Lim ,  Jon Lai

IPC分类号： F16J15/16 ,  F16L17/10 ,  F16L33/16

CPC分类号： F16L17/10 ,  F16J15/164 ,  F16L2201/30 ,  Y10T29/49826

摘要： In some embodiments of the invention, there is a method or apparatus for tight sealing between a first space and a second space. The second space is at least partially enclosed by a member. The method or apparatus includes or performs the step of creating or maintaining a pressure difference between a pressure in a third space at a seal assembly and pressure in each of the first space and the second space; and pushing, caused by the pressure difference, against a seal in the seal assembly to tighten sealing provided by the seal.

摘要翻译： 在本发明的一些实施例中，存在用于在第一空间和第二空间之间紧密密封的方法或装置。 第二个空间至少部分地由一个成员封闭。 该方法或装置包括或执行在密封组件中的第三空间中的压力和第一空间和第二空间中的每一个中的压力之间产生或维持压力差的步骤; 并且由压力差引起的压力抵靠密封组件中的密封件以紧固由密封件提供的密封。

公开(公告)号：US06232706B1

公开(公告)日：2001-05-15

申请号：US09191728

申请日：1998-11-12

申请人： Hongjie Dai ,  Shoushan Fan ,  Michael Chapline ,  Nathan Franklin ,  Thomas Tombler

发明人： Hongjie Dai ,  Shoushan Fan ,  Michael Chapline ,  Nathan Franklin ,  Thomas Tombler

IPC分类号： H01J102

CPC分类号： H01J9/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/08 ,  H01J1/304 ,  H01J2201/30469 ,  Y10S977/939

摘要： A field emission device having bundles of aligned parallel carbon nanotubes on a substrate. The carbon nanotubes are oriented perpendicular to the substrate. The carbon nanotube bundles may be up to 300 microns tall, for example. The bundles of carbon nanotubes extend only from regions of the substrate patterned with a catalyst material. Preferably, the catalyst material is iron oxide. The substrate is preferably porous silicon, as this produces the highest quality, most well-aligned nanotubes. Smooth, nonporous silicon or quartz can also be used as the substrate. The method of the invention starts with forming a porous layer on a silicon substrate by electrochemical etching. Then, a thin layer of iron is deposited on the porous layer in patterned regions. The iron is then oxidized into iron oxide, and then the substrate is exposed to ethylene gas at elevated temperature. The iron oxide catalyzes the formation of bundles of aligned parallel carbon nanotubes which grow perpendicular to the substrate surface. The height of the nanotube bundles above the substrate is determined by the duration of the catalysis step. The nanotube bundles only grow from the patterned regions.

摘要翻译： 一种场致发射器件，其在衬底上具有排列的平行碳纳米管束。 碳纳米管垂直于衬底取向。 例如，碳纳米管束可以高达300微米高。 碳纳米管束仅从由催化剂材料图案化的衬底的区域延伸。 优选地，催化剂材料是氧化铁。 衬底优选为多孔硅，因为其产生最高质量，最良好排列的纳米管。 光滑，无孔的硅或石英也可以用作基材。 本发明的方法开始于通过电化学蚀刻在硅衬底上形成多孔层。 然后，在图案化区域的多孔层上沉积薄层的铁。 然后将铁氧化成氧化铁，然后将基板在升高的温度下暴露于乙烯气体。 氧化铁催化垂直于衬底表面生长的排列的平行碳纳米管束的形成。 基底上方的纳米管束的高度由催化步骤的持续时间决定。 纳米管束仅从图案化区域生长。

公开(公告)号：US08506827B2

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US12563824

申请日：2009-09-21

申请人： Qihong Wu ,  Sheng Liu ,  Xu Zhang ,  Shiaw-wen Tai ,  Xiaohua Du ,  Thomas Tombler

发明人： Qihong Wu ,  Sheng Liu ,  Xu Zhang ,  Shiaw-wen Tai ,  Xiaohua Du ,  Thomas Tombler

IPC分类号： C23F1/02

CPC分类号： G02B5/3058

摘要： Methods for forming a metal grating include providing a first grating including a plurality of grating lines formed from a dielectric material, each grating having a pair of sidewalls, facing sidewalls of adjacent grating lines being separated by corresponding trenches, the grating lines and trenches forming a grating surface; forming a layer of a metal on the grating surface, where the metal layer has a constant thickness and conforms to the grating surface; and removing portions of the metal layer between sidewalls of adjacent grating lines of the first grating to form a metal grating having grating lines formed from the metal, the grating lines of the metal grating corresponding to the portions of the metal layer adjacent the sidewalls of the grating lines of the first grating. The metal grating has a pitch of 200 nm or less, a depth of 50 nm or more, and the grating lines of the metal grating have an aspect ratio of 10-to-1 or more.

摘要翻译： 用于形成金属光栅的方法包括提供包括由电介质材料形成的多个格栅线的第一光栅，每个光栅具有一对侧壁，其相对的光栅线的侧壁由相应的沟槽分开，所述光栅线和沟槽形成 光栅表面; 在光栅表面上形成金属层，其中金属层具有恒定的厚度并符合光栅表面; 以及去除所述第一光栅的相邻光栅线的侧壁之间的所述金属层的部分以形成具有由所述金属形成的光栅线的金属光栅，所述金属光栅的光栅线对应于邻近所述金属层的侧壁的所述金属层的所述部分 第一光栅的光栅线。 金属光栅的间距为200nm以下，深度为50nm以上，金属光栅的光栅线的纵横比为10比1以上。

公开(公告)号：US20100073756A1

公开(公告)日：2010-03-25

申请号：US12563597

申请日：2009-09-21

申请人： Martin Moskovits ,  Qihong Wu ,  Robert Koefer ,  Xu Zhang ,  Linh Nguyen ,  Thomas Tombler

发明人： Martin Moskovits ,  Qihong Wu ,  Robert Koefer ,  Xu Zhang ,  Linh Nguyen ,  Thomas Tombler

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B5/3058 ,  G02B23/10 ,  G02B27/28

摘要： In general, in one aspect, the invention features an apparatus that includes a plurality of optical elements arranged to form an image of an object. The elements include a first element comprising one or more regions of a polarizing material, the regions being shaped as one or more visual features, a polarizer, and a mounting assembly including a first mount for the first element and a second mount for the polarizer. At least the first or second mount is rotatable with respect to an optical axis between a first orientation and a second orientation. In the first orientation, the visual features are visible in the image of the object and, in the second orientation, the visual features are not visible in the image of the object.

摘要翻译： 通常，在一个方面，本发明的特征在于一种装置，其包括布置成形成物体的图像的多个光学元件。 这些元件包括包括偏振材料的一个或多个区域的第一元件，该区域被定形为一个或多个视觉特征，偏振器和包括用于第一元件的第一安装件和用于偏振器的第二安装件的安装组件。 至少第一或第二安装件可相对于第一取向和第二定向之间的光轴旋转。 在第一方向上，视觉特征在对象的图像中是可见的，并且在第二方向中，视觉特征在对象的图像中是不可见的。

公开(公告)号：US20050000438A1

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：US10613513

申请日：2003-07-03

申请人： Brian Lim ,  Thomas Tombler ,  Jon Lai

发明人： Brian Lim ,  Thomas Tombler ,  Jon Lai

IPC分类号： C23C8/36 ,  C23C16/48 ,  C23C16/00 ,  B05D3/00 ,  C23C8/00

CPC分类号： B82Y30/00 ,  C23C8/36 ,  C23C16/483

摘要： In one embodiment, an apparatus for fabricating nanostructure-based devices on a workpiece includes: a stage for supporting a workpiece, a radiating-energy source, and a feedstock delivery system. The workpiece has catalyst deposited thereon. The workpiece includes multiple work regions (e.g., dies). The feedstock delivery system is for delivery of feedstock gas to said catalyst. The feedstock delivery system is configured to directly heat catalyst on at least one die via simultaneously emitted multiple prongs of radiating energy. Preferably, the feedstock delivery system includes a feedstock heating system that is configured to heat the feedstock gas not merely by any global heating of a chamber containing the work region or any direct excitation of gas over the work region by the radiating energy.

摘要翻译： 在一个实施例中，用于在工件上制造基于纳米结构的器件的设备包括：用于支撑工件的台，辐射能源和原料输送系统。 工件上沉积有催化剂。 工件包括多个工作区域（例如，模具）。 原料输送系统用于将原料气体输送到所述催化剂。 原料输送系统被配置为通过同时发射的多个辐射能量的直角，在至少一个管芯上直接加热催化剂。 优选地，原料输送系统包括原料加热系统，该原料加热系统被配置为不仅通过对包含工作区域的室的任何全局加热或通过辐射能量在工作区域上直接激发气体来加热原料气体。