公开(公告)号：US20130090402A1

公开(公告)日：2013-04-11

申请号：US13269071

申请日：2011-10-07

申请人： Paul G. Dewa ,  Stephan Lvovich Logunov ,  Paul John Shustack

发明人： Paul G. Dewa ,  Stephan Lvovich Logunov ,  Paul John Shustack

IPC分类号： C08J3/28 ,  G01J1/42 ,  G02B6/04

CPC分类号： G02B7/025 ,  C03C13/045 ,  C03C25/105 ,  C03C25/106 ,  C03C25/475 ,  G02B6/001 ,  G02B6/02319 ,  G02B6/02342

摘要： Systems and methods for performing photoreactions in a photoreactive material using scattered actinic light from at least one light-diffusing optical fiber are disclosed. The systems and methods include disposing a light-diffusing optical fiber relative to the photoreactive material. The light-diffusing optical fiber has a glass core, a surrounding cladding, and nano-sized structures situated either within the glass core or at the core-cladding boundary. The nano-sized structures are configured to scatter guided actinic light that travels in the light-diffusing optical fiber from an actinic light source. The scattered actinic light is provided throughout the photoreactive material and causes a photoreaction throughout the photoreactive material.

摘要翻译： 公开了使用来自至少一种光散射光纤的分散光化光在光反应性材料中进行光反应的系统和方法。 该系统和方法包括相对于光反应性材料设置光漫射光纤。 光扩散光纤具有玻璃芯，周围包层和位于玻璃芯内或芯 - 包层边界处的纳米尺寸结构。 纳米尺寸结构被配置为散射在光扩散光纤中从光化光源行进的引导光化光。 在整个光反应性材料中提供分散的光化光，并在整个光反应性材料中引起光反应。

公开(公告)号：US20130070331A1

公开(公告)日：2013-03-21

申请号：US13461879

申请日：2012-05-02

申请人： Paul G. Dewa ,  Michael M. Dunn ,  Stephen K. Mack ,  Brian Monroe McMaster ,  Robert L. Michaels ,  Paul Francis Michaloski

发明人： Paul G. Dewa ,  Michael M. Dunn ,  Stephen K. Mack ,  Brian Monroe McMaster ,  Robert L. Michaels ,  Paul Francis Michaloski

IPC分类号： G02B27/28

CPC分类号： G02B27/286 ,  G01N21/21 ,  G01N21/33 ,  G02B5/3083 ,  G02B6/2773 ,  G02B27/283

摘要： A polarization switching apparatus has a first birefringent polarizer formed as a composite prism and disposed to direct incident light of a first polarization along a first optical path and light of a second polarization along a second optical path, wherein the second optical path is oblique to the first optical path. A beam redirector is disposed to redirect the first optical path from the first birefringent polarizer toward an input face of a second birefringent polarizer; wherein the second birefringent polarizer is also formed as a composite prism and is disposed to combine incident light of the first and second polarizations onto a common output path. A shutter apparatus is actuable to selectively block light of the first polarization or light of the second polarization from the input face of the second birefringent polarizer.

摘要翻译： 偏振切换装置具有形成为复合棱镜的第一双折射偏振器，并且设置成沿着第一光路引导第一偏振的入射光和沿着第二光路的第二偏振光，其中第二光路相对于 第一光路。 光束重定向器设置成将第一光路从第一双折射偏光镜朝向第二双折射偏振器的输入面重定向; 其中所述第二双折射偏振器还形成为复合棱镜，并且设置成将所述第一和第二偏振的入射光组合到公共输出路径上。 快门装置可致动以从第二双折射偏振器的输入面选择性地阻挡第一偏振光或第二偏振光。

公开(公告)号：US20120050533A1

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：US13221115

申请日：2011-08-30

申请人： Paul G. Dewa ,  Richard L. Wiggins

发明人： Paul G. Dewa ,  Richard L. Wiggins

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G02B27/145 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/1013

摘要： A micro-electro-mechanical (MEMS) based surveillance system and a method for using the MEMS based surveillance system are described herein for imaging an object. In one example, the MEMS based surveillance system can record images of an object from four different wavelength regions including visible light, near-infrared light, infrared light, and far infrared light.

摘要翻译： 本文描述了基于微机电（MEMS）的监视系统和使用基于MEMS的监视系统的方法来对物体进行成像。 在一个示例中，基于MEMS的监视系统可以记录来自四个不同波长区域的物体的图像，包括可见光，近红外光，红外光和远红外光。

公开(公告)号：US07706420B2

公开(公告)日：2010-04-27

申请号：US11605886

申请日：2006-11-29

申请人： Joshua Monroe Cobb ,  Paul G Dewa

发明人： Joshua Monroe Cobb ,  Paul G Dewa

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： G03B27/42 ,  G03F7/70041

摘要： An apparatus for providing a pulsed radiation beam has a radiation source providing a pulsed radiation beam at a constant pulse repetition frequency. A beam deflector in the path of the pulsed radiation beam is actuable to redirect the pulsed radiation beam cyclically towards each of a plurality of beam intensity modulators in turn. A beam recombiner combines modulated light from each of the plurality of beam intensity modulators in order to form the modulated pulsed radiation beam at the constant pulse repetition frequency.

摘要翻译： 用于提供脉冲辐射束的装置具有以恒定脉冲重复频率提供脉冲辐射束的辐射源。 在脉冲辐射束的路径中的光束偏转器可致动以依次将脉冲辐射束循环地重定向到多个光束强度调制器中的每一个。 束复合器组合来自多个束强度调制器中的每一个的调制光，以便以恒定脉冲重复频率形成调制的脉冲辐射束。

公开(公告)号：US07256221B2

公开(公告)日：2007-08-14

申请号：US10703800

申请日：2003-11-07

申请人： Kelsee L. Coykendall ,  Paul G. Dewa ,  Robert Sabia ,  David C. Sauer ,  Paul J. Shustack ,  Kamal K. Soni

发明人： Kelsee L. Coykendall ,  Paul G. Dewa ,  Robert Sabia ,  David C. Sauer ,  Paul J. Shustack ,  Kamal K. Soni

IPC分类号： C08J3/28 ,  G03C1/72 ,  G03F7/028 ,  C08F36/04 ,  C08F110/02 ,  C08F110/04

CPC分类号： C08J3/28 ,  C08C19/02 ,  C08F255/02 ,  C08F279/02 ,  C08F290/048 ,  C08K3/013 ,  C08K5/0025 ,  C08L83/04 ,  C08L15/00

摘要： Disclosed are photo or electron beam polymerizable compositions, and preparation thereof and devices containing them. The composition contains completely or substantially completely hydrogenated hydrocarbon-based material completely free or substantially free of carbon-carbon double and triple bonds containing photo or electron beam curable terminal or pendant groups, low-outgassing photoinitiators, an optional viscosity adjustment component and an optional filler. The composition is visible light, UV or electron beam curable. It cures into a low-modulus, low outgassing polymer material. The composition can be used as an adhesive, sealant or lens potting material. It is ideal for use in lithographic tools involving deep or vacuum ultraviolet radiations, in particular, as lens potting materials for 157 nm lithographic tools.

摘要翻译： 公开了光或电子束可聚合组合物及其制备方法和含有它们的装置。 该组合物含有完全或基本上完全氢化的烃基材料，其完全自由或基本上不含含有光或电子束可固化末端或侧基的碳 - 碳双键和三键，低脱气光引发剂，任选的粘度调节组分和任选的填料 。 组合物是可见光，UV或电子束可固化。 它固化成低模量，低脱气聚合物材料。 该组合物可用作粘合剂，密封剂或透镜灌封材料。 它适用于涉及深度或真空紫外线辐射的光刻工具，特别是157 nm平版印刷工具的透镜灌封材料。

公开(公告)号：US07232595B2

公开(公告)日：2007-06-19

申请号：US11002775

申请日：2004-12-01

申请人： Kelsee L. Coykendall ,  Paul G. Dewa ,  Robert Sabia ,  David Sauer ,  Paul J. Shustack ,  Kamal K. Soni

发明人： Kelsee L. Coykendall ,  Paul G. Dewa ,  Robert Sabia ,  David Sauer ,  Paul J. Shustack ,  Kamal K. Soni

IPC分类号： C08F2/50 ,  B29D11/00 ,  G02B1/10

CPC分类号： C08L15/00 ,  C08C19/02 ,  C08F255/00 ,  C08F255/02 ,  C08F279/02 ,  C08F290/06 ,  C08K3/013 ,  C08K5/0025 ,  C08L2666/02 ,  C09J4/06 ,  C09J123/02 ,  Y10T428/1059 ,  Y10T428/1082 ,  Y10T428/28 ,  Y10T428/2809 ,  Y10T428/2852 ,  Y10T428/287 ,  Y10T428/2878 ,  Y10T428/2883 ,  Y10T428/2891 ,  Y10T428/31855 ,  Y10T428/31938

摘要： Disclosed are photo or electron beam curable polymerizable compositions, and preparation thereof and devices containing such cured material. The composition contains completely or substantially completely hydrogenated hydrocarbon-based material completely free or substantially free of carbon-carbon double and triple bonds containing photo or electron beam curable terminal or pendant groups, low-outgassing photoinitiators, an optional viscosity adjustment component and an optional filler. The composition is visible light, UV or electron beam curable. It cures into a low-modulus, low outgassing polymer material. The composition can be used as an adhesive, sealant or lens potting material. It is ideal for use in lithographic tools and other optical devices involving deep or vacuum ultraviolet radiations, in particular, as lens potting materials for 248 nm, 193 nm and 157 nm lithographic tools, as well as other optical devices involving using high fluence irradiation.

摘要翻译： 公开了光或可电子束固化的可聚合组合物及其制备方法和包含这种固化材料的装置。 该组合物含有完全或基本上完全氢化的烃基材料，其完全自由或基本上不含含有光或电子束可固化末端或侧基的碳 - 碳双键和三键，低脱气光引发剂，任选的粘度调节组分和任选的填料 。 组合物是可见光，UV或电子束可固化。 它固化成低模量，低脱气聚合物材料。 该组合物可用作粘合剂，密封剂或透镜灌封材料。 它非常适用于涉及深度或真空紫外辐射的光刻工具和其他光学器件，特别是用于248 nm，193 nm和157 nm光刻工具的透镜灌封材料，以及涉及使用高能量照射的其他光学器件。

公开(公告)号：US5452054A

公开(公告)日：1995-09-19

申请号：US342787

申请日：1994-11-21

申请人： Paul G. Dewa ,  Paul F. Michaloski ,  Paul J. Tompkins ,  William N. Partlo

发明人： Paul G. Dewa ,  Paul F. Michaloski ,  Paul J. Tompkins ,  William N. Partlo

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70108 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/702

摘要： The illumination of a photolithographic projection imager is given a variable annular intensity profile by using diverging and counter diverging elements that are movable relative to each other in the illumination path. An upstream element diverges the illumination into an annular configuration, the radius of which is set by the distance downstream to the counter diverging element. Convex and concave conical surfaces on the movable elements can accomplish this.

摘要翻译： 通过使用在照明路径中可相对于彼此移动的发散和反向发散元件，给予光刻投影成像器的照明可变的环形强度分布。 上游元件将照明分散成环形构型，其半径设置在反扩散元件下游的距离。 可移动元件上的凸形和凹形圆锥形表面可以实现这一点。

公开(公告)号：US08830581B2

公开(公告)日：2014-09-09

申请号：US13461879

申请日：2012-05-02

申请人： Paul G Dewa ,  Michael M Dunn ,  Stephen K Mack ,  Brian Monroe McMaster ,  Robert L Michaels ,  Paul Francis Michaloski

发明人： Paul G Dewa ,  Michael M Dunn ,  Stephen K Mack ,  Brian Monroe McMaster ,  Robert L Michaels ,  Paul Francis Michaloski

IPC分类号： G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G01N21/33 ,  G01N21/21 ,  G02B6/27

CPC分类号： G02B27/286 ,  G01N21/21 ,  G01N21/33 ,  G02B5/3083 ,  G02B6/2773 ,  G02B27/283

摘要： A polarization switching apparatus has a first birefringent polarizer formed as a composite prism and disposed to direct incident light of a first polarization along a first optical path and light of a second polarization along a second optical path, wherein the second optical path is oblique to the first optical path. A beam redirector is disposed to redirect the first optical path from the first birefringent polarizer toward an input face of a second birefringent polarizer; wherein the second birefringent polarizer is also formed as a composite prism and is disposed to combine incident light of the first and second polarizations onto a common output path. A shutter apparatus is actuable to selectively block light of the first polarization or light of the second polarization from the input face of the second birefringent polarizer.

摘要翻译： 偏振切换装置具有形成为复合棱镜的第一双折射偏振器，并且设置成沿着第一光路引导第一偏振的入射光和沿着第二光路的第二偏振光，其中第二光路相对于 第一光路。 光束重定向器设置成将第一光路从第一双折射偏光镜朝向第二双折射偏振器的输入面重定向; 其中所述第二双折射偏振器还形成为复合棱镜，并且设置成将所述第一和第二偏振的入射光组合到公共输出路径上。 快门装置可致动以从第二双折射偏振器的输入面选择性地阻挡第一偏振光或第二偏振光。

公开(公告)号：US20140022414A1

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：US13555428

申请日：2012-07-23

申请人： Vikram Bhatia ,  Carl Edgar Crossland ,  Paul G. Dewa ,  Michael Lucien Genier

发明人： Vikram Bhatia ,  Carl Edgar Crossland ,  Paul G. Dewa ,  Michael Lucien Genier

IPC分类号： H04N5/347 ,  H04N5/262

CPC分类号： G01J3/021 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/04 ,  G01J3/08 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/36

摘要： A hyperspectral imaging system and method are described herein for providing a hyperspectral image of an area of a remote object (e.g., scene of interest). The hyperspectral imaging system includes at least one optic, a scannable slit mechanism, a spectrometer, a two-dimensional image sensor, and a controller. The scannable slit mechanism can be a micro-electromechanical system spatial light modulator (MEMS SLM), a diffractive Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) spatial light modulator (SLM), a digital light processing (DLP) system, a liquid crystal display, a rotating drum with at least one slit formed therein, or a rotating disk with at least one slit formed therein.

摘要翻译： 本文描述了一种用于提供远程对象（例如，感兴趣的场景）的区域的高光谱图像的高光谱成像系统和方法。 高光谱成像系统包括至少一个光学元件，可扫描狭缝机构，光谱仪，二维图像传感器和控制器。 可扫描狭缝机构可以是微机电系统空间光调制器（MEMS SLM），衍射微光电机械系统（MOEMS）空间光调制器（SLM），数字光处理（DLP）系统，液体 晶体显示器，其中形成有至少一个狭缝的旋转滚筒或其中形成有至少一个狭缝的旋转盘。

公开(公告)号：US20120114875A1

公开(公告)日：2012-05-10

申请号：US13285090

申请日：2011-10-31

申请人： Paul G. Dewa

发明人： Paul G. Dewa

IPC分类号： C08J7/18 ,  B05D5/06 ,  G01N21/64

CPC分类号： G01N21/94 ,  G01N21/6486 ,  G01N21/958

摘要： The present disclosure is directed to a method for determining the state of cleanliness of an optical component (an optic) before any coating is applied to the surface. In method is particularly applicable to optical elements and components that are intended for uses in the DUV (deep ultraviolet) and EUV (extreme ultraviolet) wavelength regions. The disclosure combines a cleaning procedure with contamination metrology utilizing a spectrometer to provide a method that will determine the state of cleanliness of the component surface by measurement of the fluorescence spectrum of the optic and comparing the measured value with a standard or reference optic of known, acceptable cleanliness. The disclosure is further directed to an optic having a selected coating thereon that is formed according to the method described herein.

摘要翻译： 本公开涉及一种在将任何涂层施加到表面之前确定光学部件（光学部件）的清洁度的状态的方法。 该方法特别适用于用于DUV（深紫外）和EUV（极紫外））波长区域的光学元件和组件。 本公开结合了利用光谱仪的清洁程序与污染计量，以提供通过测量光学元件的荧光光谱来确定组件表面的清洁度的状态的方法，并将测量值与已知的， 可接受的清洁度。 本公开进一步涉及根据本文所述的方法形成的在其上具有选择的涂层的光学元件。